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公开(公告)号：CN110634768B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN201910541274.4
申请日：2019-06-21
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/316 , C23C16/455 , H10K59/121
Abstract: 本申请公开薄膜处理装置及其喷头和薄膜处理方法。薄膜处理装置包括基座和面向基座的喷头。喷头包括第一板，该第一板包括内部通道、第一喷射孔和第二喷射孔。该内部通道在与第一板的厚度方向相交的方向上延伸横跨第一板。第一喷射孔在厚度方向上贯通第一板的相对侧上的第一板的第一表面和第二表面。第二喷射孔贯通第一板的第二表面。第二喷射孔与内部通道连接。
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公开(公告)号：CN110634768A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910541274.4
申请日：2019-06-21
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/316 , C23C16/455 , H01L27/32
Abstract: 本申请公开薄膜处理装置及其喷头和薄膜处理方法。薄膜处理装置包括基座和面向基座的喷头。喷头包括第一板，该第一板包括内部通道、第一喷射孔和第二喷射孔。该内部通道在与第一板的厚度方向相交的方向上延伸横跨第一板。第一喷射孔在厚度方向上贯通第一板的相对侧上的第一板的第一表面和第二表面。第二喷射孔贯通第一板的第二表面。第二喷射孔与内部通道连接。
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公开(公告)号：CN109385617A
公开(公告)日：2019-02-26
申请号：CN201810921031.9
申请日：2018-08-14
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 提供了一种金属氧化物层形成方法和等离子体增强化学气相沉积装置。所述方法包括在将有机金属化合物和氧化剂连续地注入到腔室中的同时，重复地引起等离子体关闭时间段和等离子体开启时间段。一个循环包括一个等离子体关闭时间段和一个等离子体开启时间段。在等离子体关闭时间段期间，在基底上形成包括具有多个原子层的有机金属化合物的物理和化学吸附层。在等离子体开启时间段期间，通过物理和化学吸附层中的金属原子与氧化剂中的氧原子的化学反应，形成比两个原子层厚的金属氧化物层。
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公开(公告)号：CN107083542A
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：CN201611191000.X
申请日：2016-12-21
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: C23C16/455 , C23C16/50
Abstract: 一种等离子体沉积装置，包括：腔室；气体供应部，向腔室供应气体；以及喷头，设置在腔室的内部，与气体供应部连接。其中，气体供应部包括使气体流入的流入管、以及与流入管连接的至少两个流出管。此外，喷头包括：上板，具有与流出管连接的多个注入口；以及下板，与上述上板分离，且具有喷射口。
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公开(公告)号：CN105489630A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201510645298.6
申请日：2015-10-08
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 公开了一种制造显示装置的装置和方法。在一方面，该装置包括室和形成在室中并被配置为形成至少一个无机层的无机层形成喷嘴单元。该装置还包括形成在室中并被配置为形成至少一个有机层的有机层形成喷嘴单元，其中，有机层形成喷嘴单元与无机层形成喷嘴单元基本上直列地布置。该装置还包括形成在无机层形成喷嘴单元与有机层形成喷嘴单元之间并被配置为喷射惰性气体的分隔喷嘴单元。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119976616A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202411539792.X
申请日：2024-10-31
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 根据本发明的一方面，提供了一种用于使显示装置的制造装置的一部分移动的起重装置，所述起重装置包括：主支承部；第一辅助支承部，布置在所述主支承部上；第二辅助支承部，布置在所述主支承部下方；以及多个轴，同时贯通所述主支承部、所述第一辅助支承部和所述第二辅助支承部。
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公开(公告)号：CN110010799A
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201811619148.8
申请日：2018-12-28
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 本申请涉及制造显示装置的装置和方法，用于制造显示装置的装置包括腔室、头部单元、基座单元、清洁气体供给单元和清洁气体喷射单元，其中：头部单元配置成向腔室的内部供给工艺气体和清洁气体，头部单元具有临时存储工艺气体或清洁气体的存储空间，并且头部单元包括喷嘴，其中，喷嘴连接到存储空间并且配置成将工艺气体或清洁气体从存储空间引导到腔室的内部；基座单元布置成面向头部单元，并且在基座单元上可放置衬底；清洁气体供给单元连接到头部单元，并且配置成对清洁气体进行等离子体化并将被等离子体化的清洁气体供给到头部单元；清洁气体喷射单元连接到清洁气体供给单元，并且配置成将清洁气体供给到存储空间的至少两个部分。
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公开(公告)号：CN109666920A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201811172480.4
申请日：2018-10-09
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: C23C16/40 , C23C16/517 , H01L21/02 , H01L27/32
Abstract: 提供了一种制造金属氧化物膜的方法以及一种包括该金属氧化物膜的显示装置。所述制造金属氧化物膜的方法包括：将反应气体和金属前驱体注入室中；在等离子体OFF状态下，在基底上形成第一金属前驱体膜；在等离子体ON状态下，通过使第一金属前驱体膜氧化来形成第一子金属氧化物膜；在等离子体OFF状态下，在第一子金属氧化物膜上形成第二金属前驱体膜，其中，金属氧化物膜具有非晶相、约20纳米(nm)至约130nm的厚度以及约10至约50的介电常数。
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公开(公告)号：CN111755356B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202010194629.X
申请日：2020-03-19
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本发明涉及一种基板安置部及包括该基板安置部的基板处理装置，基板安置部包括在平面上沿第一方向及交叉于所述第一方向的第二方向形成各边的四边形形状的内侧区域及围绕所述内侧区域的外侧区域。所述基板安置部包括：内侧加热线，布置于所述内侧区域，并包括最靠近所述外侧区域而布置的最外围加热线及相邻于所述最外围加热线而布置的相邻加热线；以及外侧加热线，布置于所述外侧区域。所述最外围加热线在所述内侧区域的所述四边形形状的边角部分向所述四边形形状的边角方向突出，从而在所述边角部分形成缩小所述最外围加热线和所述外侧加热线之间的距离的边角突出部。
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公开(公告)号：CN116581105A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310140389.9
申请日：2023-02-08
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L23/544 , H01L33/62
Abstract: 根据本发明的实施例的发光元件测试装置包括：台，支承包括多个发光堆叠图案的基板；电源部，向多个发光堆叠图案提供电流；第一探头，向多个发光堆叠图案中的一部分发光堆叠图案的p型半导体层提供空穴；第二探头，向多个发光堆叠图案的n型半导体层提供电子；以及光检测部，接收从一部分发光堆叠图案发射的光。第一探头包括：第一主体部；导电弹性聚合物，布置在第一主体部的下端部处；以及导电金属膜，布置在导电弹性聚合物的一表面上。
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