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公开(公告)号:CN107665947B
公开(公告)日:2022-06-21
申请号:CN201710631798.3
申请日:2017-07-28
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本公开涉及可变电阻存储器件。一种可变电阻存储器件可以包括:第一电极层;在第一电极层上的选择器件层,该选择器件层包括基本上由锗(Ge)、硒(Se)和锑(Sb)组成的硫属元素化物开关材料,其中基于原子百分比,Ge的含量小于Se的含量;在选择器件层上的第二电极层;在第二电极层上的可变电阻层,可变电阻层包括硫属元素化物材料;以及在可变电阻层上的第三电极层。
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公开(公告)号:CN107644934A
公开(公告)日:2018-01-30
申请号:CN201710497491.9
申请日:2017-06-26
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L45/00
CPC classification number: H01L27/2481 , H01L45/1233 , H01L45/143 , H01L45/144
Abstract: 一种存储器件包括可变电阻层和电连接到可变电阻层的选择器件层。存储器件还包括减少漏电流并且具有例如根据以下化学式1的成分的硫族化物开关材料,[GeXSiY(AsaTe1-a)Z](1-U)[N]U-------------------------------(1)其中,0.05≤X≤0.1,0.15≤Y≤0.25,0.7≤Z≤0.8,X+Y+Z=1,0.45≤a≤0.6并且0.08≤U≤0.2。
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公开(公告)号:CN107689242A
公开(公告)日:2018-02-13
申请号:CN201710657323.1
申请日:2017-08-03
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G11C13/00
CPC classification number: H01L45/1641 , G11C13/0004 , G11C13/0007 , G11C2013/0083 , G11C2213/76 , H01L27/2427 , H01L27/2463 , H01L45/04 , H01L45/06 , H01L45/1233 , H01L45/144 , H01L45/146 , H01L45/147 , G11C13/0002 , G11C13/0021
Abstract: 本发明公开了一种形成包括存储单元阵列的半导体器件的方法,该方法可以包括对存储阵列的一个或更多个存储单元执行开关烧制操作从而导致与存储单元中的阈值开关器件相关的阈值电压分布被减小。开关器件烧制操作可以被执行使得阈值电压分布被减小同时保持所述一个或更多个阈值开关器件处于非晶态。对阈值开关器件执行开关器件烧制操作可以包括加热阈值开关器件、施加电压到阈值开关器件、施加电流到阈值开关器件、其一些组合等等。
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公开(公告)号:CN107644934B
公开(公告)日:2021-08-10
申请号:CN201710497491.9
申请日:2017-06-26
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L45/00
Abstract: 一种存储器件包括可变电阻层和电连接到可变电阻层的选择器件层。存储器件还包括减少漏电流并且具有例如根据以下化学式1的成分的硫族化物开关材料,[GeXSiY(AsaTe1‑a)Z](1‑U)[N]U‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑‑(1)其中,0.05≤X≤0.1,0.15≤Y≤0.25,0.7≤Z≤0.8,X+Y+Z=1,0.45≤a≤0.6并且0.08≤U≤0.2。
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公开(公告)号:CN107689242B
公开(公告)日:2023-04-25
申请号:CN201710657323.1
申请日:2017-08-03
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G11C13/00
Abstract: 本发明公开了一种形成包括存储单元阵列的半导体器件的方法,该方法可以包括对存储阵列的一个或更多个存储单元执行开关烧制操作从而导致与存储单元中的阈值开关器件相关的阈值电压分布被减小。开关器件烧制操作可以被执行使得阈值电压分布被减小同时保持所述一个或更多个阈值开关器件处于非晶态。对阈值开关器件执行开关器件烧制操作可以包括加热阈值开关器件、施加电压到阈值开关器件、施加电流到阈值开关器件、其一些组合等等。
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公开(公告)号:CN107665947A
公开(公告)日:2018-02-06
申请号:CN201710631798.3
申请日:2017-07-28
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H01L27/2427 , G11C13/0004 , G11C13/0026 , G11C13/0028 , G11C13/003 , G11C2213/52 , G11C2213/71 , G11C2213/72 , G11C2213/73 , G11C2213/76 , H01L27/2463 , H01L27/2481 , H01L45/04 , H01L45/06 , H01L45/1233 , H01L45/1253 , H01L45/126 , H01L45/143 , H01L45/144 , H01L45/1675 , H01L45/141
Abstract: 本公开涉及可变电阻存储器件。一种可变电阻存储器件可以包括:第一电极层;在第一电极层上的选择器件层,该选择器件层包括基本上由锗(Ge)、硒(Se)和锑(Sb)组成的硫属元素化物开关材料,其中基于原子百分比,Ge的含量小于Se的含量;在选择器件层上的第二电极层;在第二电极层上的可变电阻层,可变电阻层包括硫属元素化物材料;以及在可变电阻层上的第三电极层。
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