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公开(公告)号:CN110690095A
公开(公告)日:2020-01-14
申请号:CN201910131541.0
申请日:2019-02-22
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了处理边缘环的方法、基底处理系统和图像传感器。在所述方法中,利用传送机器人将第一边缘环从处理模块内的基底支撑件去除。然后,利用传送机器人将第二边缘环放置在基底支撑件上。利用传送机器人将图像传感器(例如,圆盘形的无线图像传感器)设置在第二边缘环之上。图像传感器产生图像信息,所述图像信息被分析以确定第二边缘环的对准。
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公开(公告)号:CN110690095B
公开(公告)日:2024-04-05
申请号:CN201910131541.0
申请日:2019-02-22
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了处理边缘环的方法、基底处理系统和图像传感器。在所述方法中,利用传送机器人将第一边缘环从处理模块内的基底支撑件去除。然后,利用传送机器人将第二边缘环放置在基底支撑件上。利用传送机器人将图像传感器(例如,圆盘形的无线图像传感器)设置在第二边缘环之上。图像传感器产生图像信息,所述图像信息被分析以确定第二边缘环的对准。
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