升降针组件、衬底支撑单元和衬底处理设备

    公开(公告)号:CN109494183A

    公开(公告)日:2019-03-19

    申请号:CN201811043669.3

    申请日:2018-09-07

    Abstract: 本公开涉及一种升降针组件、衬底支撑单元以及衬底处理设备,该升降针组件,包括:升降针,所述升降针具有实质上平行于第一方向的第一纵轴;针连接块,所述针连接块与所述升降针的下端部结合,所述针连接块包括在所述针连接块的下端部中的第一引导凹部,所述第一引导凹部在实质上垂直于所述第一方向的第二方向上延伸;以及升降针保持器,所述升降针保持器具有实质上平行于所述第一方向的第二纵轴,所述升降针保持器包括第一滑动部分,当所述升降针保持器连接到所述针连接块的所述下端部时,所述第一滑动部分在所述第二方向上可移动地容纳在所述第一引导凹部内,所述第一滑动部分在所述第二方向上能够移动所述第二纵轴与所述第一纵轴的偏心距离。

    双腿走动机器人
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100500387C

    公开(公告)日:2009-06-17

    申请号:CN03160207.X

    申请日:2003-09-27

    CPC classification number: B25J9/1065 B62D57/032

    Abstract: 一种双腿走动机器人,包括一对足部件、位于每个足部件之上的腓部件、位于每个足部件和腓部件间的双轴踝关节,以允许足部件相对腓部件在前后方向和左右方向转动。机器人还包括位于每个腓部件之上的股骨部件、位于每个腓部件和股骨部件间单轴膝关节、位于每个股骨部件之上的髋部件、和位于每个股骨部件和髋部件间的双轴髋关节,以允许股骨部件相对髋部件在前后左右方向转动。这样,本发明提供了可以和人踝、膝和髋相似工作的双腿走动机器人。

    双腿走动机器人
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1509848A

    公开(公告)日:2004-07-07

    申请号:CN03160207.X

    申请日:2003-09-27

    CPC classification number: B25J9/1065 B62D57/032

    Abstract: 一种双腿走动机器人,包括一对足部件、位于每个足部件之上的腓部件、位于每个足部件和腓部件间的双轴踝关节,以允许足部件相对腓部件在前后方向和左右方向转动。机器人还包括位于每个腓部件之上的股骨部件、位于每个腓部件和股骨部件间单轴膝关节、位于每个股骨部件之上的髋部件、和位于每个股骨部件和髋部件间的双轴髋关节,以允许股骨部件相对髋部件在前后左右方向转动。这样,本发明提供了可以和人踝、膝和髋相似工作的双腿走动机器人。

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