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公开(公告)号:CN110690095A
公开(公告)日:2020-01-14
申请号:CN201910131541.0
申请日:2019-02-22
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了处理边缘环的方法、基底处理系统和图像传感器。在所述方法中,利用传送机器人将第一边缘环从处理模块内的基底支撑件去除。然后,利用传送机器人将第二边缘环放置在基底支撑件上。利用传送机器人将图像传感器(例如,圆盘形的无线图像传感器)设置在第二边缘环之上。图像传感器产生图像信息,所述图像信息被分析以确定第二边缘环的对准。
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公开(公告)号:CN110690095B
公开(公告)日:2024-04-05
申请号:CN201910131541.0
申请日:2019-02-22
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了处理边缘环的方法、基底处理系统和图像传感器。在所述方法中,利用传送机器人将第一边缘环从处理模块内的基底支撑件去除。然后,利用传送机器人将第二边缘环放置在基底支撑件上。利用传送机器人将图像传感器(例如,圆盘形的无线图像传感器)设置在第二边缘环之上。图像传感器产生图像信息,所述图像信息被分析以确定第二边缘环的对准。
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公开(公告)号:CN109494183A
公开(公告)日:2019-03-19
申请号:CN201811043669.3
申请日:2018-09-07
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L21/683
Abstract: 本公开涉及一种升降针组件、衬底支撑单元以及衬底处理设备,该升降针组件,包括:升降针,所述升降针具有实质上平行于第一方向的第一纵轴;针连接块,所述针连接块与所述升降针的下端部结合,所述针连接块包括在所述针连接块的下端部中的第一引导凹部,所述第一引导凹部在实质上垂直于所述第一方向的第二方向上延伸;以及升降针保持器,所述升降针保持器具有实质上平行于所述第一方向的第二纵轴,所述升降针保持器包括第一滑动部分,当所述升降针保持器连接到所述针连接块的所述下端部时,所述第一滑动部分在所述第二方向上可移动地容纳在所述第一引导凹部内,所述第一滑动部分在所述第二方向上能够移动所述第二纵轴与所述第一纵轴的偏心距离。
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公开(公告)号:CN100500387C
公开(公告)日:2009-06-17
申请号:CN03160207.X
申请日:2003-09-27
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: B25J9/06
CPC classification number: B25J9/1065 , B62D57/032
Abstract: 一种双腿走动机器人,包括一对足部件、位于每个足部件之上的腓部件、位于每个足部件和腓部件间的双轴踝关节,以允许足部件相对腓部件在前后方向和左右方向转动。机器人还包括位于每个腓部件之上的股骨部件、位于每个腓部件和股骨部件间单轴膝关节、位于每个股骨部件之上的髋部件、和位于每个股骨部件和髋部件间的双轴髋关节,以允许股骨部件相对髋部件在前后左右方向转动。这样,本发明提供了可以和人踝、膝和髋相似工作的双腿走动机器人。
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公开(公告)号:CN100395937C
公开(公告)日:2008-06-18
申请号:CN200410001358.2
申请日:2004-01-07
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H02J7/00
CPC classification number: B25J5/00 , A47L9/00 , A47L2201/022 , B25J19/005 , B60L11/1818 , B60L11/1825 , B60L11/1833 , B60L2260/32 , H01R13/2421 , H01R13/6315 , H01R43/26 , H02J7/0042 , Y02T10/7005 , Y02T10/7072 , Y02T90/121 , Y02T90/125 , Y02T90/128 , Y02T90/14
Abstract: 一种用于移动式机器人的充电装置,所述充电装置具有改良的结构,以允许移动式机器人轻易地和充电单元有效电接触,由此减小制造成本并防止充电失败。充电单元设有外壳;接线端安装板;连接到外部电源的充电电路;形成在所述接线端安装板上的引导槽;以及多个充电接线端,所述充电接线端和移动式机器人的对应的触头相电接触。每个充电接线端包括体和头。接触板被安置在头的预定位置以和对应的触头电接触。多个充电接线端设置在多个行中。每个充电接线端还包括:用于支撑所述主体的支撑轴,支撑轴可沿着所述引导槽滑动;以及用于将所述主体回复到原始位置的弹性件。并且所述主体包括槽,所述头自所述槽延展以和所述主体形成一体单个结构。
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公开(公告)号:CN1610208A
公开(公告)日:2005-04-27
申请号:CN200410001358.2
申请日:2004-01-07
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H02J7/00
CPC classification number: B25J5/00 , A47L9/00 , A47L2201/022 , B25J19/005 , B60L11/1818 , B60L11/1825 , B60L11/1833 , B60L2260/32 , H01R13/2421 , H01R13/6315 , H01R43/26 , H02J7/0042 , Y02T10/7005 , Y02T10/7072 , Y02T90/121 , Y02T90/125 , Y02T90/128 , Y02T90/14
Abstract: 一种用于移动式机器人的充电装置,所述充电装置具有改良的结构,以允许移动式机器人轻易地和充电单元有效电接触,由此减小制造成本并防止充电失败。充电单元设有多个充电接线端,所述充电接线端和移动式机器人的对应的触头相电接触。每个充电接线端包括体和头。接触板被安置在头的预定位置以和对应的触头电接触。
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公开(公告)号:CN1509848A
公开(公告)日:2004-07-07
申请号:CN03160207.X
申请日:2003-09-27
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: B25J9/06
CPC classification number: B25J9/1065 , B62D57/032
Abstract: 一种双腿走动机器人,包括一对足部件、位于每个足部件之上的腓部件、位于每个足部件和腓部件间的双轴踝关节,以允许足部件相对腓部件在前后方向和左右方向转动。机器人还包括位于每个腓部件之上的股骨部件、位于每个腓部件和股骨部件间单轴膝关节、位于每个股骨部件之上的髋部件、和位于每个股骨部件和髋部件间的双轴髋关节,以允许股骨部件相对髋部件在前后左右方向转动。这样,本发明提供了可以和人踝、膝和髋相似工作的双腿走动机器人。
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