声波谐振器封装件
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110719082B

    公开(公告)日:2023-04-14

    申请号:CN201910362382.5

    申请日:2019-04-30

    Abstract: 本公开提供了一种声波谐振器封装件,所述声波谐振器封装件包括:基板;声波谐振器,设置在所述基板上;盖,设置在所述基板和所述声波谐振器上;结合部,使所述基板与所述盖彼此结合,其中,所述盖包括沟槽和保护层,所述沟槽围绕所述结合部形成,并且所述保护层覆盖所述盖中的所述沟槽的表面,并且其中,所述结合部的一部分填充所述沟槽的至少一部分。

    体声波谐振器
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109412550A

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201810937920.4

    申请日:2018-08-17

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板;下电极,设置在所述基板上;压电层,至少部分地设置在所述下电极上;以及上电极,设置在所述压电层上,其中,所述下电极和所述上电极中的任意一者或者两者具有包括钪(Sc)的铝合金的层。

    体声波谐振器
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112087215B

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN201911291846.4

    申请日:2019-12-16

    Abstract: 提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:基板,包括外部连接电极;连接层,连接到所述外部连接电极且设置在所述基板上;第一电极,被设置为覆盖所述连接层的至少一部分;压电层,被设置为覆盖所述第一电极的至少一部分;以及第二电极,被设置为覆盖所述压电层的至少一部分。所述连接层可被设置为围绕腔,并且可连接到所述第一电极和所述第二电极。

    声波谐振器
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111245395B

    公开(公告)日:2023-10-27

    申请号:CN201910974183.X

    申请日:2019-10-14

    Abstract: 本公开提供了一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:基板;谐振部,设置在所述基板上,并且包括第一电极、压电层和第二电极;保护层,设置在所述谐振部的上部上;以及疏水层,形成在所述保护层上,并且所述保护层包括堆叠在所述第二电极上的第一保护层和堆叠在所述第一保护层上的第二保护层,其中,所述第二保护层的密度高于所述第一保护层的密度。

    体声波谐振器
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111585538B

    公开(公告)日:2023-10-24

    申请号:CN201910981147.6

    申请日:2019-10-16

    Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板;谐振部,包括顺序地堆叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极,并且还包括中央部和沿所述中央部的周边设置的延伸部;以及插入层,设置在所述延伸部中并位于所述第一电极和所述压电层之间,并且所述插入层利用含钪(Sc)的铝合金形成。

    体声波谐振器
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111585538A

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN201910981147.6

    申请日:2019-10-16

    Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板;谐振部,包括顺序地堆叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极,并且还包括中央部和沿所述中央部的周边设置的延伸部;以及插入层,设置在所述延伸部中并位于所述第一电极和所述压电层之间,并且所述插入层利用含钪(Sc)的铝合金形成。

    体声波谐振器
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111342798A

    公开(公告)日:2020-06-26

    申请号:CN201910772357.4

    申请日:2019-08-21

    Abstract: 本公开提供了一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:基板;第一电极,设置在所述基板上;压电层,至少部分地设置在所述第一电极上;以及第二电极,设置在所述压电层上;其中,所述第一电极包括含钪(Sc)铝合金层,并且具有基于算术平均粗糙度的2.4nm或更小的表面粗糙度。

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