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公开(公告)号：CN107651830A
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201710569226.7
申请日：2017-07-11
Applicant: 三星钻石工业株式会社
IPC: C03B33/03
CPC classification number: C03B33/03
Abstract: 本发明提供一种基板分割装置和基板分割方法，抑制在从贴合基板除去端部材料时的碎裂的产生。基板分割装置具有工作台(2)和按压装置(1)。工作台(2)支承贴合基板(G)。按压装置(1)通过从第1基板(G1)侧按压端部从而沿第1刻划线(S1)和第2刻划线(S2)分割端部。
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公开(公告)号：CN107651829A
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201710560358.3
申请日：2017-07-11
Applicant: 三星钻石工业株式会社
IPC: C03B33/03 , C03B33/033
CPC classification number: C03B33/03 , C03B33/033
Abstract: 本发明提供一种基板分割装置及基板分割方法，除去端部材料而不损伤要露出的面。基板分割装置具有工作台(2)、按压装置(1)和喷气装置(3)。工作台(2)支承贴合基板(G)。按压装置(1)通过从第1基板(G1)侧按压端部从而沿刻划线(S)分割端部材料(GL)。喷气装置(3)通过产生气流(FL)从而使端部材料(GL)从第1基板(G1)的主体部剥离并使其移动。
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公开(公告)号：CN106393453B
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201610562421.2
申请日：2016-07-18
Applicant: 三星钻石工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种适合于沿着刻划线对基板进行切断的切断装置的基板载置部的构件。在沿着刻划线对基板进行切断的切断装置中，作为将基板以水平姿态载置的载置部，使用包括板状的透明弹性体和膜的载置部，该板状的透明弹性体通过在第1主表面设置有最大凹凸差为50μm以下的凹凸从而使第1主表面附近成为可见光的透射率比其它部分相对小的不透明部分，并且与第1主表面相向的第2主表面比第1主表面平坦，该膜贴付在弹性体的所述第1主表面侧，非贴付面平坦，未贴付膜的状态下的透明弹性体整体的厚度方向的可见光的透射率为30％以下，厚度方向的可见光的透射率为60％以上，使第2主表面作为基板的被载置面。
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公开(公告)号：CN106393453A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610562421.2
申请日：2016-07-18
Applicant: 三星钻石工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种适合于沿着刻划线对基板进行切断的切断装置的基板载置部的构件。在沿着刻划线对基板进行切断的切断装置中，作为将基板以水平姿态载置的载置部，使用包括板状的透明弹性体和膜的载置部，该板状的透明弹性体通过在第1主表面设置有最大凹凸差为50μm以下的凹凸从而使第1主表面附近成为可见光的透射率比其它部分相对小的不透明部分，并且与第1主表面相向的第2主表面比第1主表面平坦，该膜贴付在弹性体的所述第1主表面侧，非贴付面平坦，未贴付膜的状态下的透明弹性体整体的厚度方向的可见光的透射率为30％以下，厚度方向的可见光的透射率为60％以上，使第2主表面作为基板的被载置面。
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