基板分割装置及基板分割方法

    公开(公告)号:CN107651829A

    公开(公告)日:2018-02-02

    申请号:CN201710560358.3

    申请日:2017-07-11

    CPC classification number: C03B33/03 C03B33/033

    Abstract: 本发明提供一种基板分割装置及基板分割方法,除去端部材料而不损伤要露出的面。基板分割装置具有工作台(2)、按压装置(1)和喷气装置(3)。工作台(2)支承贴合基板(G)。按压装置(1)通过从第1基板(G1)侧按压端部从而沿刻划线(S)分割端部材料(GL)。喷气装置(3)通过产生气流(FL)从而使端部材料(GL)从第1基板(G1)的主体部剥离并使其移动。

    基板分割装置及基板分割方法

    公开(公告)号:CN107651830A

    公开(公告)日:2018-02-02

    申请号:CN201710569226.7

    申请日:2017-07-11

    CPC classification number: C03B33/03

    Abstract: 本发明提供一种基板分割装置和基板分割方法,抑制在从贴合基板除去端部材料时的碎裂的产生。基板分割装置具有工作台(2)和按压装置(1)。工作台(2)支承贴合基板(G)。按压装置(1)通过从第1基板(G1)侧按压端部从而沿第1刻划线(S1)和第2刻划线(S2)分割端部。

Patent Agency Ranking