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1.

发明公开
分割装置和分割方法无效

公开(公告)号：CN112793013A

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：CN202011130648.2

申请日：2020-10-21

Applicant: 三星钻石工业株式会社

Inventor： 西尾仁孝 , 留井直子

IPC: B28D1/22 , B28D5/04 , B28D7/00 , B28D7/04 , H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种能够容易且良好地分割基板的分割装置和分割方法。本发明的分割装置(1)，将第一面(101)形成有规定的刻划线(L1、L2)、第二面(102)被粘贴在膜片(110)的基板(100)沿着刻划线分割，具有：腔体(20)，其具有盖部(300)和主体部(200)，以隔着膜片(110)形成第一面(101)侧的第一室(21)和第二面(102)侧的第二室(22)的方式，用盖部(300)和主体部(200)保持基板(100)；压力调节部(400)，其分别单独地调节第一室(21)和第二室(22)的压力，将基板(100)维持成规定的姿态；分割机构(30)，其沿着刻划线(L1、L2)分割基板(100)，分割机构(30)配置在第二室(22)，一边沿着基板(100)的第二面(102)移动一边向第一室(21)侧上推基板(100)。

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