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    刻划头及刻划装置
    1.
    发明公开
    刻划头及刻划装置 有权

    公开(公告)号：CN113263633A

    公开(公告)日：2021-08-17

    申请号：CN202110184554.1

    申请日：2021-02-10

    Applicant: 三星钻石工业株式会社

    Inventor： 西尾仁孝

    IPC: B28D1/22

    Abstract: 本发明的目的在于提供能够抑制刀轮对基板的负荷的变动的刻划头和刻划装置。刻划头(10)具有：刀轮(101)，其用于在基板(F)的表面(F1)形成刻划线；驱动机构(600)，其使刀轮(101)抵接于基板(F)的表面(F1)，驱动机构(600)包括：伺服电机(610)；丝杠轴(631)，其通过伺服电机(610)绕轴旋转；螺母(632)，其与丝杠轴(631)旋合，通过丝杠轴(631)的旋转使刀轮(101)接近和离开基板(F)的表面(F1)，丝杠轴(631)和所述螺母(632)的正效率与逆效率相同。

    基板分割装置及基板分割方法
    2.
    发明公开
    基板分割装置及基板分割方法 有权

    公开(公告)号：CN106316089A

    公开(公告)日：2017-01-11

    申请号：CN201610329130.9

    申请日：2016-05-18

    Applicant: 三星钻石工业株式会社

    Inventor： 西尾仁孝 ,  高松生芳 ,  上野勉

    IPC: C03B33/02

    CPC classification number: C03B33/02

    Abstract: 本发明涉及基板分割装置及基板分割方法。其课题在于在分割贴合基板时，压入量的最适合范围宽，能够可靠地形成良好的裂纹，并且特别能够容易地除去端材。基板分割装置是具有第1基板(G1)和第2基板(G2)的贴合基板(G)的分割装置，所述第1基板(G1)的表面形成有用于切掉端部的刻划线(S)，所述第2基板(G2)贴合在第1基板(G1)的背面。该分割装置具有按压部(11)和吸附部(12)。按压部(11)从第1基板(G1)侧按压成为端材的端部(GL)而沿着刻划线(S)分割端部(GL)。吸附部(12)对利用按压部(11)分割后的端部(GL)进行吸附而从第1基板(G1)取掉端部(GL)。

    刻划头及刻划装置
    6.
    发明授权
    刻划头及刻划装置 有权

    公开(公告)号：CN113263633B

    公开(公告)日：2025-04-25

    申请号：CN202110184554.1

    申请日：2021-02-10

    Applicant: 三星钻石工业株式会社

    Inventor： 西尾仁孝

    IPC: B28D1/22

    Abstract: 本发明的目的在于提供能够抑制刀轮对基板的负荷的变动的刻划头和刻划装置。刻划头(10)具有：刀轮(101)，其用于在基板(F)的表面(F1)形成刻划线；驱动机构(600)，其使刀轮(101)抵接于基板(F)的表面(F1)，驱动机构(600)包括：伺服电机(610)；丝杠轴(631)，其通过伺服电机(610)绕轴旋转；螺母(632)，其与丝杠轴(631)旋合，通过丝杠轴(631)的旋转使刀轮(101)接近和离开基板(F)的表面(F1)，丝杠轴(631)和所述螺母(632)的正效率与逆效率相同。

    分割头及分割装置
    7.
    发明公开
    分割头及分割装置 无效

    公开(公告)号：CN113043481A

    公开(公告)日：2021-06-29

    申请号：CN202011109215.9

    申请日：2020-10-16

    Applicant: 三星钻石工业株式会社

    Inventor： 西尾仁孝

    IPC: B28D1/22 ,  B28D5/04 ,  B28D7/04 ,  B28D7/00

    Abstract: 本发明提供一种分割头及分割装置，其能够容易地进行基板的对位，并且能够良好地分割基板。分割头(10)将以形成有刻划线(L)的面朝下的方式载置于载置台(2)的基板(F)沿刻划线(L)分割，该分割头(10)具有：推压构件(220)，其压住基板(F)的上表面并将基板(F)推压在载置台(2)；顶起构件(230)，其将被推压构件(220)以端部从载置台(2)向侧方突出的方式推压在载置台(2)的状态的基板(F)的端部从下表面侧顶起。

    分割装置和分割方法
    8.
    发明公开
    分割装置和分割方法 无效

    公开(公告)号：CN112793013A

    公开(公告)日：2021-05-14

    申请号：CN202011130648.2

    申请日：2020-10-21

    Applicant: 三星钻石工业株式会社

    Inventor： 西尾仁孝 ,  留井直子

    IPC: B28D1/22 ,  B28D5/04 ,  B28D7/00 ,  B28D7/04 ,  H01L21/304

    Abstract: 本发明提供一种能够容易且良好地分割基板的分割装置和分割方法。本发明的分割装置(1)，将第一面(101)形成有规定的刻划线(L1、L2)、第二面(102)被粘贴在膜片(110)的基板(100)沿着刻划线分割，具有：腔体(20)，其具有盖部(300)和主体部(200)，以隔着膜片(110)形成第一面(101)侧的第一室(21)和第二面(102)侧的第二室(22)的方式，用盖部(300)和主体部(200)保持基板(100)；压力调节部(400)，其分别单独地调节第一室(21)和第二室(22)的压力，将基板(100)维持成规定的姿态；分割机构(30)，其沿着刻划线(L1、L2)分割基板(100)，分割机构(30)配置在第二室(22)，一边沿着基板(100)的第二面(102)移动一边向第一室(21)侧上推基板(100)。

    粉尘抽吸装置
    9.
    发明公开
    粉尘抽吸装置 无效

    公开(公告)号：CN109318285A

    公开(公告)日：2019-02-12

    申请号：CN201810810548.0

    申请日：2018-07-23

    Applicant: 三星钻石工业株式会社

    Inventor： 上野勉 ,  高松生芳 ,  西尾仁孝

    IPC: B26D7/18 ,  B26F1/38 ,  B25H7/04

    Abstract: 本发明提供一种能够有效地抽吸去除在基板表面附着的粉尘等微小异物而获得高品质的产品的粉尘抽吸装置。所述粉尘抽吸装置具有：空气抽吸口(9b)，其以与加工的基板(W)对置的方式配置，并抽吸基板(W)表面的粉尘；空气喷射口(9c)，其防止基板(W)表面与空气抽吸口(9b)紧贴，所述粉尘抽吸装置采用以能够沿基板(W)的表面相对地移动的方式形成的结构，防止基板(W)紧贴于空气抽吸口(9b)并可靠地保持基板(W)与空气抽吸口(9b)之间的间隙。

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