公开(公告)号：CN101162690A

公开(公告)日：2008-04-16

申请号：CN200710103856.1

申请日：2007-05-17

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 韩圭完 ,  柳相吉 ,  金亨植 ,  沃若诺夫·亚历山大 ,  卢喆来

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/268 ,  H01L21/336 ,  B23K26/00

CPC classification number: B23K26/0613 ,  H01L21/02678 ,  H01L21/02683 ,  H01L21/02686 ,  H01L21/02691 ,  H01L27/1285

Abstract: 本发明公开了一种制造多晶硅薄膜晶体管的方法。该方法的一个实施例包括以下步骤：在面板上形成非晶硅层；对非晶硅层扫描连续波激光束以对非晶硅层进行预热，其中，连续波激光束具有处于红色可见光范围和近红外范围之间的大约600nm至大约900nm的波长范围；除了连续波激光束之外，还对面板重叠扫描脉冲激光束以将被预热的非晶硅层熔化，其中，脉冲激光束具有处于可见光范围和紫外范围之间的大约100nm至大约550nm的波长范围；停止扫描脉冲激光束以使被熔化的硅层晶化。