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公开(公告)号:CN1638008A
公开(公告)日:2005-07-13
申请号:CN200410098249.7
申请日:2004-11-30
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: B82Y10/00 , H01J3/022 , H01J9/025 , H01J29/481 , H01J2201/30469 , H01J2329/00 , Y10S977/939
Abstract: 本发明公开一种场发射器件、采用该器件的显示器及其制造方法。该场发射器件,包括:玻璃衬底;形成在玻璃衬底上的发射器电极;形成在发射器电极上的碳纳米管(CNT)发射器;以及,绕CNT发射器形成的栅极叠层,其从CNT发射器提取电子束,并将提取出的电子束聚焦到给定位置。所述栅极叠层包括:覆盖所述发射器电极的掩膜层,其绕CNT发射器形成;形成在所述掩膜层并具有预定高度的栅极绝缘层;形成在所述栅极绝缘层的倾斜面上的镜面电极;形成在所述栅极绝缘层上并且与所述镜面电极间隔开的栅极;以及,顺序形成在所述栅极上的聚焦栅极绝缘层和聚焦栅极。