公开(公告)号：CN101372736A

公开(公告)日：2009-02-25

申请号：CN200810214020.3

申请日：2008-08-22

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 鲁硕原 ,  姜泰旻 ,  成镇旭 ,  李相奉 ,  李承默 ,  朴镇佑 ,  金善浩 ,  郑明钟

IPC: C23C14/12 ,  C23C14/26 ,  F27B14/06 ,  F27B14/20

CPC classification number: C23C14/12 ,  C23C14/243

Abstract: 一种坩埚加热装置和一种包括该坩埚加热装置的淀积装置。该坩埚加热装置包括：坩埚，其包括用于容纳淀积材料的主体和设置在所述主体并具有喷嘴的盖；带，其通过接触部分与所述坩埚相连；热电偶，其与所述带相连；壳体，其用于容纳所述坩埚和所述带；和加热器，其设置在所述壳体内部，用于加热所述淀积材料。