公开(公告)号：CN101681103A

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200880018000.7

申请日：2008-06-26

Applicant: 三菱化学株式会社

Inventor： 瑞穗右二 ,  福井诚 ,  高田芳宏 ,  佐井经浩

IPC: G03F7/027 ,  G02B5/20 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/1339 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/027 ,  G02F1/13394 ,  G03F7/0007

Abstract: 提供一种感光性组合物，所述感光性组合物在液晶显示器等的液晶显示装置中，形成间隔物等时适宜使用，尤其在通过光刻蚀法用相同材料同时形成高度不同的固化物时具有优异的制造稳定性。所述感光性组合物的特征在于，在将曝光部的残膜率[t(％)]相对于曝光量的对数[logE(mJ/cm 2 )]制曲线的残膜率-曝光量曲线中，将残膜率的60％和90％的点连接的下述式(1)的直线的γ值为15以上、且不满45，t=γlogE+δ …(1)（这里，介由负掩膜图形形成图像时，如下表示残膜率t(％)。残膜率[t(％)]＝{(各曝光量下的图形高度)/(1000mJ/cm 2 曝光量下的图形高度)}×100）。