偏振方位角调整装置以及激光加工装置

    公开(公告)号:CN102267010A

    公开(公告)日:2011-12-07

    申请号:CN201110148815.0

    申请日:2011-06-01

    Abstract: 本发明得到一种偏振方位角调整装置,其可以容易地对被加工物进行稳定的激光加工。该装置具有光学单元,该光学单元具有:偏振元件(14),其使入射来的激光的P波偏振成分透过,并且对激光的S波偏振成分进行反射;以及反射镜(15、15),其对由偏振元件(14)反射后的激光的S波偏振成分进行反射并向光路的下游侧引导,并且,该光学单元吸收P波偏振成分且将S波偏振成分向光路的下游侧射出,在光学单元中,将偏振元件(14)和反射镜(15、15)配置为,使得激光向光学单元入射的入射光轴和激光从光学单元射出的出射光轴同轴,并且在使光学单元以入射光轴为中心旋转的情况下,维持入射光轴以及出射光轴的光轴方向不变。

    偏振方位角调整装置以及激光加工装置

    公开(公告)号:CN102267010B

    公开(公告)日:2014-04-23

    申请号:CN201110148815.0

    申请日:2011-06-01

    Abstract: 本发明得到一种偏振方位角调整装置,其可以容易地对被加工物进行稳定的激光加工。该装置具有光学单元,该光学单元具有:偏振元件(14),其使入射来的激光的P波偏振成分透过,并且对激光的S波偏振成分进行反射;以及反射镜(15、15),其对由偏振元件(14)反射后的激光的S波偏振成分进行反射并向光路的下游侧引导,并且,该光学单元吸收P波偏振成分且将S波偏振成分向光路的下游侧射出,在光学单元中,将偏振元件(14)和反射镜(15、15)配置为,使得激光向光学单元入射的入射光轴和激光从光学单元射出的出射光轴同轴,并且在使光学单元以入射光轴为中心旋转的情况下,维持入射光轴以及出射光轴的光轴方向不变。

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