形状可变镜及激光加工装置

    公开(公告)号:CN110073251B

    公开(公告)日:2021-06-22

    申请号:CN201780076464.2

    申请日:2017-11-15

    Abstract: 形状可变镜(10)具有:圆形反射镜(1),其是具有反射面的反射镜;Y轴部件(4),其是具有作为第1板部的Y轴背板(4a)和作为第1脚部的2个Y轴脚(4b1、4b2)的第1部件;X轴部件(5),其是具有作为第2板部的X轴背板(5a)和跨过第1部件延伸而与反射镜抵接的作为第2脚部的2个X轴脚(5b1、5b2)的第2部件;距离变更部(2),其使第1板部和反射镜之间的距离与第2板部和反射镜之间的距离对称地变化;以及保持部件(6),其对第1部件和第2部件进行保持。在反射镜中,将2个第1脚部各自抵接的部位之间连结的线段、和将2个第2脚部各自抵接的部位之间连结的线段相交叉。

    激光加工装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102348528A

    公开(公告)日:2012-02-08

    申请号:CN200980158060.3

    申请日:2009-03-13

    CPC classification number: B23K26/0622

    Abstract: 本发明涉及一种激光加工装置,其具有:功率测量计(5),其对从激光振荡装置(1)输出的脉冲激光的激光功率进行测定;运算部(7),其基于工件(4)的激光加工条件,分别计算向功率测量计(5)及工件(4)分别照射的脉冲照射样式,以使得在激光振荡装置(1)的振荡能力范围内且在功率测量计(5)的功率测定能力范围内,向功率测量计(5)及工件(4)照射脉冲激光;以及控制装置(6),其按照脉冲照射样式,控制激光振荡装置(1),并且在利用由功率测量计(5)测定的激光功率而计算出的每1发的脉冲能量,落在预先设定的规定范围内的情况下,进行工件(4)的激光加工。

    形状可变镜及激光加工装置

    公开(公告)号:CN110073251A

    公开(公告)日:2019-07-30

    申请号:CN201780076464.2

    申请日:2017-11-15

    Abstract: 形状可变镜(10)具有:圆形反射镜(1),其是具有反射面的反射镜;Y轴部件(4),其是具有作为第1板部的Y轴背板(4a)和作为第1脚部的2个Y轴脚(4b1、4b2)的第1部件;X轴部件(5),其是具有作为第2板部的X轴背板(5a)和跨过第1部件延伸而与反射镜抵接的作为第2脚部的2个X轴脚(5b1、5b2)的第2部件;距离变更部(2),其使第1板部和反射镜之间的距离与第2板部和反射镜之间的距离对称地变化;以及保持部件(6),其对第1部件和第2部件进行保持。在反射镜中,将2个第1脚部各自抵接的部位之间连结的线段、和将2个第2脚部各自抵接的部位之间连结的线段相交叉。

    偏振光相位差板以及激光加工机

    公开(公告)号:CN103529507B

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201310261976.X

    申请日:2013-06-27

    Abstract: 本发明提供一种制作容易且远红外光的透过光量损失少的透过型的偏振光相位差板以及使用了该偏振光相位差板的激光加工机。偏振光相位差板(100),在基板(102)的至少一方的主面上,由与基板(102)相同的材料形成排列了多个凸部(103)的具有一定的周期P的衍射光栅,利用衍射光栅的构造性双折射。衍射光栅的周期P在入射光的波长为λ、基板材料的折射率为n时,满足P<λ/n。凸部(103)的截面形状从其底部到顶部形成为锥形状(106)。作为基板材料使用ZnS。

    偏振方位角调整装置以及激光加工装置

    公开(公告)号:CN102267010A

    公开(公告)日:2011-12-07

    申请号:CN201110148815.0

    申请日:2011-06-01

    Abstract: 本发明得到一种偏振方位角调整装置,其可以容易地对被加工物进行稳定的激光加工。该装置具有光学单元,该光学单元具有:偏振元件(14),其使入射来的激光的P波偏振成分透过,并且对激光的S波偏振成分进行反射;以及反射镜(15、15),其对由偏振元件(14)反射后的激光的S波偏振成分进行反射并向光路的下游侧引导,并且,该光学单元吸收P波偏振成分且将S波偏振成分向光路的下游侧射出,在光学单元中,将偏振元件(14)和反射镜(15、15)配置为,使得激光向光学单元入射的入射光轴和激光从光学单元射出的出射光轴同轴,并且在使光学单元以入射光轴为中心旋转的情况下,维持入射光轴以及出射光轴的光轴方向不变。

    形状可变镜、激光加工装置及形状可变镜的制造方法

    公开(公告)号:CN118525232A

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202280087854.0

    申请日:2022-12-08

    Abstract: 形状可变镜(10)具有:反射镜(11),其具有对光进行反射的反射面;第1支撑部件(21),其具有第1板部及第1固定部件,对反射镜进行支撑;第2支撑部件(31),其具有第2板部及第2固定部件,对反射镜进行支撑;以及调整部件,其使第1板部和第2板部之间的距离变化。第1板部从反射镜的背面隔开规定的间隔而配置。第1固定部件与第1板部连接,在将m设为大于或等于2的整数的情况下,通过反射镜的m个第1固定部位对反射镜进行固定。第2板部隔着第1板部,从反射镜的背面隔开规定的间隔而配置。第2固定部件与第2板部连接,在将n设为大于或等于2的整数的情况下,通过与反射镜的第1固定部位不同的n个第2固定部位对反射镜进行固定。反射镜在背面具有与第1固定部件及第2固定部件的至少一者接触的凸起部(14x、14y)。

    形状可变镜以及激光加工装置

    公开(公告)号:CN104646823A

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201410682333.7

    申请日:2014-11-24

    CPC classification number: B23K26/00 B23K26/043 B23K26/38

    Abstract: 目的在于得到一种不受针对反射镜的粘接的制约,能够对像散进行校正的形状可变镜以及激光加工装置。具有:第一按压部件,其对反射镜(1)的反射面(1sf)外周部的相对的2个部位(Pxf)进行按压;第二按压部件,其对反射镜(1)的背面(1sb)外周部的相对的2个部位(Pyb)进行按压;以及变形量调整部(4),其以第一按压部件按压反射面(1sf)的位置、和第二按压部件按压背面(1sb)的位置,绕穿过反射面(1sf)的中心的轴而成为不同的位置的方式,对第二按压部件相对于第一按压部件的绕轴的位置进行定位,并且使轴向上的第一按压部件和第二按压部件的间隔变化,对由按压引起的反射镜(1)的变形量进行调整。

    激光加工装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102348528B

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN200980158060.3

    申请日:2009-03-13

    CPC classification number: B23K26/0622

    Abstract: 本发明涉及一种激光加工装置,其具有:功率测量计(5),其对从激光振荡装置(1)输出的脉冲激光的激光功率进行测定;运算部(7),其基于工件(4)的激光加工条件,分别计算向功率测量计(5)及工件(4)分别照射的脉冲照射样式,以使得在激光振荡装置(1)的振荡能力范围内且在功率测量计(5)的功率测定能力范围内,向功率测量计(5)及工件(4)照射脉冲激光;以及控制装置(6),其按照脉冲照射样式,控制激光振荡装置(1),并且在利用由功率测量计(5)测定的激光功率而计算出的每1发的脉冲能量,落在预先设定的规定范围内的情况下,进行工件(4)的激光加工。

    偏振方位角调整装置以及激光加工装置

    公开(公告)号:CN102267010B

    公开(公告)日:2014-04-23

    申请号:CN201110148815.0

    申请日:2011-06-01

    Abstract: 本发明得到一种偏振方位角调整装置,其可以容易地对被加工物进行稳定的激光加工。该装置具有光学单元,该光学单元具有:偏振元件(14),其使入射来的激光的P波偏振成分透过,并且对激光的S波偏振成分进行反射;以及反射镜(15、15),其对由偏振元件(14)反射后的激光的S波偏振成分进行反射并向光路的下游侧引导,并且,该光学单元吸收P波偏振成分且将S波偏振成分向光路的下游侧射出,在光学单元中,将偏振元件(14)和反射镜(15、15)配置为,使得激光向光学单元入射的入射光轴和激光从光学单元射出的出射光轴同轴,并且在使光学单元以入射光轴为中心旋转的情况下,维持入射光轴以及出射光轴的光轴方向不变。

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