公开(公告)号：CN101271836A

公开(公告)日：2008-09-24

申请号：CN200810092137.9

申请日：2003-06-27

Applicant: 三菱电机株式会社 ,  村田机械株式会社

Inventor： 石原浩之 ,  清水孝雄 ,  中尾敬史 ,  田原良祐 ,  竹内秀年

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  B65G49/00

Abstract: 输送车包括在预定的输送路径行走的行走单元(14)、供给净化后的空气的净化单元(12)、接受净化后的空气并收容被制造物的收容部(13)、用于进行被制造物相对收容部(13)的送入或送出的设于箱体侧面的移载口(11)、朝移载口(11)侧送风的第一空气吹出部(19A)。这样，可在输送车内和制造装置内比周围环境更得到净化的输送系统中防止由附着于移载口的异物等污染移载的被制造物。

公开(公告)号：CN1470445A

公开(公告)日：2004-01-28

申请号：CN03148488.3

申请日：2003-06-27

Applicant: 先进显示股份有限公司 ,  村田机械株式会社

Inventor： 石原浩之 ,  清水孝雄 ,  史尾敬史 ,  田原良祐 ,  竹内秀年

IPC: B65G49/07 ,  H01L21/302 ,  G02F1/136

CPC classification number: H01L21/67724 ,  B01D50/00 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67736 ,  Y10S55/18 ,  Y10S55/29 ,  Y10S55/46

Abstract: 输送车包括在预定的输送路径行走的行走单元(14)、供给净化后的空气的净化单元(12)、接受净化后的空气并收容被制造物的收容部(13)、用于进行被制造物相对收容部(13)的送入或送出的设于箱体侧面的移载口(11)、朝移载口(11)侧送风的第一空气吹出部(19A)。这样，可在输送车内和制造装置内比周围环境更得到净化的输送系统中防止由附着于移载口的异物等污染移载的被制造物。

公开(公告)号：CN100488855C

公开(公告)日：2009-05-20

申请号：CN03148488.3

申请日：2003-06-27

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 石原浩之 ,  清水孝雄 ,  史尾敬史 ,  田原良祐 ,  竹内秀年

IPC: B65G49/07 ,  H01L21/302 ,  G02F1/136

CPC classification number: H01L21/67724 ,  B01D50/00 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67736 ,  Y10S55/18 ,  Y10S55/29 ,  Y10S55/46

Abstract: 输送车包括在预定的输送路径行走的行走单元(14)、供给净化后的空气的净化单元(12)、接受净化后的空气并收容被制造物的收容部(13)、用于进行被制造物相对收容部(13)的送入或送出的设于箱体侧面的移载口(11)、朝移载口(11)侧送风的第一空气吹出部(19A)。这样，可在输送车内和制造装置内比周围环境更得到净化的输送系统中防止由附着于移载口的异物等污染移载的被制造物。