公开(公告)号：CN103026508A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201180035754.5

申请日：2011-09-28

Applicant: 三菱重工业株式会社 ,  独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 中野慎也 ,  竹内良昭 ,  近藤道雄 ,  松井卓矢

IPC: H01L31/20 ,  H01L31/18 ,  H01L31/077

CPC classification number: H01L31/202 ,  H01L31/03762 ,  H01L31/0747 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供一种光电转换装置的制造方法，能够提升太阳能电池的发电特性，所述太阳能电池具有由p型晶体Ge(基板)-i型非晶硅半导体层-n型非晶硅半导体层构成的异质结单元。光电转换装置(100)在基板(p型晶体Ge)(11)上设置依次层叠i型非晶硅半导体层(12)和n型非晶硅半导体层(13)而成的异质结单元(1)，该光电转换装置(100)的制造方法具备：PH3暴露处理工序，使已除去表面形成的氧化膜的基板(11)达到预定温度后，将该基板配置在真空腔室内并使其暴露于PH3中；i层制膜工序，在经PH3暴露的基板上制作i型非晶硅半导体层(12)；n层制膜工序，在i型非晶硅半导体层(12)上制作n型非晶硅半导体层(13)；以及电极形成工序，在n型非晶硅半导体层上、及在基板(11)的背面侧的面上形成电极(2、3、4)。

公开(公告)号：CN119654542A

公开(公告)日：2025-03-18

申请号：CN202380060545.9

申请日：2023-06-27

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 中野慎也 ,  木津哲也 ,  杠洋次郎 ,  太田信之 ,  坂下元 ,  片渊纮希 ,  龙山达也 ,  久保博义

IPC: G01M99/00 ,  F28F9/00 ,  F28F27/00

Abstract: 热交换器分析装置具备经时变化获取部、温度变动区域确定部、变动频率计算部及疲劳判定部。经时变化获取部获取在设置于热交换器上的测定点处测定的金属温度的经时变化。温度变动区域确定部根据经时变化来确定具有温度变动幅度的多个温度变动区域。变动频率计算部根据多个温度变动区域来计算规定期间的金属温度的变动频率。疲劳判定部根据变动频率来判定测定点处的热交换部有无疲劳。