公开(公告)号：CN102253238B

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201110086293.6

申请日：2011-04-07

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 崔峰 ,  万镇 ,  陈文元 ,  张卫平 ,  吴校生 ,  刘武

IPC: G01P15/125 ,  B81C1/00

Abstract: 一种微机电系统技术领域的静电悬浮六轴微加速度计及其制造方法，该微加速度计为下定子、悬浮质量块和上定子的三明治式三层键合结构，上定子和下定子均采用玻璃作为衬底，悬浮质量块位于上定子和下定子之间的键合空腔中，悬浮质量块所处的位置为键合空腔的中心且不与上定子或下定子接触以实现沿XYZ轴平移或绕XYZ轴转动，悬浮质量块的中心即为惯性坐标系OXYZ的原点O，OZ方向垂直于上下定子所在的平面。本发明基于非硅MEMS工艺制造得到采用方形质量块具有六轴加速度测量功能的高灵敏度静电悬浮微加速度计，该方法简便灵活且制造成本低。

公开(公告)号：CN102253238A

公开(公告)日：2011-11-23

申请号：CN201110086293.6

申请日：2011-04-07

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 崔峰 ,  万镇 ,  陈文元 ,  张卫平 ,  吴校生 ,  刘武

IPC: G01P15/125 ,  B81C1/00

Abstract: 一种微机电系统技术领域的静电悬浮六轴微加速度计及其制造方法，该微加速度计为下定子、悬浮质量块和上定子的三明治式三层键合结构，上定子和下定子均采用玻璃作为衬底，悬浮质量块位于上定子和下定子之间的键合空腔中，悬浮质量块所处的位置为键合空腔的中心且不与上定子或下定子接触以实现沿XYZ轴平移或绕XYZ轴转动，悬浮质量块的中心即为惯性坐标系OXYZ的原点O，OZ方向垂直于上下定子所在的平面。本发明基于非硅MEMS工艺制造得到采用方形质量块具有六轴加速度测量功能的高灵敏度静电悬浮微加速度计，该方法简便灵活且制造成本低。