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公开(公告)号：CN116858809A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310851440.7
申请日：2023-07-12
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种基于相位掩模增强的散射介质传输矩阵测量方法和装置，方法包括：生成准直光束并分隔为多个子光束，对各个子光束施加所需相位延迟量，然后合并为一束光，来施加相位掩模因子；改变光束的振幅分布，分别输入多个调控图案，得到多个调控光场；将各个调控光场依次输入散射介质，形成多个散斑图案，并获取振幅分布；调整相位掩模因子，重复执行上述步骤；根据获取的振幅分布，迭代解算散射介质传输矩阵。与现有技术相比，本发明提出通过外植入相位掩模控制模块，增加对相位的约束条件，克服了传统振幅型空间光调制器的非干涉散射介质传输矩阵测量方法难以准确测量传输矩阵相位维度信息的难题，具有测量精度高、测量速度快等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117115083B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202310892349.X
申请日：2023-07-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: G06T7/00 , G06T7/80 , G06V10/764 , G01J9/00
Abstract: 本发明涉及一种夏克哈特曼波前传感器误差评估方法，包括通过夏克哈特曼波前传感器测量被测波前，获取夏克哈特曼波前传感器系统参数；分析传感器不同误差源的取值范围，并通过各误差源的取值范围随机抽样一组误差值；构建夏克哈特曼光学模型，并获得标准波前与被测波前经过微透镜聚焦后成像在图像传感器上的标准光斑阵列及被测光斑阵列；计算被测波前斜率分布，重建被测波前，并计算测量残差；随机抽样误差，重复执行以上步骤；根据不同抽样误差下的测量残差，评定夏克哈特曼波前传感器对被测波前的测量不确定度。与现有技术相比，本发明通过多次误差抽样实现夏克哈特曼传感器综合测量不确定度评估，具有评定任意测量波前误差的优势。
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公开(公告)号：CN116538967B
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202310699835.X
申请日：2023-06-13
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明涉及一种兼顾动态范围和精度的干涉形貌测量方法，包括：将激光分为测量光和参考光，测量光照射被测样品表面，并经过被测样品表面调制后形成待测光；将该待测光与参考光干涉，形成干涉图案；改变测量光的角度，使得测量光以不同的入射角照射被测样品，将原本处于高频区域无法探测的被测表面频谱信息依次移动至低频区域并记录在相应干涉图像中；利用频谱拼接算法融合各干涉图像所记录待测光中具有不同频谱偏移的低频信息，恢复被测表面高分辨频谱；利用形貌矫正技术对高分辨频谱解析出三维形貌进行优化，矫正测量和拼接过程中的系统偏差，进而获得被测表面高精度形貌测量结果。与现有技术相比，本发明具有动态范围大、测量精度高、通用性强等优点。
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公开(公告)号：CN117115083A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202310892349.X
申请日：2023-07-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: G06T7/00 , G06T7/80 , G06V10/764 , G01J9/00
Abstract: 本发明涉及一种夏克哈特曼波前传感器误差评估方法，包括通过夏克哈特曼波前传感器测量被测波前，获取夏克哈特曼波前传感器系统参数；分析传感器不同误差源的取值范围，并通过各误差源的取值范围随机抽样一组误差值；构建夏克哈特曼光学模型，并获得标准波前与被测波前经过微透镜聚焦后成像在图像传感器上的标准光斑阵列及被测光斑阵列；计算被测波前斜率分布，重建被测波前，并计算测量残差；随机抽样误差，重复执行以上步骤；根据不同抽样误差下的测量残差，评定夏克哈特曼波前传感器对被测波前的测量不确定度。与现有技术相比，本发明通过多次误差抽样实现夏克哈特曼传感器综合测量不确定度评估，具有评定任意测量波前误差的优势。
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公开(公告)号：CN116538967A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310699835.X
申请日：2023-06-13
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明涉及一种兼顾动态范围和精度的干涉形貌测量方法，包括：将激光分为测量光和参考光，测量光照射被测样品表面，并经过被测样品表面调制后形成待测光；将该待测光与参考光干涉，形成干涉图案；改变测量光的角度，使得测量光以不同的入射角照射被测样品，将原本处于高频区域无法探测的被测表面频谱信息依次移动至低频区域并记录在相应干涉图像中；利用频谱拼接算法融合各干涉图像所记录待测光中具有不同频谱偏移的低频信息，恢复被测表面高分辨频谱；利用形貌矫正技术对高分辨频谱解析出三维形貌进行优化，矫正测量和拼接过程中的系统偏差，进而获得被测表面高精度形貌测量结果。与现有技术相比，本发明具有动态范围大、测量精度高、通用性强等优点。
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公开(公告)号：CN220304491U
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202321500527.1
申请日：2023-06-13
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01B11/30
Abstract: 本实用新型涉及一种测量光入射角度可调的干涉图像采集装置，包括激光器、扩束器、第一分光棱镜、反射镜、第二分光棱镜、第一透镜、测量光扫描模块、第三分光棱镜、测量光调节镜、被测样品、光阑、第二透镜、探测器和计算控制模块，测量光扫描模块具有入射角控制功能，计算控制模块分别连接测量光扫描模块和探测器；与现有技术相比，本实用新型可调整测量光的入射角，能够在不损失测量精度的条件下，扩展干涉面形测量系统动态范围，具有动态范围大、测量精度高、通用性强等优点。
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