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公开(公告)号：CN118759712A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202411136951.1
申请日：2024-08-19
Applicant: 上海交通大学内蒙古研究院
Abstract: 本发明提供了一种无串扰、双轴独立驱动的电磁MEMS振镜、封装结构及雷达。所述无串扰、双轴独立驱动的电磁MEMS振镜，包括支撑衬底、固定框架、第一电极、第二电极、第一慢轴支撑梁、第二慢轴支撑梁、平衡框、电磁驱动线圈、第一快轴支撑梁、第二快轴支撑梁、反射镜面以及驱动永磁体；反射镜面的两端分别通过第一快轴支撑梁和第二快轴支撑梁与平衡框可转动连接，平衡框的两端分别通过第一慢轴支撑梁和第二慢轴支撑梁与固定框架可转动连接；电磁驱动线圈的两端分别与第一电极和第二电极连接；驱动永磁体安装在支撑衬底上。本发明消除两轴之间的机械串扰，并且避免了在反射镜面周围制造电磁驱动线圈，消除了镜面热变形的影响。
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公开(公告)号：CN119000024A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411210759.2
申请日：2024-08-30
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种一体化的高温MEMS振镜转角直接测量方法，通过观测设置于不同温度环境下的MEMS振镜在施加驱动电压后反射的光学扫描线长度，通过三角函数关系计算振镜的光学转角与不同温度的关联，得到MEMS振镜的性能退化情况。本发明能够降低部分因温箱运行振动而导致的测量误差，测量精度更高；入射光路与出射光路相互分离避免干扰；并且不需要激光器探入高温温腔内部，对激光器的耐温要求更低。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117031735A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202311097780.1
申请日：2023-08-29
Applicant: 上海交通大学
IPC: G02B26/08
Abstract: 一种用于准静态转动和非谐振扫描的MEMS压电微镜，包括：固定衬底和设置于其上的固定框架、位于固定框架内的压电驱动器以及位于压电驱动器内的反射镜面，其中：反射镜面的两端通过支撑梁连接至固定框架上，压电驱动器关于支撑梁对称分布于反射镜面两侧，压电驱动器分别通过弹性连接折叠梁与反射镜面相连的同时通过锚点与固定框架相连。本发明基于一体化制造的压电驱动器，通过将压电驱动器布置在反射镜面两侧，支撑梁内插于压电驱动器中间，从而保证反射镜面较高的占空比，同时，在较低电压驱动下实现对反射镜面的准静态驱动，结构简单、功耗低、易于加工制造。
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公开(公告)号：CN114195143B
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202111354758.1
申请日：2021-11-16
Applicant: 上海交通大学
IPC: B32B9/00
Abstract: 一种单层锗基石墨烯低温后固化转移方法，在通过CVD工艺生长的锗基石墨烯表面旋涂载体材料，并三层复合结构以载体材料面朝上置于容器中，浇入未固化的PDMS与气泡法剥离得到的多层石墨烯(beGr)的混合物进行低温后固化工艺，然后对三层复合结构上的锗片进行刻蚀处理并最后进行触发加热实现三层复合结构的平坦化。本发明利用低温后固化构筑柔性目标基底，将大面积、高质量单层锗基石墨烯有效地转移，构建三层结构体系，既能够保证石墨烯与PMMA界面处、PMMA与PDMS界面处有足够的界面粘附能，也能避免高温后固化工艺引起PMMA与PDMS之间形成梯度界面层，从而构筑石墨烯/PMMA/beGr‑PDMS三层系统，并制备出单一尺度、失稳模式可控的石墨烯共型褶皱图案。
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公开(公告)号：CN118858164A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410886925.4
申请日：2024-07-03
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于微型金属扫描镜的水下光声成像方法，通过微型金属扫描镜反射激光到待测样品，待测样品吸收光能温度升高发生热膨胀进而产生超声波形式的光声信号，通过采集经由微型扫描镜反射的光声信号并对比发射激光和反射的光声信号的时间间隔、光声信号的强弱，得到光声成像结果。本发明基于精密金属加工技术和多段弹性蛇形梁结构制造用于扫描运动的金属片，采用动磁式驱动方案，通过将永磁体固定在金属片上并且在固定底座内安置电磁线圈，利用周期性电磁力驱动微扫描镜在水下工作，进而实现光声成像，结构简单、易组装、成本低廉并且稳定性高。
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公开(公告)号：CN118033895A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410223381.3
申请日：2024-02-28
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种圆形镜面的钛合金扫描振镜，其特征在于，包括：固定底座、嵌入其中的永磁铁组、设置于永磁铁组上的钛合金扫描振镜簧片、分别设置于钛合金扫描振镜簧片的正、背面中心的硅反射镜和驱动线圈，钛合金扫描振镜簧片上设有四组蛇形折叠支撑梁，其两端分别与钛合金扫描振镜簧片的外框和中心相连以及支撑硅反射镜。本发明基于印刷电路板和电火花切割的制造技术，实现了钛合金簧片和布线电路板的一体化制造加工；通过采用蛇形折叠支撑梁的设计，保证大口径反射镜面能够以较高频率实现大转角扫描；通过改进的永磁铁排布方式，减小了钛合金扫描振镜的体积，降低了功耗。
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公开(公告)号：CN114195143A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111354758.1
申请日：2021-11-16
Applicant: 上海交通大学
IPC: C01B32/194
Abstract: 一种单层锗基石墨烯低温后固化转移方法，在通过CVD工艺生长的锗基石墨烯表面旋涂载体材料，并三层复合结构以载体材料面朝上置于容器中，浇入未固化的PDMS与气泡法剥离得到的多层石墨烯(beGr)的混合物进行低温后固化工艺，然后对三层复合结构上的锗片进行刻蚀处理并最后进行触发加热实现三层复合结构的平坦化。本发明利用低温后固化构筑柔性目标基底，将大面积、高质量单层锗基石墨烯有效地转移，构建三层结构体系，既能够保证石墨烯与PMMA界面处、PMMA与PDMS界面处有足够的界面粘附能，也能避免高温后固化工艺引起PMMA与PDMS之间形成梯度界面层，从而构筑石墨烯/PMMA/beGr‑PDMS三层系统，并制备出单一尺度、失稳模式可控的石墨烯共型褶皱图案。
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