公开(公告)号：CN118759712A

公开(公告)日：2024-10-11

申请号：CN202411136951.1

申请日：2024-08-19

Applicant: 上海交通大学内蒙古研究院

Inventor： 方肖勇 ,  李艳辉 ,  屠尔琪 ,  李昂 ,  周峻峰 ,  张文明

IPC: G02B26/08 ,  G01S7/481 ,  G02B26/10

Abstract: 本发明提供了一种无串扰、双轴独立驱动的电磁MEMS振镜、封装结构及雷达。所述无串扰、双轴独立驱动的电磁MEMS振镜，包括支撑衬底、固定框架、第一电极、第二电极、第一慢轴支撑梁、第二慢轴支撑梁、平衡框、电磁驱动线圈、第一快轴支撑梁、第二快轴支撑梁、反射镜面以及驱动永磁体；反射镜面的两端分别通过第一快轴支撑梁和第二快轴支撑梁与平衡框可转动连接，平衡框的两端分别通过第一慢轴支撑梁和第二慢轴支撑梁与固定框架可转动连接；电磁驱动线圈的两端分别与第一电极和第二电极连接；驱动永磁体安装在支撑衬底上。本发明消除两轴之间的机械串扰，并且避免了在反射镜面周围制造电磁驱动线圈，消除了镜面热变形的影响。

公开(公告)号：CN119001676A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202411137119.3

申请日：2024-08-19

Applicant: 上海交通大学 ,  上海交通大学内蒙古研究院

Inventor： 彭昭亮 ,  方肖勇 ,  李艳辉 ,  周峻峰 ,  李昂 ,  易志然 ,  邵磊 ,  张文明

IPC: G01S7/484 ,  G01S7/4863 ,  G01S7/481 ,  G01S17/06

Abstract: 本发明提供了一种用于MEMS激光雷达的光学收发系统及雷达，光学收发系统包括光学发射系统和接收系统；光学发射系统包括依次设置的边发射激光光源组件、菲涅耳型柱面准直透镜组、新型MEMS振镜扫描组件；光学接收系统包括弯月型接收透镜组、雪崩光电二极管组件。本发明采用了特殊的准直匀化方案和无串扰、双轴独立驱动的新型MEMS振镜，同时提高了测量距离、扫描精度和点云密度；并且采用了弯月透镜用于聚焦小光斑，增加了一块非球面透镜，在增大视场角的同时显著减小球面像差，提高成像质量，实现了±20°的光学视场角。本发明有效解决了大光斑和机械串扰导致扫描精度差的问题，同时设计了光学接收系统，可以在不降低成像质量的条件下显著增大接收视场角。