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公开(公告)号：CN110364474B
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN201910571615.2
申请日：2019-06-28
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/67 , B08B13/00
Abstract: 本发明涉及一种陶瓷盘清洗用机械手机构及清洗系统，上滑轨固定板和下滑轨固定板分别固定，且相互平行，上滑轨固定板上设置上滑轨，下滑轨固定板上设置下滑轨，上滑轨和下滑轨分别通过卡槽与第一陶瓷盘夹持器，第二陶瓷盘夹持器，第三陶瓷盘夹持器，第四陶瓷盘夹持器配合；第一陶瓷盘夹持器，第二陶瓷盘夹持器，第三陶瓷盘夹持器，第四陶瓷盘夹持器通过连接杆连接，第一陶瓷盘夹持器，第二陶瓷盘夹持器和第四陶瓷盘夹持器固定在连接杆上，第三陶瓷盘夹持器和第四陶瓷盘夹持器之间设置伸缩气缸，第二陶瓷盘夹持器上设置移动电机，移动电机驱动齿轮齿条，齿轮齿条固定在下滑轨固定板上。本发明夹持牢固、兼顾整体和个别移动、自动化移动。
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公开(公告)号：CN110289238B
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN201910510341.6
申请日：2019-06-13
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供了一种晶圆框架盒水平移动装置与晶圆上料系统，用于晶圆框架盒上料的过程中，包括滑轨、滑块、水平运动驱动机构、升降机构，以及承载结构，所述承载结构安装于升降机构，所述滑块与所述升降机构直接或间接固定连接；所述升降机构用于驱动对应的承载结构做升降运动，以使得所述承载结构能够在上升后支撑于晶圆框架盒下侧，以装载所述晶圆框架盒；所述水平运动驱动机构能够驱动所述滑块沿所述滑轨做水平运动，以使得直接或间接连接于所述滑块的所述升降机构与所述承载结构和所述晶圆框架盒同步发生水平运动。
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公开(公告)号：CN110223910B
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN201910571601.0
申请日：2019-06-28
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
IPC: H01L21/02 , H01L21/677 , H01L21/673 , B25J11/00 , B25J15/00 , B08B13/00 , B08B3/08 , B08B3/04
Abstract: 本发明涉及一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构、清洗设备，支架的底部设置炉管挂钩，支架的下方侧面设置防滑挡板，支架，炉管挂钩和防滑挡板支撑炉管，支架的上部设置升降基座，升降基座和升降丝杆啮合，升降丝杆由升降电机驱动，升降电机固定在升降支撑板上，升降丝杆通过两端的轴承固定在升降支撑板上，升降支撑板上两侧设置第一滑轨，第一滑轨和升降基座的卡槽配合；升降支撑板的底部和平移丝杆啮合，平移丝杆由移动电机驱动，移动电机固定在水平基座上，平移丝杆通过两端的轴承固定在水平基座上，水平基座的两侧设置第二滑轨，第二滑轨和升降支撑板的底部卡槽配合。本发明能兼容不同规格的晶圆、降低成本、实现自动移位。
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公开(公告)号：CN110364474A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201910571615.2
申请日：2019-06-28
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/67 , B08B13/00
Abstract: 本发明涉及一种陶瓷盘清洗用机械手机构及清洗系统，上滑轨固定板和下滑轨固定板分别固定，且相互平行，上滑轨固定板上设置上滑轨，下滑轨固定板上设置下滑轨，上滑轨和下滑轨分别通过卡槽与第一陶瓷盘夹持器，第二陶瓷盘夹持器，第三陶瓷盘夹持器，第四陶瓷盘夹持器配合；第一陶瓷盘夹持器，第二陶瓷盘夹持器，第三陶瓷盘夹持器，第四陶瓷盘夹持器通过连接杆连接，第一陶瓷盘夹持器，第二陶瓷盘夹持器和第四陶瓷盘夹持器固定在连接杆上，第三陶瓷盘夹持器和第四陶瓷盘夹持器之间设置伸缩气缸，第二陶瓷盘夹持器上设置移动电机，移动电机驱动齿轮齿条，齿轮齿条固定在下滑轨固定板上。本发明夹持牢固、兼顾整体和个别移动、自动化移动。
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公开(公告)号：CN110356836A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201910439637.3
申请日：2019-05-24
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
IPC: B65G47/90
Abstract: 本发明公开了一种圆形件的传送翻转载具，所述载具包括：框架；第一夹持机构，所述第一夹持机构铰接在所述框架上，所述第一夹持机构包括两组能够沿着y轴相向或者反向运动的滑臂，所述滑臂上设置有与所述圆形件轮廓相匹配的凹槽；第一气缸，所述第一气缸的一端铰接在所述框架上，所述第一气缸的另一端铰接在所述第一夹持机构上，所述第一气缸伸长时，所述第一夹持机构平行于z轴，所述第一气缸缩短时，所述第一夹持机构平行于x轴；第二气缸，所述第二气缸平行于z轴设置，所述第二气缸的一端固定在所述框架上；以及第二夹持机构。本发明的有益效果为高精度地完成对圆形件的搬运，将圆形件从水平状态调整为竖直状态。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110203683B
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN201910440298.0
申请日：2019-05-24
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
IPC: B65G47/90
Abstract: 本发明公开了一种方形件的夹持装置及搬运系统，用于在晶圆清洗生产线中夹持竖直状态的方形件，所述夹持装置包括：框架，所述框架中固定设置有水平状态的第一滑轨、第二滑轨；第一气缸，所述第一气缸的主体滑动设置在所述第一滑轨上，所述第一气缸的活塞固定连接在所述框架上，所述第一气缸的活塞位于所述第一气缸的主体的左侧；第二气缸，所述第二气缸的主体滑动设置在所述第二滑轨上，所述第二气缸的活塞固定连接在所述框架上，所述第二气缸的活塞位于所述第二气缸的主体的右侧；左臂；以及右臂。本发明的利用两反向动力产生第一水平臂和第二水平臂的平行反向运动，再带动竖直夹具精密稳固夹持方形件。
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公开(公告)号：CN110634779A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910884891.4
申请日：2019-09-19
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
IPC: H01L21/673
Abstract: 本发明公开了一种晶圆抓片机构，所述抓片机构包括相对设置的两个抓臂，晶圆的两侧下部分别由所述抓臂托起，所述抓臂包括：长杆；以及主体，所述主体固定连接在所述长杆的底部，所述主体上设置有多个均匀排布的凹槽，用来容置所述晶圆的部分边缘，所述凹槽与所述长杆呈第一角度。本发明的有益效果为快速稳定的成组抓取晶圆，且沥水性好。
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公开(公告)号：CN110364467A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201910510335.0
申请日：2019-06-13
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供的空气阻隔装置、晶圆上料设备与空气阻隔控制方法中，利用空气阻隔装置中的空气阻隔板，可以阻隔在晶圆上料设备的内部空间与晶圆处理槽区之间，从而避免晶圆处理槽区中对晶圆进行处理时产生的酸雾和酸气等异物进入到晶圆上料设备中，防止其中的晶圆、晶圆盒等被污染、损坏。同时，需传输晶圆时，也可缩回空气阻隔板，以保障机械手依旧能顺利运输晶圆。
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公开(公告)号：CN110349894A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201910510110.5
申请日：2019-06-13
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供的晶圆上料设备与晶圆处理系统，能够利用晶圆盒移入机构能够实现载货晶圆盒的接入，还能够利用横移机构与内部移动机构的转移输送将载货晶圆盒送入分离机构，进而使得分离机构分离晶圆与晶圆盒，也能够利用空盒移动机构与空盒移出机构将分离后得到的空晶圆盒送出。可见，通过以上各机构的运作，可实现晶圆上料的整个过程。
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公开(公告)号：CN110223910A
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201910571601.0
申请日：2019-06-28
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
IPC: H01L21/02 , H01L21/677 , H01L21/673 , B25J11/00 , B25J15/00 , B08B13/00 , B08B3/08 , B08B3/04
Abstract: 本发明涉及一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构、清洗设备，支架的底部设置炉管挂钩，支架的下方侧面设置防滑挡板，支架，炉管挂钩和防滑挡板支撑炉管，支架的上部设置升降基座，升降基座和升降丝杆啮合，升降丝杆由升降电机驱动，升降电机固定在升降支撑板上，升降丝杆通过两端的轴承固定在升降支撑板上，升降支撑板上两侧设置第一滑轨，第一滑轨和升降基座的卡槽配合；升降支撑板的底部和平移丝杆啮合，平移丝杆由移动电机驱动，移动电机固定在水平基座上，平移丝杆通过两端的轴承固定在水平基座上，水平基座的两侧设置第二滑轨，第二滑轨和升降支撑板的底部卡槽配合。本发明能兼容不同规格的晶圆、降低成本、实现自动移位。
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