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公开(公告)号：CN110203698A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910439639.2
申请日：2019-05-24
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
IPC: B65G49/07
Abstract: 本发明公开了一种方形件的搬运翻转装置，用于在晶圆清洗生产线中将晶圆自水平状态调整为竖直状态，所述搬运翻转装置包括：基座；顶柱部件，所述顶柱部件具有多个支撑柱，所述支撑柱的底部固定连接在顶升气缸的移动部上，所述顶升气缸固定在所述基座上，用来接过第一机械手供给来的水平方向的方形件，所述方形件中容置所述晶圆；夹具，所述夹具包括能够相互远离或者靠近的第一卡、第二卡，所述第一卡、第二卡靠近时能够夹紧所述方形件，所述第一卡、第二卡分别固定连接在气压缸的两端，所述夹具中第二卡所在的一端铰接连接在所述基座上；以及旋转部件。本发明的有益效果为承接高精度方形件的搬运，且将方形件由水平状态翻转为竖直状态。
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公开(公告)号：CN109848092A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201910059147.0
申请日：2019-01-22
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种晶片清洗方法，该清洗方法包括：清洗时，晶片具有第一自转，刷头在晶片上做往返的弧线运动，弧线运动的往返点超出或重合于晶片的边沿；清洗后，晶片具有第二自转，用来甩干晶片表面的残留清洗液。本发明的有益效果为刷头在晶片上做往返的弧线运动并配合晶片自转，实现了对晶片的全面覆盖清洗；晶片自转的同时，刷头也按照一定速度旋转，且两者旋转的方向相反，使得清洗更为有力高效；配合二流体来清洗，一方面取得更细微的水微粒，更好的与刷头配合清洗晶片，另一方面二流体中的氮气使得水微粒的动能更大，更好的带走微尘，调整水气比例还可以取得不同的清洗效果，适应更多类型的晶片。
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公开(公告)号：CN109712922A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201910059146.6
申请日：2019-01-22
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
IPC: H01L21/673 , H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种清洗干燥晶片用的花篮，该花篮包括一组相对设置且带有平行凹槽的侧板，两两相对的所述凹槽之间放置所述晶片，所述花篮还包括：通气管道，所述通气管道设置在所述侧板的中部位置，所述通气管道上开设有若干出气孔。本发明的有益效果为能够将晶片稳定承置，并通过通气管道的布设，提高干燥效果和效率。
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公开(公告)号：CN109707723A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201910060206.6
申请日：2019-01-22
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种旋转真空轴组，所述真空轴组包括：转轴，所述转轴为圆柱壳结构，所述转轴的侧壁设置有贯穿孔，所述贯穿孔与所述转轴的内腔相连通，所述转轴的底部与电机转子轴连接，使得所述转轴能够绕自轴旋转；中间层，所述中间层套设在所述转轴上，所述中间层与所述转轴之间的间隙距离为预定值，所述中间层的两端固定有轴承，所处轴承的内圈与所述转轴紧配合，所述中间层的内侧壁设置有凹入的环形腔，所述环形腔与所述贯穿孔相连通，所述中间层上开设有第一通孔，所述第一通孔的一端与所述中间层的外部空间连通，所述第一通孔的另一端与所述环形腔相连通。本发明的有益效果为使得转轴同时具有抽真空的功能。
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公开(公告)号：CN108393302A
公开(公告)日：2018-08-14
申请号：CN201810159646.2
申请日：2018-02-26
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种旋转式硅片清洗辅助装置，属于硅片生产技术领域。该装置包括底部框架、滚轴和齿轮驱动机构，所述底部框架上设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和第二通孔相对设置形成一组对穿孔，所述滚轴的两端分别穿设于第一通孔和第二通孔内，所述滚轴的左端设有驱动齿轮，所述齿轮驱动机构包括伺服电机、第一伞状齿轮、第二伞状齿轮和主齿轮，所述伺服电机的输出端和第一伞状齿轮通过传动轴传动连接，所述第一伞状齿轮和第二伞状齿轮相啮合，所述第二伞状齿轮和主齿轮通过连接轴传动连接，所述主齿轮与驱动齿轮相啮合。该装置在硅片清洗过程中，通过滚轴驱动硅片在硅片承载花篮中转动，提高了硅片的清洗质量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110203683A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910440298.0
申请日：2019-05-24
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
IPC: B65G47/90
Abstract: 本发明公开了一种方形件的夹持装置及搬运系统，用于在晶圆清洗生产线中夹持竖直状态的方形件，所述夹持装置包括：框架，所述框架中固定设置有水平状态的第一滑轨、第二滑轨；第一气缸，所述第一气缸的主体滑动设置在所述第一滑轨上，所述第一气缸的活塞固定连接在所述框架上，所述第一气缸的活塞位于所述第一气缸的主体的左侧；第二气缸，所述第二气缸的主体滑动设置在所述第二滑轨上，所述第二气缸的活塞固定连接在所述框架上，所述第二气缸的活塞位于所述第二气缸的主体的右侧；左臂；以及右臂。本发明的利用两反向动力产生第一水平臂和第二水平臂的平行反向运动，再带动竖直夹具精密稳固夹持方形件。
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公开(公告)号：CN109719071A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201910060208.5
申请日：2019-01-22
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种晶片清洗干燥机，该干燥机包括：上箱体，所述上箱体中设置有干燥组件；中箱体，所述中箱体中设置有用来承置晶片的花篮组件；以及下箱体，所述上箱体、中箱体与下箱体能够一起构成密封整体，所述下箱体中设置有用来向外部排出气流的第一抽气管、用来向所述下箱体中供水的进水管和用来向外部排出水流的第一出水管。本发明的有益效果为提高晶片清洗的洁净度和干燥效率。
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公开(公告)号：CN108389813A
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201810159849.1
申请日：2018-02-26
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种硅片清洗干燥一体化装置，该装置包括可移动框架，在所述可移动框架中设有控制柜、气缸、升降装置、自动盖板和清洗槽，所述升降装置设置在箱体中，在箱体的一侧设有用于放置硅片承载花篮的支架，所述升降装置包括驱动电机、丝杆、连接杆、连接套筒，所述驱动电机设置在箱体的底端面上，所述驱动电机通过齿轮驱动丝杆旋转，在所述丝杆的下部设有限位槽，在所述限位槽中设有与限位槽相匹配的限位块。本发明能够实现待清洗硅片不断的在清洗槽中上下运动，提高硅片的清洗质量和清洗效率；通过鼓泡口向内槽体中通入氮气，增加内槽体内清洗液的流动性和湍动性，增强清洗液对硅片表面的清洗效果和干燥效果。
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公开(公告)号：CN108380583A
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201810162782.7
申请日：2018-02-26
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于硅片清洗的机械手，属于硅片清洗技术领域。该机械手包括基座、升降驱动机构、夹具机头、基座侧移驱动机构和两个夹爪，所述升降驱动机构的下端与基座连接，用于驱动夹具机头和夹爪进行竖直方向的移动，所述夹具机头安装在升降驱动机构的顶部，用于通过第一驱动杆和第二驱动杆驱动两个夹爪对硅片进行夹持和松开，所述基座侧移驱动机构安装在基座的侧部，用于带动基座进行水平方向的移动。该机械手的两个夹爪用于夹持硅片，并通过夹爪在水平方向的移动来实现硅片在清洗槽内的清洗，提高清洗液对硅片表面的冲刷，提高硅片的清洗效果，加快硅片的清洗效率，利用夹爪对硅片的侧部进行夹持，可以有效保护硅片的表面免受损伤。
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公开(公告)号：CN108372963A
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201810159640.5
申请日：2018-02-26
Applicant: 上海提牛机电设备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种硅片与片盒脱离机构，属于硅片清洗技术领域。该脱离机构包括底板、竖向固定支架、竖向移动支架、水平移动平台、硅片承载机构、驱动水平移动平台产生水平移动的第一驱动机构和驱动竖向移动支架产生竖向移动的第二驱动机构，所述竖向固定支架垂直设置在底板的上表面，所述竖向移动支架与固定支架滑动连接，所述水平移动平台与竖向移动支架滑动连接，所述水平移动平台上设有供硅片承载机构通过的通过空间，所述硅片承载机构设在底板的上方，且硅片承载机构与水平移动平台上的通过空间相对应。该机构自动化程度高，可以快速准确的将硅片和片盒进行分离，为后续硅片清洗做好准备，提高了硅片清洗的效率。
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