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公开(公告)号：CN111128551B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201911218700.7
申请日：2019-12-03
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明提出了一种基于二氧化硅微球的微电发生器，该微电发生器为可变电容结构，该微电发生器具有两平行的ITO导电膜，两平行的ITO导电膜分别构成可变电容结构的上电极、下电极，所述可变电容结构具有二氧化硅微球构成的绝缘介质层，两ITO导电膜具有外接的电极及引线。该微电发生器的制备方法包括：利用磁控溅射法制备ITO导电膜；于ITO导电膜上生长二氧化硅微球；利用磁控溅射或者蒸发金属薄膜发制备ITO导电膜的电极及其引线；将具有电极及引线的ITO导电膜组装成微电发生器并完成封装。此微电发生器可以进行快速充放电，循环使用寿命长，使用温度范围大，体积小、重量轻、易弯折，结构简单、不存在电解质泄露且不污染环境。
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公开(公告)号：CN111128551A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911218700.7
申请日：2019-12-03
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明提出了一种基于二氧化硅微球的微电发生器，该微电发生器为可变电容结构，该微电发生器具有两平行的ITO导电膜，两平行的ITO导电膜分别构成可变电容结构的上电极、下电极，所述可变电容结构具有二氧化硅微球构成的绝缘介质层，两ITO导电膜具有外接的电极及引线。该微电发生器的制备方法包括：利用磁控溅射法制备ITO导电膜；于ITO导电膜上生长二氧化硅微球；利用磁控溅射或者蒸发金属薄膜发制备ITO导电膜的电极及其引线；将具有电极及引线的ITO导电膜组装成微电发生器并完成封装。此微电发生器可以进行快速充放电，循环使用寿命长，使用温度范围大，体积小、重量轻、易弯折，结构简单、不存在电解质泄露且不污染环境。
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