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公开(公告)号：CN110068405A
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201910252438.1
申请日：2019-03-29
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明提出了一种光学压力传感器，包括激光光源、分束装置、检测单元、反射镜和光斑探测器；检测单元包括一导电变形层和反射层；激光光源发射出的激光经分束装置分束后形成透射光和反射光；透射光经反射层后进入光斑探测器；透射光与反射层之间形成第一反射角；反射光经反射镜反射后进入光斑探测器；反射光与反射镜之间形成第二反射角；第一反射角等于第二反射角。本发明通过比较反射镜的反射光和应变检测单元反射光的光斑位置即可以获得外界的压力参数值，具有结构简单、抗干扰性强、反应速度快、精度高、灵敏度高且成本低的优点。
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公开(公告)号：CN109827961A
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201910129809.7
申请日：2019-02-21
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明公开了一种硅晶向鉴别仪，本鉴别仪包括沿光束方向依次设置的激光发射器、透镜、检测单元、分束单元以及光强探测器和偏振探测器，激光发射器发射的激光通过透镜聚焦后照射至检测单元，检测单元形成反射光输出至分束单元，分束单元输出两路光束并且分别被光强探测器和偏振探测器接收，光强探测器测出经检查单元后反射激光的光强和光斑的位移，偏振探测器测出经检查单元后反射激光的偏振和光斑的位移。本鉴别仪有效提高硅晶向鉴别的精度，从而提高掩膜版与晶圆大晶向的对准精度，且光路元件结构简单，降低设备成本，具有反应速度快，精度高、可靠性高等优点。
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公开(公告)号：CN111128551A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911218700.7
申请日：2019-12-03
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明提出了一种基于二氧化硅微球的微电发生器，该微电发生器为可变电容结构，该微电发生器具有两平行的ITO导电膜，两平行的ITO导电膜分别构成可变电容结构的上电极、下电极，所述可变电容结构具有二氧化硅微球构成的绝缘介质层，两ITO导电膜具有外接的电极及引线。该微电发生器的制备方法包括：利用磁控溅射法制备ITO导电膜；于ITO导电膜上生长二氧化硅微球；利用磁控溅射或者蒸发金属薄膜发制备ITO导电膜的电极及其引线；将具有电极及引线的ITO导电膜组装成微电发生器并完成封装。此微电发生器可以进行快速充放电，循环使用寿命长，使用温度范围大，体积小、重量轻、易弯折，结构简单、不存在电解质泄露且不污染环境。
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公开(公告)号：CN111128551B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201911218700.7
申请日：2019-12-03
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明提出了一种基于二氧化硅微球的微电发生器，该微电发生器为可变电容结构，该微电发生器具有两平行的ITO导电膜，两平行的ITO导电膜分别构成可变电容结构的上电极、下电极，所述可变电容结构具有二氧化硅微球构成的绝缘介质层，两ITO导电膜具有外接的电极及引线。该微电发生器的制备方法包括：利用磁控溅射法制备ITO导电膜；于ITO导电膜上生长二氧化硅微球；利用磁控溅射或者蒸发金属薄膜发制备ITO导电膜的电极及其引线；将具有电极及引线的ITO导电膜组装成微电发生器并完成封装。此微电发生器可以进行快速充放电，循环使用寿命长，使用温度范围大，体积小、重量轻、易弯折，结构简单、不存在电解质泄露且不污染环境。
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公开(公告)号：CN109827961B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN201910129809.7
申请日：2019-02-21
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明公开了一种硅晶向鉴别仪，本鉴别仪包括沿光束方向依次设置的激光发射器、透镜、检测单元、分束单元以及光强探测器和偏振探测器，激光发射器发射的激光通过透镜聚焦后照射至检测单元，检测单元形成反射光输出至分束单元，分束单元输出两路光束并且分别被光强探测器和偏振探测器接收，光强探测器测出经检查单元后反射激光的光强和光斑的位移，偏振探测器测出经检查单元后反射激光的偏振和光斑的位移。本鉴别仪有效提高硅晶向鉴别的精度，从而提高掩膜版与晶圆大晶向的对准精度，且光路元件结构简单，降低设备成本，具有反应速度快，精度高、可靠性高等优点。
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