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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109827961A
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201910129809.7
申请日：2019-02-21
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明公开了一种硅晶向鉴别仪，本鉴别仪包括沿光束方向依次设置的激光发射器、透镜、检测单元、分束单元以及光强探测器和偏振探测器，激光发射器发射的激光通过透镜聚焦后照射至检测单元，检测单元形成反射光输出至分束单元，分束单元输出两路光束并且分别被光强探测器和偏振探测器接收，光强探测器测出经检查单元后反射激光的光强和光斑的位移，偏振探测器测出经检查单元后反射激光的偏振和光斑的位移。本鉴别仪有效提高硅晶向鉴别的精度，从而提高掩膜版与晶圆大晶向的对准精度，且光路元件结构简单，降低设备成本，具有反应速度快，精度高、可靠性高等优点。
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公开(公告)号：CN109827961B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN201910129809.7
申请日：2019-02-21
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明公开了一种硅晶向鉴别仪，本鉴别仪包括沿光束方向依次设置的激光发射器、透镜、检测单元、分束单元以及光强探测器和偏振探测器，激光发射器发射的激光通过透镜聚焦后照射至检测单元，检测单元形成反射光输出至分束单元，分束单元输出两路光束并且分别被光强探测器和偏振探测器接收，光强探测器测出经检查单元后反射激光的光强和光斑的位移，偏振探测器测出经检查单元后反射激光的偏振和光斑的位移。本鉴别仪有效提高硅晶向鉴别的精度，从而提高掩膜版与晶圆大晶向的对准精度，且光路元件结构简单，降低设备成本，具有反应速度快，精度高、可靠性高等优点。
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公开(公告)号：CN108458830A
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201810187033.X
申请日：2018-03-07
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明提供了一种反应速度快、抗干扰和自调节能力强的具有自修正功能的石榴石型光学压力传感装置。本发明提供的石榴石型光学压力传感装置，用于检测周边环境的压力数值，包括：激光发射器；第一分光单元；第一光强探测器，得到了第一光强度值；第一压力敏感单元；第二分光单元；第二光强探测器得到了第二光强度值；第二压力敏感单元；第三光强探测器；得到了第三光强度值；以及数据处理单元，根据第一光强度值、第二光强度值以及第三光强度值得到周边环境的压力数值，其中，第一压力敏感单元与第二压力敏感单元结构一致，第一压力敏感单元含有石榴石层、二氧化硅微球层以及石英层。
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公开(公告)号：CN107843367A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201710907662.0
申请日：2017-09-29
Applicant: 上海理工大学
IPC: G01L1/24
CPC classification number: G01L1/24
Abstract: 本发明涉及一种光学压力传感器，包括激光光源、起偏器、分束装置、第一光强探测器、压力模块及第二光强探测器；压力模块是由石英、二氧化硅微球层、石榴石和石墨依次贴合构成；激光光源发射出的激光经过起偏器，再经过分束装置分成两束光，反射光进入第一光强探测器，透射光进入压力模块，依次经过石英、二氧化硅微球层、石榴石，从石墨中间通孔穿出到达第二光强探测器。石墨接上电源之后产生压力，通过比较两个光强探测器的激光能量即可获得压力参数。此光学压力传感器具有操作简单、精度高、线性度好、量程宽、结果直观和成本低等优点。
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公开(公告)号：CN107764442A
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201710906643.6
申请日：2017-09-29
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种反射式光学压力传感器，激光发射器输出的激光通过透镜聚焦输出再经分束装置分束，一束反射被第一光强探测器直接接收，另一束透射进入检测单元，入射光斜入射到检测单元的玻璃片上，穿透玻璃片后依次穿过二氧化硅小球层和石榴石后，被石榴石背面的铝薄膜反射，反射光再经过石榴石、二氧化硅小球层，从玻璃片输出，反射光输出后被第二光强测器接收，检测单元的石墨通电电压的变化致使检测单元中的二氧化硅小球层受热发生形变从而引起检测单元反射光光强发生变化，通过比较两个光强探测器的前后光强变化关系即可获得压力参数。此结构具有元件少并且反应速度快，可靠性高，适应性强，操作简便，传感器精度高优点。
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