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公开(公告)号：CN103207464A
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201210016037.4
申请日：2012-01-17
Applicant: 上海硅通半导体技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种电光开关或光衰减器，包括一个由并行的第一波导臂和第二波导臂构成的MZI结构，所述第一波导臂和第二波导臂均包括一个波导电容器结构。所述第一波导臂外接第一电信号源，所述第二波导臂外接第二电信号源。在外接电信号源作用下，所述第一波导臂的脊波导的本征区有较大量载流子注入，而所述第二波导臂的脊波导的本征区无注入载流子或较少量载流子注入；所接电信号源同时在两个波导臂引起温度变化，在所述第二波导臂所引起的温度变化和第一波导臂相同或无限接近。本发明公开的电光开关或光衰减器能减小由于两条波导臂温度差异所引起的热效应下折射率的变化差异，提高器件效率。
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公开(公告)号：CN103207464B
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201210016037.4
申请日：2012-01-17
Applicant: 上海硅通半导体技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种电光开关或光衰减器，包括一个由并行的第一波导臂和第二波导臂构成的MZI结构，所述第一波导臂和第二波导臂均包括一个波导电容器结构。所述第一波导臂外接第一电信号源，所述第二波导臂外接第二电信号源。在外接电信号源作用下，所述第一波导臂的脊波导的本征区有较大量载流子注入，而所述第二波导臂的脊波导的本征区无注入载流子或较少量载流子注入；所接电信号源同时在两个波导臂引起温度变化，在所述第二波导臂所引起的温度变化和第一波导臂相同或无限接近。本发明公开的电光开关或光衰减器能减小由于两条波导臂温度差异所引起的热效应下折射率的变化差异，提高器件效率。
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公开(公告)号：CN202433633U
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201220020990.1
申请日：2012-01-17
Applicant: 上海硅通半导体技术有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种电光开关或光衰减器，包括一个由并行的第一波导臂和第二波导臂构成的MZI结构，所述第一波导臂和第二波导臂均包括一个波导电容器结构。所述第一波导臂外接第一电信号源，所述第二波导臂外接第二电信号源。在外接电信号源作用下，所述第一波导臂的脊波导的本征区有较大量载流子注入，而所述第二波导臂的脊波导的本征区无注入载流子或较少量载流子注入；所接电信号源同时在两个波导臂引起温度变化，在所述第二波导臂所引起的温度变化和第一波导臂相同或无限接近。本实用新型公开的电光开关或光衰减器能减小由于两条波导臂温度差异所引起的热效应下折射率的变化差异，提高器件效率。
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