公开(公告)号：CN102667625A

公开(公告)日：2012-09-12

申请号：CN201080058514.2

申请日：2010-12-20

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 藤原健典 ,  内田圭一 ,  谷垣勇刚 ,  诹访充史

IPC: G03F7/075 ,  C08G77/04 ,  C08G77/14 ,  G03F7/022 ,  G03F7/023

CPC classification number: C08G77/14 ,  C08G77/70 ,  C09D183/06 ,  G03F7/0757

Abstract: 本发明的正型感光性树脂组合物，其特征在于，是含有(a)聚硅氧烷、(b)重氮萘醌化合物、(c)溶剂的正型感光性组合物，(a)聚硅氧烷中的来源于通式(1)所示的有机硅烷的结构的含有比率，以相对于聚硅氧烷全体的Si原子摩尔数的Si原子摩尔比计，为20%～80%，并且包含来源于通式(2)所示的有机硅烷的结构。通过本发明的正型感光性组合物，可以提供具有高耐热性、高透明性的特性，并且能够以高灵敏度形成高分辨率的图案的正型感光性组合物。此外，可以用于由本发明的正型感光性组合物形成的TFT基板用平坦化膜、层间绝缘膜、芯材、包层材等的固化膜、以及具有该固化膜的显示元件、半导体元件、固体摄像元件、光波导等的元件。

公开(公告)号：CN102667625B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201080058514.2

申请日：2010-12-20

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 藤原健典 ,  内田圭一 ,  谷垣勇刚 ,  诹访充史

IPC: G03F7/075 ,  C08G77/04 ,  C08G77/14 ,  G03F7/022 ,  G03F7/023

CPC classification number: C08G77/14 ,  C08G77/70 ,  C09D183/06 ,  G03F7/0757

Abstract: 本发明的正型感光性树脂组合物，其特征在于，是含有(a)聚硅氧烷、(b)重氮萘醌化合物、(c)溶剂的正型感光性组合物，(a)聚硅氧烷中的来源于通式(1)所示的有机硅烷的结构的含有比率，以相对于聚硅氧烷全体的Si原子摩尔数的Si原子摩尔比计，为20%～80%，并且包含来源于通式(2)所示的有机硅烷的结构。通过本发明的正型感光性组合物，可以提供具有高耐热性、高透明性的特性，并且能够以高灵敏度形成高分辨率的图案的正型感光性组合物。此外，可以用于由本发明的正型感光性组合物形成的TFT基板用平坦化膜、层间绝缘膜、芯材、包层材等的固化膜、以及具有该固化膜的显示元件、半导体元件、固体摄像元件、光波导等的元件。

公开(公告)号：CN105359037B

公开(公告)日：2020-02-28

申请号：CN201480037500.0

申请日：2014-07-01

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 内田圭一 ,  鸭川政雄 ,  诹访充史 ,  谷口千香

IPC: G03F7/023 ,  C08G77/06 ,  C08G77/14 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明的目的在于开发一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物无损于高折射率、高透明性的特性，于室温进行长期保存后，在曝光时仍然具有高灵敏度，且形成图案后的分辨性、耐溶剂性优异。本发明为一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，包含：聚硅氧烷，其是通过将特定的有机硅烷和具有羧基及/或二羧酸酐结构的有机硅烷水解并使其部分缩合而合成的；(d)选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物的粒子，或者选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物与硅化合物的复合粒子；(b)萘醌二叠氮化合物；以及(c)溶剂。

公开(公告)号：CN103180784B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201180052802.1

申请日：2011-08-30

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 藤原健典 ,  诹访充史 ,  内田圭一 ,  福原将 ,  妹尾将秀

IPC: G03F7/004 ,  G02F1/1333 ,  G03F7/023 ,  G03F7/075

CPC classification number: G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0751

Abstract: 正型感光性组合物，为含有(A)碱可溶性树脂、(B)重氮萘醌化合物、(C)溶剂、和(D)金属螯合物的正型感光性组合物，其特征在于，(D)金属螯合物具有下述通式(1)所示的结构，(D)金属螯合物的含量，相对于(A)碱可溶性树脂100重量份为0.1～5重量份。提供具有高耐热性、高透明性的特点，进而显影密合性、耐湿热性优异的正型感光性组合物。

公开(公告)号：CN105359037A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201480037500.0

申请日：2014-07-01

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 内田圭一 ,  鸭川政雄 ,  诹访充史 ,  谷口千香

IPC: G03F7/023 ,  C08G77/06 ,  C08G77/14 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明的目的在于开发一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物无损于高折射率、高透明性的特性，于室温进行长期保存后，在曝光时仍然具有高灵敏度，且形成图案后的分辨性、耐溶剂性优异。本发明为一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，包含：聚硅氧烷，其是通过将特定的有机硅烷和具有羧基及/或二羧酸酐结构的有机硅烷水解并使其部分缩合而合成的；(d)选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物的粒子，或者选自铝化合物、锡化合物、钛化合物及锆化合物中的1种以上的金属化合物与硅化合物的复合粒子；(b)萘醌二叠氮化合物；以及(c)溶剂。

公开(公告)号：CN103180784A

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN201180052802.1

申请日：2011-08-30

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 藤原健典 ,  诹访充史 ,  内田圭一 ,  福原将 ,  妹尾将秀

IPC: G03F7/004 ,  G02F1/1333 ,  G03F7/023 ,  G03F7/075

CPC classification number: G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0751

Abstract: 正型感光性组合物，为含有(A)碱可溶性树脂、(B)重氮萘醌化合物、(C)溶剂、和(D)金属螯合物的正型感光性组合物，其特征在于，(D)金属螯合物具有下述通式(1)所示的结构，(D)金属螯合物的含量，相对于(A)碱可溶性树脂100重量份为0.1～5重量份。提供具有高耐热性、高透明性的特点，进而显影密合性、耐湿热性优异的正型感光性组合物。