公开(公告)号：CN108604547A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201780009904.2

申请日：2017-01-20

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 高木康弘 ,  梅野慎一 ,  永井高志 ,  守田寿 ,  绪方信博 ,  高松祐助 ,  东岛治郎

IPC: H01L21/304

Abstract: 实施方式所涉及的基板处理装置具备贮存容器、基板处理部、回收路径、废弃路径、供给路径、切换部和切换控制部。回收路径使供给到基板处理部的混合液返回到贮存容器。废弃路径将所供给的混合液废弃到贮存容器以外的场所。切换部使所供给的混合液的流入目的地在回收路径与废弃路径之间切换。切换控制部对切换部进行控制，使得在从基板处理部开始供给混合液起到第一时间经过的期间，使所供给的混合液向废弃路径流入，在第一时间经过后且到基于预先决定的回收率决定的第二时间经过为止的期间，使所供给的混合液向回收路径流入，在从第二时间经过起到混合液的供给结束为止的期间，使所供给的混合液向废弃路径流入。

公开(公告)号：CN108604547B

公开(公告)日：2022-08-16

申请号：CN201780009904.2

申请日：2017-01-20

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 高木康弘 ,  梅野慎一 ,  永井高志 ,  守田寿 ,  绪方信博 ,  高松祐助 ,  东岛治郎

IPC: H01L21/304

Abstract: 实施方式所涉及的基板处理装置具备贮存容器、基板处理部、回收路径、废弃路径、供给路径、切换部和切换控制部。回收路径使供给到基板处理部的混合液返回到贮存容器。废弃路径将所供给的混合液废弃到贮存容器以外的场所。切换部使所供给的混合液的流入目的地在回收路径与废弃路径之间切换。切换控制部对切换部进行控制，使得在从基板处理部开始供给混合液起到第一时间经过的期间，使所供给的混合液向废弃路径流入，在第一时间经过后且到基于预先决定的回收率决定的第二时间经过为止的期间，使所供给的混合液向回收路径流入，在从第二时间经过起到混合液的供给结束为止的期间，使所供给的混合液向废弃路径流入。