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发明公开
等离子体处理装置审中-公开

公开(公告)号：CN119949022A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202380067985.7

申请日：2023-09-20

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 永岛望 , 吉越大祐 , 山形邦彦 , 照内怜 , 锄柄友隆

IPC: H05H1/46 , H02J50/10

Abstract: 本发明的等离子体处理装置在等离子体处理腔室内包括至少一个电功率消耗部件。至少一个电功率消耗部件与受电线圈电连接。受电线圈与送电线圈电磁感应耦合。送电线圈接收来自送电部的电功率。控制部决定与参数值对应的所需电功率水平，控制送电部来输出具有所需电功率水平的输出电功率，参数值包含根据从送电部向送电线圈输入的输入电压和输入电流来求取的输入阻抗或至少一个电功率消耗部件所具有的负载电阻值。

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