-
公开(公告)号：CN104204267B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201280071515.X
申请日：2012-11-28
Applicant: 东华隆株式会社
Abstract: 本发明提供一种氟化物喷涂覆膜覆盖部件以及用于获得其的方法，该氟化物喷涂覆膜覆盖部件通过在基材表面覆盖碳化物金属陶瓷，并通过介设该金属陶瓷，牢固地密接氟化物喷涂覆膜，从而形成。通过在基材表面使用喷涂枪以高速喷洒碳化物金属陶瓷材料，从而形成使碳化物金属陶瓷颗粒的前端部埋没在基材中、同时呈膜状覆盖而成的碳化物金属陶瓷的底涂层或底漆部，然后通过在其上喷涂氟化物颗粒而形成氟化物喷涂覆膜。
-
公开(公告)号：CN104080940A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201380007657.4
申请日：2013-01-16
Applicant: 东华隆株式会社
CPC classification number: C23C14/48 , C23C4/04 , C23C4/18 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明的目的是得到一种氟化物喷涂覆膜覆盖部件，其耐卤素腐蚀性、耐等离子侵蚀性等优异，其上还显示有文字、数字、图形、图案、或是公司名称、制造编号等的识别记号等。在本发明中，通过向基材表面所形成的白色氟化物喷涂覆膜中注入从含F气体、氧气及不活泼气体中选出的任意一种以上注入气体的离子，从而使该白色氟化物喷涂覆膜表面的至少一部分变成黑色，形成黑色的离子注入层。
-
公开(公告)号：CN104105820B
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201280069358.9
申请日：2012-10-26
Applicant: 东华隆株式会社
CPC classification number: B05D1/02 , B05B7/205 , B05D2350/33 , C23C4/02 , C23C4/04 , Y10T428/12056 , Y10T428/24372 , Y10T428/24413
Abstract: 本发明提供一种通过抑制热分解反应和氧化反应而使在品质方面具有良好特性的氟化物喷涂覆膜粘合而成的氟化物喷涂覆膜覆盖部件，并提出一种使该覆膜牢固地附着而覆盖形成的方法。一种方法，其在基材或经前处理的基材表面，视需求在碳化物金属陶瓷的底涂层或喷涂微粒散布部上，以不活泼气体为成膜用工作气体，以不活泼气体温度600℃～1300℃、飞行微粒速度：500m/sec.以上的速度喷洒氟化物喷涂材料微粒，从而在该基材表面形成氟化物喷涂覆膜植毛构造；以及一种氟化物喷涂覆膜覆盖部件。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104105820A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201280069358.9
申请日：2012-10-26
Applicant: 东华隆株式会社
CPC classification number: B05D1/02 , B05B7/205 , B05D2350/33 , C23C4/02 , C23C4/04 , Y10T428/12056 , Y10T428/24372 , Y10T428/24413
Abstract: 本发明提供一种通过抑制热分解反应和氧化反应而使在品质方面具有良好特性的氟化物喷涂覆膜粘合而成的氟化物喷涂覆膜覆盖部件，并提出一种使该覆膜牢固地附着而覆盖形成的方法。一种方法，其在基材或经前处理的基材表面，视需求在碳化物金属陶瓷的底涂层或喷涂微粒散布部上，以不活泼气体为成膜用工作气体，以不活泼气体温度600℃～1300℃、飞行微粒速度：500m/sec.以上的速度喷洒氟化物喷涂材料微粒，从而在该基材表面形成氟化物喷涂覆膜植毛构造；以及一种氟化物喷涂覆膜覆盖部件。
-
公开(公告)号：CN104204267A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201280071515.X
申请日：2012-11-28
Applicant: 东华隆株式会社
Abstract: 本发明提供一种氟化物喷涂覆膜覆盖部件以及用于获得其的方法，该氟化物喷涂覆膜覆盖部件通过在基材表面覆盖碳化物金属陶瓷，并通过介设该金属陶瓷，牢固地密接氟化物喷涂覆膜，从而形成。通过在基材表面使用喷涂枪以高速喷洒碳化物金属陶瓷材料，从而形成使碳化物金属陶瓷颗粒的前端部埋没在基材中、同时呈膜状覆盖而成的碳化物金属陶瓷的底涂层或底漆部，然后通过在其上喷涂氟化物颗粒而形成氟化物喷涂覆膜。
-
公开(公告)号：CN101074473B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200710100607.7
申请日：2007-03-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 东华隆株式会社
CPC classification number: C23C28/042 , C23C4/02 , C23C4/11 , C23C4/18 , C23C26/00
Abstract: 本发明谋求在强腐蚀性环境下，提高进行等离子体蚀刻加工的半导体加工用装置等的容器内配设的部件的耐久性。提供一种陶瓷覆盖部件，在金属制或非金属制基材表面，直接具有或隔着底涂层具有由周期表IIIB族氧化物的喷镀膜构成的多孔质层，在该层上，形成有通过照射处理电子束或激光束等高能量形成的二次再结晶层。
-
公开(公告)号：CN104080940B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201380007657.4
申请日：2013-01-16
Applicant: 东华隆株式会社
CPC classification number: C23C14/48 , C23C4/04 , C23C4/18 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明的目的是得到一种氟化物喷涂覆膜覆盖部件，其耐卤素腐蚀性、耐等离子侵蚀性等优异，其上还显示有文字、数字、图形、图案、或是公司名称、制造编号等的识别记号等。在本发明中，通过向基材表面所形成的白色氟化物喷涂覆膜中注入从含F气体、氧气及不活泼气体中选出的任意一种以上注入气体的离子，从而使该白色氟化物喷涂覆膜表面的至少一部分变成黑色，形成黑色的离子注入层。
-
公开(公告)号：CN101074473A
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：CN200710100607.7
申请日：2007-03-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 东华隆株式会社
CPC classification number: C23C28/042 , C23C4/02 , C23C4/11 , C23C4/18 , C23C26/00
Abstract: 本发明谋求在强腐蚀性环境下，提高进行等离子体蚀刻加工的半导体加工用装置等的容器内配设的部件的耐久性。提供一种陶瓷覆盖部件，在金属制或非金属制基材表面，直接具有或隔着底涂层具有由周期表IIIB族氧化物的喷镀膜构成的多孔质层，在该层上，形成有通过照射处理电子束或激光束等高能量形成的二次再结晶层。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.036 seconds)
