公开(公告)号：CN108527788A

公开(公告)日：2018-09-14

申请号：CN201710712695.X

申请日：2017-08-18

Applicant: 东芝存储器株式会社

Inventor： 前田竹识 ,  松嶋良二 ,  南中理 ,  岩政直树

IPC: B29C45/34

Abstract: 本发明的实施方式提供一种能够将树脂充分地填充至模腔内，并且能够抑制从排气孔漏出树脂的模具。本实施方式的模具具备与被处理衬底的表面相接的第1面。模腔部向远离第1面的第1方向后退。排气口部向第1方向后退且比模腔部更接近第1面，与模腔部连通，成为模腔部内的气体的排出路径。吸引部向第1方向后退且比排气口部更远离第1面，与排气口部连通。第1开闭部设置在排气口部与吸引部之间，将排出路径开闭或窄小化。第2开闭部设置在第1开闭部与吸引部之间，且将排出路径开闭。

公开(公告)号：CN108527788B

公开(公告)日：2021-05-04

申请号：CN201710712695.X

申请日：2017-08-18

Applicant: 东芝存储器株式会社

Inventor： 前田竹识 ,  松嶋良二 ,  南中理 ,  岩政直树

IPC: B29C45/34

Abstract: 本发明的实施方式提供一种能够将树脂充分地填充至模腔内，并且能够抑制从排气孔漏出树脂的模具。本实施方式的模具具备与被处理衬底的表面相接的第1面。模腔部向远离第1面的第1方向后退。排气口部向第1方向后退且比模腔部更接近第1面，与模腔部连通，成为模腔部内的气体的排出路径。吸引部向第1方向后退且比排气口部更远离第1面，与排气口部连通。第1开闭部设置在排气口部与吸引部之间，将排出路径开闭或窄小化。第2开闭部设置在第1开闭部与吸引部之间，且将排出路径开闭。