一种双天线增强线形微波等离子体源

    公开(公告)号:CN112616236A

    公开(公告)日:2021-04-06

    申请号:CN202110032841.0

    申请日:2021-01-12

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本发明公开一种双天线增强线形微波等离子体源,包括屏蔽罩,载板,微波电源和与微波电源相连通的T型功率分配器;屏蔽罩为梯形结构,且屏蔽罩不设底板;载板设置于屏蔽罩正下方;T型功率分配器另两端分别与一微波天线连通,且两微波天线位于同侧;T型功率分配器与微波天线设置于屏蔽罩内腔中部;屏蔽罩上还设置有磁铁组件和进气管组。本发明在现有线形微波等离子体源的基础上通过引进双天线结构,以及相应的对进气管路、磁场结构进行改进,有效的增大线形微波等离子体源产生等离子体的横向面积,从而最终达到减少微波电源的数量的目的。

    一种内接式串并半片组件

    公开(公告)号:CN112234111A

    公开(公告)日:2021-01-15

    申请号:CN201910558249.7

    申请日:2019-06-26

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本发明公开了一种新型内接式串并半片组件。该新型半片组件采用串并联电路结构,半片电池串联连接成电池串,电池串并联连接成电池串组,电池串组串联连接成组件,每个电池串组并联一个旁路二极管减小热斑效应的影响。组件采用一体式接线盒,接线盒位于组件背面靠近短边的中部,通过跨接汇流条将电流汇入组件顶部的固定位置,跨接汇流条位于电池串背面中心线或组件边缘的位置,不会对组件版型产生影响。该发明具有生产效率高,输出端口唯一的鲜明特征,是一种高性价比的半片组件。

    一种多晶硅铸锭炉热场结构

    公开(公告)号:CN112030227A

    公开(公告)日:2020-12-04

    申请号:CN201910400635.3

    申请日:2019-05-15

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本发明涉及一种多晶硅铸锭炉热场结构,具有上炉体、下炉体,上炉体内设置有侧隔热笼和上保温板,下炉体内设置有底保温板、热交换块,装有硅原料的石英坩埚放置在石墨坩埚内,石墨坩埚置于热交换块上,石墨坩埚上方和侧方均设置有加热器,且加热器受同一电源控制。侧隔热笼靠近加热器侧装置耐高温发射率低的合金板,石墨坩埚外侧表面涂覆耐高温发射率高的涂层。加热时,侧隔热笼、底保温板、上保温板形成封闭空腔;硅晶体生长时,侧隔热笼缓慢上升,与底保温板分离。本发明在在多晶硅料熔化过程中能够缩短熔化时间,降低能耗,在多晶硅生长时能够避免坩埚侧形核长晶,减少晶体缺陷,提高电池的转换效率。

    一种多晶硅铸锭炉用铸锭装置

    公开(公告)号:CN112981529A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN202110300558.1

    申请日:2021-03-22

    Applicant: 中南大学

    Inventor: 周继承 冯天舒

    Abstract: 本发明公开一种多晶硅铸锭炉用铸锭装置,包括石英坩埚,所述石英坩埚内部两侧可拆卸连接有石英板,所述石英坩埚顶部可拆卸连接有盖体,所述石英坩埚外部套设有石墨护板,所述石墨护板外部套设有加热器,所述石墨护板与所述加热器之间设有石墨炭毡套。本发明有效减少了硅晶体凝固膨胀时受到坩埚约束产生的热应力,缓解了硅锭四周位错的产生与增殖,并且,由于石英坩埚开口逐渐扩大,更利于硅锭脱模。在取出炉中硅锭,放置在环境中冷却时,热应力的减小使硅锭四周开裂的可能性减小。最终使得硅锭四周区域少子寿命提高,杂质含量降低,优化了太阳能电池的输出性能。

    一种多晶硅铸锭炉
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111663180A

    公开(公告)日:2020-09-15

    申请号:CN202010709409.6

    申请日:2020-07-22

    Applicant: 中南大学

    Inventor: 周继承 冯天舒

    Abstract: 本发明公开一种多晶硅铸锭炉,包括炉体和设置在炉体内的保温罩,所述保温罩内设置有坩埚、底板、加热器、隔热块及热交换装置;所述底板安装在所述热交换装置上,所述坩埚放置在所述底板上,所述坩埚外壁上安装有坩埚护板,所述底板的侧壁上安装有角度调节机构,所述隔热块安装在所述角度调节机构上,所述隔热块末端与所述保温罩接触连接。本发明通过改变碳毡隔热块的放置方式,即调节其与底部石墨护板间所成夹角,可以有效控制热量散失途径与方式,实现对热场的调控,以满足铸锭各工艺的不同需求。

    一种多晶硅铸锭炉用铸锭装置

    公开(公告)号:CN214655366U

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN202120574745.4

    申请日:2021-03-22

    Applicant: 中南大学

    Inventor: 周继承 冯天舒

    Abstract: 本实用新型公开一种多晶硅铸锭炉用铸锭装置,包括石英坩埚,所述石英坩埚内部两侧可拆卸连接有石英板,所述石英坩埚顶部可拆卸连接有盖体,所述石英坩埚外部套设有石墨护板,所述石墨护板外部套设有加热器,所述石墨护板与所述加热器之间设有石墨炭毡套。本实用新型有效减少了硅晶体凝固膨胀时受到坩埚约束产生的热应力,缓解了硅锭四周位错的产生与增殖,并且,由于石英坩埚开口逐渐扩大,更利于硅锭脱模。在取出炉中硅锭,放置在环境中冷却时,热应力的减小使硅锭四周开裂的可能性减小。最终使得硅锭四周区域少子寿命提高,杂质含量降低,优化了太阳能电池的输出性能。

    一种多晶硅铸锭炉
    7.
    实用新型

    公开(公告)号:CN212293842U

    公开(公告)日:2021-01-05

    申请号:CN202021457197.9

    申请日:2020-07-22

    Applicant: 中南大学

    Inventor: 周继承 冯天舒

    Abstract: 本实用新型公开一种多晶硅铸锭炉,包括炉体和设置在炉体内的保温罩,所述保温罩内设置有坩埚、底板、加热器、隔热块及热交换装置;所述底板安装在所述热交换装置上,所述坩埚放置在所述底板上,所述坩埚外壁上安装有坩埚护板,所述底板的侧壁上安装有角度调节机构,所述隔热块安装在所述角度调节机构上,所述隔热块末端与所述保温罩接触连接。本实用新型通过改变碳毡隔热块的放置方式,即调节其与底部石墨护板间所成夹角,可以有效控制热量散失途径与方式,实现对热场的调控,以满足铸锭各工艺的不同需求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    装配式多晶硅铸锭炉石英坩埚

    公开(公告)号:CN217499497U

    公开(公告)日:2022-09-27

    申请号:CN202220457211.8

    申请日:2022-03-03

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本实用新型公开一种装配式多晶硅铸锭炉石英坩埚,所述石英坩埚内部可以置入四块类似三棱柱的石英内置块。所述石英内置块在硅料填充前紧贴石英坩埚侧壁逐个置入,可以在所述石英坩埚内形成紧密的结构,使所述石英坩埚侧壁形成一定的倾斜角度。本实用新型的有益效果是:石英坩埚为方形结构,4块石英内置块结构一致,置入时不存在差别及先后顺序,装配方便。由于石英坩埚侧壁形成的角度,沿高度方向上石英坩埚横截面积逐渐增大,有效缓解了硅晶体凝固膨胀时由于受到坩埚约束产生的应力,缓解了硅锭四周位错的产生与增殖,提升了硅锭质量,且更利于硅锭脱模。

    一种多晶硅铸锭炉石英坩埚

    公开(公告)号:CN217499496U

    公开(公告)日:2022-09-27

    申请号:CN202220457153.9

    申请日:2022-03-03

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉石英坩埚,包括:底部石英板材,围绕该底部板材四周并由此向上延伸的侧边石英板材,所述的侧边石英板材呈现出两个部分,下部分板材的厚度较石英坩埚侧壁厚,且其厚度沿高度方向逐渐减小,上部分板材的厚度沿高度方向不变。下部分板材长度与石英坩埚内高之比控制在0.6‑1之间,下部分板材倾斜角度在0.5‑2度间可调。本实用新型的有益效果是:逐渐减薄的侧边石英板材使坩埚横截面沿高度方向逐渐增大,有效减少了硅晶体凝固时膨胀时受到坩埚约束产生的热应力,缓解了硅锭四周位错的产生与增殖。更利于硅锭脱模,最终使得硅锭四周区域少子寿命提高,杂质含量降低,优化了太阳能电池的输出性能。

    一种双天线增强线形微波等离子体源

    公开(公告)号:CN214125595U

    公开(公告)日:2021-09-03

    申请号:CN202120063819.8

    申请日:2021-01-12

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本实用新型公开一种双天线增强线形微波等离子体源,包括屏蔽罩,载板,微波电源和与微波电源相连通的T型功率分配器;屏蔽罩为梯形结构,且屏蔽罩不设底板;载板设置于屏蔽罩正下方;T型功率分配器另两端分别与一微波天线连通,且两微波天线位于同侧;T型功率分配器与微波天线设置于屏蔽罩内腔中部;屏蔽罩上还设置有磁铁组件和进气管组。本实用新型在现有线形微波等离子体源的基础上通过引进双天线结构,以及相应的对进气管路、磁场结构进行改进,有效的增大线形微波等离子体源产生等离子体的横向面积,从而最终达到减少微波电源的数量的目的。

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