公开(公告)号：CN112853325A

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN202110028055.3

申请日：2021-01-11

Applicant: 中南大学

Inventor： 周继承 ,  黄静 ,  廖佳 ,  梁慧玲 ,  徐伟 ,  吕博文

IPC: C23C16/50 ,  C23C16/455

Abstract: 本发明公开一种管式PECVD设备的腔室结构，包括石英炉管，前端法兰组件，尾端法兰组件和补气装置；石英炉管的两端分别与前端法兰组件和后端法兰组件固接；石英炉管内设置有石墨舟；前端固定法兰套接在石英炉管一端外壁；前端进气法兰为环状设置；前端进气法兰内开设有环形腔；前端进气法兰内壁周向等距开设有若干布气孔；布气孔与环形腔连通；前端进气法兰外壁底部连通有进气管；远离进气管的布气孔孔径逐渐增大；石英炉管另一端连通有补气装置；能够实现工艺气体可以快速且均匀的分布在石英炉管内，气流在管内分布的均匀性以及沉积膜的均匀性大幅度的提高。

公开(公告)号：CN113151806A

公开(公告)日：2021-07-23

申请号：CN202110453739.8

申请日：2021-04-26

Applicant: 中南大学

Inventor： 周继承 ,  吕博文

IPC: C23C16/455

Abstract: 本发明公开一种低压化学气相沉积炉进气装置，包括:炉体，所述炉体内设置有混气机构和反应机构；所述混气机构包括混气管；所述反应机构包括隔离板；所述隔离板一侧面与所述混气管另一端端面固接；所述炉体内设置有外管；所述外管内设置有内管；所述内管与所述外管一端均与所述隔离板另一侧面固接；所述内管与所述外管的另一端固接有后密封组件；所述外管内壁与所述内管外壁之间形成环形通道；所述隔离板侧面绕所述隔离板中心周向阵列开设有若干连通孔；所述连通孔两端分别连通所述环形通道和所述混气管内腔；所述内管外壁沿轴线方向螺旋开设有若干通气孔；若干所述通气孔孔径沿所述隔离板到所述后密封组件方向依次增大。

公开(公告)号：CN214327881U

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN202120052323.0

申请日：2021-01-11

Applicant: 中南大学

Inventor： 周继承 ,  黄静 ,  廖佳 ,  梁慧玲 ,  徐伟 ,  吕博文

IPC: C23C16/50 ,  C23C16/455

Abstract: 本实用新型公开一种管式PECVD设备的腔室结构，包括石英炉管，前端法兰组件，尾端法兰组件和补气装置；石英炉管的两端分别与前端法兰组件和后端法兰组件固接；石英炉管内设置有石墨舟；前端固定法兰套接在石英炉管一端外壁；前端进气法兰为环状设置；前端进气法兰内开设有环形腔；前端进气法兰内壁周向等距开设有若干布气孔；布气孔与环形腔连通；前端进气法兰外壁底部连通有进气管；远离进气管的布气孔孔径逐渐增大；石英炉管另一端连通有补气装置；能够实现工艺气体可以快速且均匀的分布在石英炉管内，气流在管内分布的均匀性以及沉积膜的均匀性大幅度的提高。

公开(公告)号：CN217499496U

公开(公告)日：2022-09-27

申请号：CN202220457153.9

申请日：2022-03-03

Applicant: 中南大学

Inventor： 周继承 ,  吕博文 ,  冯天舒

IPC: C30B28/06 ,  C30B29/06

Abstract: 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉石英坩埚，包括：底部石英板材，围绕该底部板材四周并由此向上延伸的侧边石英板材，所述的侧边石英板材呈现出两个部分，下部分板材的厚度较石英坩埚侧壁厚，且其厚度沿高度方向逐渐减小，上部分板材的厚度沿高度方向不变。下部分板材长度与石英坩埚内高之比控制在0.6‑1之间，下部分板材倾斜角度在0.5‑2度间可调。本实用新型的有益效果是：逐渐减薄的侧边石英板材使坩埚横截面沿高度方向逐渐增大，有效减少了硅晶体凝固时膨胀时受到坩埚约束产生的热应力，缓解了硅锭四周位错的产生与增殖。更利于硅锭脱模，最终使得硅锭四周区域少子寿命提高，杂质含量降低，优化了太阳能电池的输出性能。

公开(公告)号：CN214529235U

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN202120871797.8

申请日：2021-04-26

Applicant: 中南大学

Inventor： 周继承 ,  吕博文

IPC: C23C16/455

Abstract: 本实用新型公开一种低压化学气相沉积炉进气装置，包括:炉体，所述炉体内设置有混气机构和反应机构；所述混气机构包括混气管；所述反应机构包括隔离板；所述隔离板一侧面与所述混气管另一端端面固接；所述炉体内设置有外管；所述外管内设置有内管；所述内管与所述外管一端均与所述隔离板另一侧面固接；所述内管与所述外管的另一端固接有后密封组件；所述外管内壁与所述内管外壁之间形成环形通道；所述隔离板侧面绕所述隔离板中心周向阵列开设有若干连通孔；所述连通孔两端分别连通所述环形通道和所述混气管内腔；所述内管外壁沿轴线方向螺旋开设有若干通气孔；若干所述通气孔孔径沿所述隔离板到所述后密封组件方向依次增大。