公开(公告)号：CN114923892B

公开(公告)日：2023-05-23

申请号：CN202210569076.0

申请日：2022-05-24

Applicant: 中国工程物理研究院材料研究所

Inventor： 李海波 ,  蒙大桥 ,  王茂成 ,  王向东 ,  胡殷 ,  法涛 ,  雷有功 ,  王帅鹏 ,  苏斌 ,  谷玥娇 ,  杨鹏飞 ,  李赣

IPC: G01N21/65 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明提供一种双波长近红外便携式拉曼光谱装置，涉及拉曼光谱检测技术领域。拉曼光谱装置包括：第一激光器、第二激光器、传输模块和检测模块；第一激光器用于发射第一设定波长的第一激光；第二激光器用于发射第二设定波长的第二激光；传输模块在待测目标样品的拉曼光谱特征峰位于第一波数范围时，对第一激光进行耦合，在待测目标样品的拉曼光谱特征峰位于第二波数范围时，对第二激光进行耦合，然后再过滤传输至待测目标样品上激发拉曼光谱得到光谱信号；检测模块对接收的光谱信号进行分光并检测得到拉曼光谱。以实现在抑制样品荧光背景的同时显著拓宽现有近红外拉曼光谱装置检测范围，且不会降低光谱分辨率和增加新的机械结构的便携的需求。

公开(公告)号：CN114923892A

公开(公告)日：2022-08-19

申请号：CN202210569076.0

申请日：2022-05-24

Applicant: 中国工程物理研究院材料研究所

Inventor： 李海波 ,  蒙大桥 ,  王茂成 ,  王向东 ,  胡殷 ,  法涛 ,  雷有功 ,  王帅鹏 ,  苏斌 ,  谷玥娇 ,  杨鹏飞 ,  李赣

IPC: G01N21/65 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明提供一种双波长近红外便携式拉曼光谱装置，涉及拉曼光谱检测技术领域。拉曼光谱装置包括：第一激光器、第二激光器、传输模块和检测模块；第一激光器用于发射第一设定波长的第一激光；第二激光器用于发射第二设定波长的第二激光；传输模块在待测目标样品的拉曼光谱特征峰位于第一波数范围时，对第一激光进行耦合，在待测目标样品的拉曼光谱特征峰位于第二波数范围时，对第二激光进行耦合，然后再过滤传输至待测目标样品上激发拉曼光谱得到光谱信号；检测模块对接收的光谱信号进行分光并检测得到拉曼光谱。以实现在抑制样品荧光背景的同时显著拓宽现有近红外拉曼光谱装置检测范围，且不会降低光谱分辨率和增加新的机械结构的便携的需求。

公开(公告)号：CN112556584A

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：CN202011247397.6

申请日：2020-11-10

Applicant: 中国工程物理研究院材料研究所

Inventor： 李海波 ,  李赣 ,  唐涛 ,  谷玥娇 ,  胡殷 ,  李常茂 ,  王茂成 ,  吕俊波 ,  郑少涛

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明公开了一种薄膜厚度微区成像的检测装置及方法，属于薄膜厚度无损检测的技术领域，所述检测装置包括：计算机，分别与计算机通信连接的光源发生器和面阵检测器；所述光源发生器用于产生波长可调的单色光；照明及成像光路，所述照明及成像光路用于将单色光垂直或接近垂直方向入射到样品表面的待测区域，并将反射光收集并成像到面阵检测器上；检测过程包括：检测过程包括：通过计算机控制光源发生器进行波长扫描和面阵检测器进行逐个波长反射图像的采集，并获得不同波长的反射光图像，通过数据处理方法将反射光图像转变为薄膜厚度分布图像，以达到通过获得成像范围内大量点的薄膜厚度，能应用于分析厚度不均匀薄膜，预期在材料腐蚀、光学镀膜、半导体工业等领域具有良好应用前景的目的。