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公开(公告)号：CN119935984A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202510145519.7
申请日：2025-02-10
Applicant: 中国工程物理研究院材料研究所
Abstract: 本发明公开了一种植入式气氛传感装置，属于环境气氛检测领域，包括空芯镀膜光纤传感器和便携式拉曼光谱检测仪，所述空芯镀膜光纤传感器植入于密封腔体中，所述空芯镀膜光纤传感器包括空芯镀膜光纤和传感器密封接头，所述空芯镀膜光纤传感器通过传感器密封接头与所述便携式拉曼光谱检测仪连接；所述空芯镀膜光纤的内径为0.3mm‑2mm，所述空芯镀膜光纤的内表面为金属反射膜层，外表面保护层为金属涂层。本发明实现了密闭空间内气氛的原位检测，适用于多种气体同时检测，具有体积小、灵敏度高、可定量、稳定性好等特点，可用于长期监测密封腔体或待测对象内部的气氛变化，尤其是克服恶劣环境下长期气氛监测的难题。
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公开(公告)号：CN108919472B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN201811055454.3
申请日：2018-09-11
Applicant: 中国工程物理研究院材料研究所
Abstract: 本发明提供一种多分光镜式高灵敏度同轴光学镜筒，包括第一多分光镜立方（1）、反射式物镜（2）、第二多分光镜立方（3）、离轴反射镜模块（4）、带照明功能成像模块；第一多分光镜立方（1）用于反射激光和透射光谱；第二多分光镜立方（3）连接带照明功能成像模块用于观察和激光对焦，连接离轴反射镜模块（4）用于采集光谱信号。本发明通过反射式光谱收集光路，镜片切换，分次实现UV‑VIS‑NIR全光谱分析，光谱信号损失小，具有较高的空间分辨率，且几乎完全屏蔽环境光及杂散光。本发明解决了现有技术，难以兼顾UV‑VIS‑NIR全光谱分析与高空间分辨率及光谱分析灵敏度、系统光路对焦困难、易受环境光干扰的技术问题。
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公开(公告)号：CN114923892A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202210569076.0
申请日：2022-05-24
Applicant: 中国工程物理研究院材料研究所
Abstract: 本发明提供一种双波长近红外便携式拉曼光谱装置，涉及拉曼光谱检测技术领域。拉曼光谱装置包括：第一激光器、第二激光器、传输模块和检测模块；第一激光器用于发射第一设定波长的第一激光；第二激光器用于发射第二设定波长的第二激光；传输模块在待测目标样品的拉曼光谱特征峰位于第一波数范围时，对第一激光进行耦合，在待测目标样品的拉曼光谱特征峰位于第二波数范围时，对第二激光进行耦合，然后再过滤传输至待测目标样品上激发拉曼光谱得到光谱信号；检测模块对接收的光谱信号进行分光并检测得到拉曼光谱。以实现在抑制样品荧光背景的同时显著拓宽现有近红外拉曼光谱装置检测范围，且不会降低光谱分辨率和增加新的机械结构的便携的需求。
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公开(公告)号：CN105698984A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201610018278.0
申请日：2016-01-12
Applicant: 中国工程物理研究院材料研究所
IPC: G01L1/24
CPC classification number: G01L1/24
Abstract: 本发明公开一种利用拉曼光谱测量非化学计量比氧化膜微区应力的方法，包括：(1)在无应力条件下，利用拉曼光谱对不同化学计量比粉体材料进行测量，建立特征拉曼峰强比R与晶格振动峰位ω0的关系曲线；(2)分析待测薄膜的拉曼光谱数据，得到特征拉曼峰强比R′和拉曼晶格振动峰位置ωp，然后根据R′的值利用关系曲线得到对应的ω’0；(3)对粉体材料进行高压拉曼实验，得到晶格振动峰位与应力之间的关系k’1；(4)代入公式σ＝k’1(ωp-ω’0)，得到待测薄膜的应力值。本发明可使拉曼光谱法推广到测量非化学计量比氧化膜的内应力，实现这类薄膜原位、无损的微区内应力测量，准确度较现有的拉曼光谱测量应力方法有大幅的提高。
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公开(公告)号：CN114660047B
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202210250278.9
申请日：2022-03-15
Applicant: 中国工程物理研究院材料研究所
Abstract: 本发明涉及一种全光谱同轴光学镜筒，包括：物镜、第一分光镜立方、第二分光镜立方、成像模块、照明光源模块和光谱聚焦模块；物镜、第一分光镜立方和第二分光镜立方沿同一光轴依次设置形成光路通道；激光通过第二分光镜立方入射；第二分光镜立方和第一分光镜立方内均设有45度分光镜；光谱聚焦模块设置在第一分光镜立方的光谱输出光路上；照明光源模块为第一照明光源模块、第二照明光源模块或第三照明光源模块中的一个或多个；成像模块设置在第二分光镜立方的图像光线输出光路上；成像模块包括依次设置的成像镜头、镜筒和相机。本发明能够在保留现有同轴设计全光谱、高灵敏优点的同时，解决分光镜切换机构精度要求高且频繁切换问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112556584A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011247397.6
申请日：2020-11-10
Applicant: 中国工程物理研究院材料研究所
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明公开了一种薄膜厚度微区成像的检测装置及方法，属于薄膜厚度无损检测的技术领域，所述检测装置包括：计算机，分别与计算机通信连接的光源发生器和面阵检测器；所述光源发生器用于产生波长可调的单色光；照明及成像光路，所述照明及成像光路用于将单色光垂直或接近垂直方向入射到样品表面的待测区域，并将反射光收集并成像到面阵检测器上；检测过程包括：检测过程包括：通过计算机控制光源发生器进行波长扫描和面阵检测器进行逐个波长反射图像的采集，并获得不同波长的反射光图像，通过数据处理方法将反射光图像转变为薄膜厚度分布图像，以达到通过获得成像范围内大量点的薄膜厚度，能应用于分析厚度不均匀薄膜，预期在材料腐蚀、光学镀膜、半导体工业等领域具有良好应用前景的目的。
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公开(公告)号：CN108919472A
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201811055454.3
申请日：2018-09-11
Applicant: 中国工程物理研究院材料研究所
Abstract: 本发明提供一种多分光镜式高灵敏度同轴光学镜筒，包括第一多分光镜立方（1）、反射式物镜（2）、第二多分光镜立方（3）、离轴反射镜模块（4）、带照明功能成像模块；第一多分光镜立方（1）用于反射激光和透射光谱；第二多分光镜立方（3）连接带照明功能成像模块用于观察和激光对焦，连接离轴反射镜模块（4）用于采集光谱信号。本发明通过反射式光谱收集光路，镜片切换，分次实现UV-VIS-NIR全光谱分析，光谱信号损失小，具有较高的空间分辨率，且几乎完全屏蔽环境光及杂散光。本发明解决了现有技术，难以兼顾UV-VIS-NIR全光谱分析与高空间分辨率及光谱分析灵敏度、系统光路对焦困难、易受环境光干扰的技术问题。
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公开(公告)号：CN106645093A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201710168751.8
申请日：2017-03-21
Applicant: 中国工程物理研究院材料研究所
CPC classification number: G01N21/65 , G01N21/01 , G01N2021/0112
Abstract: 本发明提供了一种拉曼光谱面成像设备，属于拉曼光谱技术领域。该拉曼光谱面成像设备包括输出波长可调的激光产生装置、滤光装置以及面阵检测器。激光产生装置发出的激光光束以面照明的方式照射到样品表面，样品在激光光束的激发下产生的拉曼散射光入射到滤光装置，经滤光装置选通后成像到面阵检测器，被面阵检测器接收，能够保证较高拉曼光谱成像的空间分辨率和成像速度，在不切换滤光装置的基础上实现对样品拉曼位移的选择和连续扫描，适用于检测不同物质的拉曼光谱成像。其中，滤光装置可以包括法‑珀干涉器和带通滤光片，能够在保证较高空间分辨率和成像速度的同时有效地提高光谱分辨率，有利于检测具有复杂拉曼光谱的样品。
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公开(公告)号：CN114923892B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202210569076.0
申请日：2022-05-24
Applicant: 中国工程物理研究院材料研究所
Abstract: 本发明提供一种双波长近红外便携式拉曼光谱装置，涉及拉曼光谱检测技术领域。拉曼光谱装置包括：第一激光器、第二激光器、传输模块和检测模块；第一激光器用于发射第一设定波长的第一激光；第二激光器用于发射第二设定波长的第二激光；传输模块在待测目标样品的拉曼光谱特征峰位于第一波数范围时，对第一激光进行耦合，在待测目标样品的拉曼光谱特征峰位于第二波数范围时，对第二激光进行耦合，然后再过滤传输至待测目标样品上激发拉曼光谱得到光谱信号；检测模块对接收的光谱信号进行分光并检测得到拉曼光谱。以实现在抑制样品荧光背景的同时显著拓宽现有近红外拉曼光谱装置检测范围，且不会降低光谱分辨率和增加新的机械结构的便携的需求。
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公开(公告)号：CN108982467B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN201810621060.3
申请日：2018-06-15
Applicant: 中国工程物理研究院材料研究所
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明涉及拉曼光谱技术领域，解决现有探头内的光学元件产生的光谱背景尚无有效抑制方法的问题，提供低光谱背景的拉曼光纤微型探头，其包括探头壳体和设置于探头壳体内的激发光纤、收集光纤、第一耦合透镜、聚焦反射镜和滤光片组，滤光片组包括带通滤光片、二向色镜和截止滤光片；来自于激发光纤的激光依次穿过第一耦合透镜和带通滤光片；二向色镜将激光反射至聚焦反射镜，聚焦反射镜收集激光后聚焦于样品；样品的拉曼信号经过聚焦反射镜收集后依次穿过二向色镜和截止滤光片。采用聚焦反射镜，而不是传统探头所用的常规透镜，在保证探头体积小巧和探头灵敏度较高的前提下，基本去除探头自身的光谱背景，非常有利于对弱信号样品的探测。
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