一种半导体器件的多功能腐蚀装置

    公开(公告)号:CN107993967A

    公开(公告)日:2018-05-04

    申请号:CN201711404625.4

    申请日:2017-12-22

    Abstract: 本发明提供了一种半导体器件的多功能腐蚀装置,包括提手、篮架、酸洗盘、支架;所述支架安装在支架内,所述支架安装在篮架内,所述提手安装在篮架的上端,所述酸洗盘在支架内上下水平布置有若干排。本发明将酸、碱腐蚀工艺在一个腐蚀盘内进行,大大简化了酸碱腐蚀过程中产品的流转,其设计满足了酸腐蚀工艺中喷淋清洗工艺的需求,同时满足了碱腐蚀过程中提挂式的腐蚀清洗要求,该腐蚀盘同时满足两种生产工艺。同时腐蚀盘的设计与后续涂覆的设备兼容,大大简化了后续产品的流转方式,该发明提高了生产效率,具有较高的市场推广价值。

    一种半导体器件的多功能腐蚀装置

    公开(公告)号:CN107993967B

    公开(公告)日:2023-10-03

    申请号:CN201711404625.4

    申请日:2017-12-22

    Abstract: 本发明提供了一种半导体器件的多功能腐蚀装置,包括提手、篮架、酸洗盘、支架;所述支架安装在支架内,所述支架安装在篮架内,所述提手安装在篮架的上端,所述酸洗盘在支架内上下水平布置有若干排。本发明将酸、碱腐蚀工艺在一个腐蚀盘内进行,大大简化了酸碱腐蚀过程中产品的流转,其设计满足了酸腐蚀工艺中喷淋清洗工艺的需求,同时满足了碱腐蚀过程中提挂式的腐蚀清洗要求,该腐蚀盘同时满足两种生产工艺。同时腐蚀盘的设计与后续涂覆的设备兼容,大大简化了后续产品的流转方式,该发明提高了生产效率,具有较高的市场推广价值。

    一种用于电镀的挂具装置

    公开(公告)号:CN220300898U

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202321257897.7

    申请日:2023-05-23

    Abstract: 本实用新型公开了一种用于电镀的挂具装置,包括电镀架,所述电镀架由短杆连接并行的第一金属丝和第二金属丝构成,所述挂具装置还包含配套的滑槽和滑座,所述电镀架通过第一横杆与滑座连接成为闭合回路的一部分,并通过滑座沿滑槽延伸方向自由移动,所述单个滑座竖直方向上还设置有的挂杆,所述挂杆周向设置有挂钩,挂钩上配套有金属夹。通过单个滑座和多个滑座的组合,本申请提供的滑槽能够为不同类型的电镀零件提供挂接位置,使得本装置在单次电镀时能够实现多种类多数量零件的挂镀。

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