一种可变附加气室空气弹簧结构的控制方法

    公开(公告)号:CN105257758B

    公开(公告)日:2019-02-19

    申请号:CN201510686040.0

    申请日:2015-10-21

    Abstract: 本发明提供了一种可变附加气室空气弹簧结构的控制方法,主要包括:具有普通膜式空气弹簧结构的主气室和一级附加气室、二级附加气室和三级附加气室,主气室及各级附加气室内部通过节气孔依次相连,各级附加气室的节流孔孔径不同,各支送气路及其各级附加气室控制阀经并联连接至主送气路及主送气阀,以实现通过调节各级附加气室控制阀,使一个空气弹簧装置可变为具有不同数量附加气室的装置。本发明可以根据实际工程的需要,进行调节附加气室充气控制阀,一方面通过多级改变气体流通路径,使系统平衡过程较为稳定;另一方面,通过控制气流的流速,提高气体阻尼的可控范围和可控精度。

    一种水平超长精密装备微振动控制系统

    公开(公告)号:CN104267756A

    公开(公告)日:2015-01-07

    申请号:CN201410479654.7

    申请日:2014-09-19

    Abstract: 本发明公开了一种水平超长精密装备微振动控制系统,包括水平超长精密装备容器、主体结构支撑、垫板结构、内置工艺支撑平台、隔振装置、隔振装置支撑、真空波纹管密封连接构件、隔振平台和高刚性台座。本发明通过利用柔性真空波纹管密封连接构件将水平超长精密装备容器与内置工艺支撑平台分开,成为两个相对独立的支撑结构,使隔振平台只承担水平超长精密装备容器内部工艺结构的荷载。这种方式可以有效地对周围环境振动及动力设备振动,特别是附着在容器上的发振设备引起的机械振动进行隔离。实现在光学检测过程中,仅允许台面上出现微量的残余振动,且检测与被检设备振动相位一致,并避免由于抽真空变形和低温变形引入的对准误差。

    一种微振动主动隔振装置安装连接件及其安装方法

    公开(公告)号:CN105299132B

    公开(公告)日:2019-05-17

    申请号:CN201510666406.8

    申请日:2015-10-15

    Abstract: 本发明公开的一种微振动主动隔振装置安装连接件及其安装方法,其中,微振动主动隔振装置安装连接件从上至下依次包括:上充胶槽、主动隔振装置和下充胶槽,上充胶槽和下充胶槽内充有结构胶及通过第一调平螺栓分别焊接固定至上预埋板和下预埋板,主动隔振装置的上底板和下底板通过第二调平螺栓分别焊接固定至上充胶槽的下连接板和下充胶槽的上连接板。本发明通过设置上预埋件和下预埋件,并采用自下而上的安装、调平、固定及灌胶封装的步骤进行施工,可以对微振动主动控制系统中各种型号的主动隔振装置进行安装连接,有效地解决了各种主动隔振装置安装过程中由于精密特性造成的各种问题。

    一种微振动主动隔振装置安装连接件及其安装方法

    公开(公告)号:CN105299132A

    公开(公告)日:2016-02-03

    申请号:CN201510666406.8

    申请日:2015-10-15

    Abstract: 本发明公开的一种微振动主动隔振装置安装连接件及其安装方法,其中,微振动主动隔振装置安装连接件从上至下依次包括:上充胶槽、主动隔振装置和下充胶槽,上充胶槽和下充胶槽内充有结构胶及通过第一调平螺栓分别焊接固定至上预埋板和下预埋板,主动隔振装置的上底板和下底板通过第二调平螺栓分别焊接固定至上充胶槽的下连接板和下充胶槽的上连接板。本发明通过设置上预埋件和下预埋件,并采用自下而上的安装、调平、固定及灌胶封装的步骤进行施工,可以对微振动主动控制系统中各种型号的主动隔振装置进行安装连接,有效地解决了各种主动隔振装置安装过程中由于精密特性造成的各种问题。

    一种穿透式微振动空气弹簧隔振系统

    公开(公告)号:CN106402261B

    公开(公告)日:2018-10-12

    申请号:CN201610643418.3

    申请日:2016-08-08

    Abstract: 本发明公开了一种穿透式微振动空气弹簧隔振系统,包括:垂直立式真空罐、内层衍架结构、高刚性环梁式台座、气浮隔振装置结构支撑部分及主体结构支撑部分。本发明通过利用柔性真空波纹管将垂直立式精密装备容器与内置工艺支撑平台分开,成为两个相对独立的支撑结构,使高刚性环梁式台座只承担垂直立式精密装备容器内部工艺结构的荷载。这种方式可以有效地对周围环境振动及动力设备振动,特别是附着在容器上的发振设备引起的机械振动进行隔离。实现在光学检测过程中,仅允许台面上出现微量的残余振动,且检测与被检设备振动相位一致,并避免由于抽真空变形和低温变形引入的对准误差。

    一种穿透式微振动空气弹簧隔振系统

    公开(公告)号:CN106402261A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201610643418.3

    申请日:2016-08-08

    Abstract: 本发明公开了一种穿透式微振动空气弹簧隔振系统,包括:垂直立式真空罐、内层衍架结构、高刚性环梁式台座、气浮隔振装置结构支撑部分及主体结构支撑部分。本发明通过利用柔性真空波纹管将垂直立式精密装备容器与内置工艺支撑平台分开,成为两个相对独立的支撑结构,使高刚性环梁式台座只承担垂直立式精密装备容器内部工艺结构的荷载。这种方式可以有效地对周围环境振动及动力设备振动,特别是附着在容器上的发振设备引起的机械振动进行隔离。实现在光学检测过程中,仅允许台面上出现微量的残余振动,且检测与被检设备振动相位一致,并避免由于抽真空变形和低温变形引入的对准误差。

    一种模态插值影响线控制网格划分密度的方法

    公开(公告)号:CN105335556B

    公开(公告)日:2019-05-14

    申请号:CN201510688135.6

    申请日:2015-10-21

    Abstract: 本发明公开的一种模态插值影响线控制网格划分密度的方法,是针对大型复杂结构有限元计算网格合理划分问题,提出采用模态影响线控制网格划分,通过设置网格划分密度下限值和上限值,将上、下限值对应系统模态计算结果中的基本频率进行提取,利用二次多相式插值函数进行多次网格密度划分插值,并通过插值结果确定合理有效的网格划分密度。该模块可有效解决工程有限元计算过程中网格划分密度与计算量之间的矛盾,并可以快速确定出最佳的模型网格划分密度。

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