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公开(公告)号：CN119306359A
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202411851203.1
申请日：2024-12-16
Applicant: 中国电子工程设计院股份有限公司
IPC: C02F9/00 , C02F1/46 , C02F1/32 , C02F1/28 , C02F1/42 , C02F1/44 , C02F1/20 , C02F1/00 , C02F103/04
Abstract: 一种稳定输出半导体工艺用超纯水的调控方法和装置，所述调控方法包括：S1深处理：对一次纯水处理得到二次纯水；S2一阶循环：将部分二次纯水回流循环进行步骤S1，未回流二次纯水存入纯水储槽，根据纯水储槽液位的模拟输出结果，按比例分配回流水量，形成一阶循环比率，根据一阶循环比率和二次纯水的检测结果，调控一阶分解处理的目标分解剂量；S3精处理：对二次纯水处理得到超纯水；S4二阶循环：根据下游半导体工艺用水量稳定输出超纯水，将剩余超纯水回流进行步骤S3，同时根据工艺用超纯水量和超纯水的检测结果，调控二阶分解处理的目标分解剂量。本发明能够根据下游半导体工艺用水需求，高效低能耗的输出质量和流量稳定的超纯水。
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公开(公告)号：CN118534791A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410985651.4
申请日：2024-07-23
Applicant: 中国电子工程设计院股份有限公司
IPC: G05B17/02
Abstract: 本发明公开了一种用于离散生产的连续用能仿真装置及方法，连续用能仿真装置具体包括：通过信号连接的离散生产单元以及连续用能单元；离散生产单元用于根据离散生产的当前工况以及经连续用能单元优化后的工艺节拍，给出离散生产的实时工况；连续用能单元用于根据离散生产的当前工况，分析离散生产的当前用能需求，并结合各个供给设备的实际可供状态，优化离散生产的工艺节拍；以及，根据离散生产的实时工况，给出连续用能动态数据。本发明解决了离散生产与连续用能中复杂工况的平衡问题，通过用能供给给出离散生产的实时工况，又根据离散生产的实时工况得到精准、合理的连续用能动态数据。
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公开(公告)号：CN117950382A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202410353879.1
申请日：2024-03-27
Applicant: 中国电子工程设计院股份有限公司
IPC: G05B19/418
Abstract: 本发明公开一种半导体工厂的纯水制备系统仿真模型的构建方法及装置，方法包括：基于半导体工厂的工艺制程及产线规模需求的纯水指标及纯水用量，合理规划设计纯水制备系统的工艺流程、设备选型及配置；分别构建物料平衡分析模块及运行控制流程仿真模块；构建联接物料平衡分析模块和运行控制流程仿真模块信号的调用处理插件，完成用于半导体工厂的纯水制备系统仿真模型的构建。本发明构建了以物料平衡分析与运行控制流程仿真为核心的用于半导体工厂的纯水制备系统仿真模型，该仿真模型能够模拟离散时间节点的各种运行工况，获取各种运行工况下各个处理设备的纯水水质数据，实时显示系统中不同处理设备运行状态与水处理情况。
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公开(公告)号：CN117494472B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202311607472.9
申请日：2023-11-29
Applicant: 中国电子工程设计院股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于仿真验证的离散工艺优化方法及装置，方法包括：获取目标离散工艺数据，构建静态布局模型；基于参数驱动，结合离散工艺中的物流信息和时间信息，建立动态离散仿真模型；获取验证试验条件，在动态离散仿真模型中进行仿真验证；基于动态离散仿真模型给出的仿真验证结果，迭代优化动态离散仿真模型，并给出离散工艺的优化结果。本发明通过快速仿真建模、动态模拟以及量化验证分析等展示离散工艺设计全貌，并进行优选，为实现工程设计阶段数字化交付、智能工厂建设和数字化工厂运维提供基础。
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公开(公告)号：CN117314263B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311593620.6
申请日：2023-11-27
Applicant: 中国电子工程设计院股份有限公司 , 世源科技工程有限公司
IPC: G06Q10/0639 , G06Q50/04
Abstract: 本发明公开了一种电子工厂生产线布局的评价方法及装置，方法具体包括如下步骤：采集电子产品的生产工艺信息以及电子工厂生产线的布局信息；解析布局信息，获取布局中的建筑信息及电子工厂生产线中的各个生产设备信息；基于布局中的建筑信息，给出电子工厂生产线的生产区域信息；结合生产区域信息，匹配对应的各个生产设备；根据各个生产设备信息，结合电子产品的生产工艺信息，重构每个生产设备的工艺数据，得到每个生产设备的评价指标；对各个生产设备的每个评价指标进行分析，获取电子工厂生产线布局的评价结果。本发明针对电子工厂生产线布局的评价，结合物理布局、逻辑布局及工艺布局，实现对布局质量的准确、快速评估。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117575414A
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202311592856.8
申请日：2023-11-27
Applicant: 中国电子工程设计院股份有限公司 , 世源科技工程有限公司
IPC: G06Q10/0639 , G06Q50/04 , G06Q10/0631
Abstract: 本发明公开了一种基于动力设施的半导体生产线布局评价方法及装置，方法包括如下步骤：获取半导体生产线的动力供应类别，以及对应的动力需求设备布局信息；分析并给出每种动力供应类别下各个动力需求设备的需求系数；给出每种动力供应类别的动力需求设备集中度；基于动力需求设备集中度，评价并调整动力供应系统的布局；融合每种动力供应类别下的动力需求设备集中度，给出综合动力需求设备集中度，完成基于动力设施的半导体生产线布局的评价。本发明同时考虑半导体生产线布局中的动力需求设备与动力供应系统，并分别根据各个权重因子，准确实现半导体生产线布局的评价。
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公开(公告)号：CN117494472A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311607472.9
申请日：2023-11-29
Applicant: 中国电子工程设计院股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于仿真验证的离散工艺优化方法及装置，方法包括：获取目标离散工艺数据，构建静态布局模型；基于参数驱动，结合离散工艺中的物流信息和时间信息，建立动态离散仿真模型；获取验证试验条件，在动态离散仿真模型中进行仿真验证；基于动态离散仿真模型给出的仿真验证结果，迭代优化动态离散仿真模型，并给出离散工艺的优化结果。本发明通过快速仿真建模、动态模拟以及量化验证分析等展示离散工艺设计全貌，并进行优选，为实现工程设计阶段数字化交付、智能工厂建设和数字化工厂运维提供基础。
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公开(公告)号：CN119106776B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411598700.5
申请日：2024-11-11
Applicant: 中国电子工程设计院股份有限公司
IPC: G06Q10/04 , G06Q10/047 , G06Q10/083 , G06F17/10
Abstract: 本发明公开了一种车间物流模型的生成装置及方法，生成装置具体包括：物流布局模型构建单元，用于获取车间布局信息，构建物流布局模型，给出第一物流布局信息；以及，基于车间物流仿真分析，优化物流布局模型；物流仿真分析单元，用于对第一物流布局信息进行转换，形成第二物流布局信息，给出物流仿真模型，并结合第二物流布局信息及仿真任务信息进行车间物流仿真分析。本发明通过对物流布局信息的转化，衔接物流布局模型与物流仿真分析，构建车间物流模型，解决车间物流系统设计中自动化程度不足、灵活性不高的问题，提升设计的车间物流系统的整体性能和可靠性。
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公开(公告)号：CN119514776A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202411571652.0
申请日：2024-11-06
Applicant: 中国电子工程设计院股份有限公司
IPC: G06Q10/04 , G06Q10/0631 , G06Q10/0633 , G06Q10/067 , G06Q50/04 , G06F3/04815 , G06F3/04845
Abstract: 本发明公开了一种半导体生产线二次配管装配流程的构建方法及装置，根据用户的一次输入，调取预先构建的数据库中的二次配管组件数据；基于预设的二次配管组件装配逻辑，给出各个二次配管组件二维图形连接的二维管线逻辑关系图，并结合对应二维图形的图例，形成半导体生产线二次配管的初始装配流程；基于用户的二次输入，优化半导体生产线二次配管的初始装配流程，构建半导体生产线二次配管的装配流程。本发明给出的半导体生产线二次配管装配流程构建方案不仅提高装配流程设计的标准化、自动化程度，提高设计效率，还增强了二次配管装配的一致性、可扩展性，提高了二次配管装配流程的准确性和可读性，降低二次配管的管路建设成本。
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公开(公告)号：CN119106776A
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202411598700.5
申请日：2024-11-11
Applicant: 中国电子工程设计院股份有限公司
IPC: G06Q10/04 , G06Q10/047 , G06Q10/083 , G06F17/10
Abstract: 本发明公开了一种车间物流模型的生成装置及方法，生成装置具体包括：物流布局模型构建单元，用于获取车间布局信息，构建物流布局模型，给出第一物流布局信息；以及，基于车间物流仿真分析，优化物流布局模型；物流仿真分析单元，用于对第一物流布局信息进行转换，形成第二物流布局信息，给出物流仿真模型，并结合第二物流布局信息及仿真任务信息进行车间物流仿真分析。本发明通过对物流布局信息的转化，衔接物流布局模型与物流仿真分析，构建车间物流模型，解决车间物流系统设计中自动化程度不足、灵活性不高的问题，提升设计的车间物流系统的整体性能和可靠性。
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