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公开(公告)号：CN101762356A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN201010042063.5
申请日：2010-01-15
Applicant: 中国电子科技集团公司第二十四研究所 , 重庆大学
Abstract: 一种真空微电子压力传感器，包括：硅微场致发射阴极锥尖阵列、真空微腔、绝缘层、阳极弹性膜、阳极绝缘保护膜、引出电极、过载保护环、金刚石膜和绝缘衬底，其特征在于，在所述阳极弹性膜朝向真空微腔一面的中部，有连成一体的阳极活塞膜及其支撑柱，且支撑柱与过载保护环相对。本发明根据功能拆分的思想，采用了具有双层膜结构的压力传感器，与常规的真空微电子压力传感器相比，本发明的真空微电子压力传感器的灵敏度较之常规的真空微电子压力传感器提高100～300％。并且，由于本发明结构的支撑柱与过载保护环的相互对应，防止了阳极活塞膜与过载保护环碰触而造成的永久形变，因而十分有利于传感器的长期稳定工作。
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公开(公告)号：CN2619363Y
公开(公告)日：2004-06-02
申请号：CN03234160.1
申请日：2003-04-25
Applicant: 中国电子科技集团公司第二十四研究所
IPC: H01L21/00
Abstract: 本实用新型涉及一种在硅片上制作真空微腔的预键合装置。本实用新型是这样实现的：一种在硅片上制作真空微腔的预键合装置，它包括有真空室主体、真空室上盖、真空阀、氮气阀、承片架、活动杆和硅片对位台；其中，承片架和硅片对位台固定在真空室主体内部底座上，在真空室主体的侧壁上设置有活动杆，在活动杆与真空室主体的连接处粘接有密封圈，在真空阀上设置有真空计。本实用新型的优点是：在硅片上制作出来的微腔内的真空度能满足设计要求，操作简便。
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公开(公告)号：CN110987864A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911242847.X
申请日：2019-12-06
Applicant: 重庆大学
IPC: G01N21/359 , G01N21/01 , G01J3/02 , G01J3/06 , G01J3/42
Abstract: 一种基于扫描光栅微镜的宽光谱微型近红外光谱仪，包括依次分布在光路上的光源、入射狭缝、离轴抛物面反射镜、平面反射镜、扫描光栅微镜、聚焦成像镜、出射狭缝和探测器。光源经入射狭缝耦合进光谱仪，被离轴抛物面反射镜离轴准直为平行光束，经过平面反射镜反射进入扫描光栅微镜，扫描与分光后，经聚焦成像镜聚焦，不同波长的单色光进入单管宽光谱双色近红外探测器中，实现近红外全波谱的连续扫描与探测。本发明采用短焦距式离轴抛物面反射镜显著地提升了光谱仪的分辨率和信噪比，利用离轴抛物面反射镜结合交叉式Czerny-Turner结构的改进设计，有效抑制了系统像差，利用单管宽光谱双色近红外探测器实现了800~2500nm全波谱的探测。该光谱仪体积小、光谱宽、分辨率高。
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公开(公告)号：CN110134005A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910453363.3
申请日：2019-05-28
Applicant: 重庆大学
IPC: G05B11/42
Abstract: 一种电磁式扫描光栅微镜的复合控制系统，包括角传感信号获取与预处理模块、鉴相模块、驱动电流检测模块、闭环控制算法模块、扫描光栅微镜驱动模块和通讯模块。系统采用DSP作为主控芯片，当DSP接收到从模/数转换器ADC采样转换后的集成角传感信号、驱动与角传感之间的相位差信号和驱动电流信号后，进行闭环控制算法的运算，决定输出到DDS和DAC的驱动信号的频率值和幅度值。DDS和DAC的输出信号经过信号的合成及功率放大后被加载到电磁式扫描光栅微镜的驱动线圈上，形成闭环控制系统。该系统通过驱动信号频率控制器和驱动信号幅度控制器实现对扫描光栅微镜的谐振频率追踪和扫描角度控制，抗干扰能力强、控制精度高、长期稳定性好、集成度高、灵活性好。
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公开(公告)号：CN108267423B
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201810050396.9
申请日：2018-01-18
Applicant: 重庆大学
IPC: G01N21/359 , G01N21/25
Abstract: 本发明提出一种基于扫描光栅微镜近红外光谱仪的工作电路，包括电源管理电路和光谱仪控制电路。其中光谱仪控制电路包括至少两路用于光谱信号采集的PGA和ADC通道，一路用于角度传感采集的PGA经滤波器及ADC通道，用于扫描光栅微镜驱动的DAC经滤波器及PGA通道，用于上位机通讯的USB接口电路，外部缓存及作为主控芯片的FPGA。本发明中，PGA通过FPGA的IO口接收PGA控制信号，实现了探测器输入信号增益可编程，提高了光谱仪控制电路的灵活性。通过FPGA同步时钟信号对系统中ADC的控制，实现了扫描光栅微镜角度传感信号与光谱信号的同步采集，便于上位机精确完成光谱重构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108761773A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810616840.9
申请日：2018-06-15
Applicant: 重庆大学
CPC classification number: G02B26/0858 , G02B26/0808 , G02B26/105 , G02B26/106
Abstract: 一种压电非均匀折叠梁驱动的MOEMS扫描光栅微镜，由光栅、微镜、扭转梁、压电非均匀折叠梁微驱动器、角传感器和固定框架组成。微镜通过扭转梁悬置于固定框架上使其绕扭转梁转动而限制其他方向的平动，并结合在微镜背部掏蚀凹槽，提高系统稳定性且避免镜面变形。微驱动器采用非均匀折叠梁结构和其上压电层长度占每折梁长度一半的优化布局，可在低功耗、低驱动电压下使微镜实现最大角度分光扫描；在四个微驱动器的最外侧梁靠近扭转梁一端一体化集成大面积压电角传感器，采用差分输出方式可使无需后端放大电路即有高线性度、伏量级的较强传感信号输出，实时监测微镜扫描角度。本发明结构简单，集成工艺兼容，能批量生产，可广泛应用于微型光谱仪中。
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公开(公告)号：CN106787945B
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201710108046.9
申请日：2017-02-27
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明公开一种压电‑摩擦电复合式宽频带微型能量收集器，包括压电振动能量收集器主结构和摩擦电能量收集单元；压电振动能量收集器主结构包括硅固定基座、多个梯形压电悬臂梁构成的共质量块压电悬臂梁阵列及质量块；摩擦电能量收集单元包括上、下电极和表面微结构处理的柔性介电摩擦层。本发明梯形压电悬臂梁可均匀压电层上的应力分布以提高压电结构的输出功率；串联的共质量块压电悬臂梁阵列可提高压电结构的输出电压；相邻压电梁之间的间隙可以减小压电结构的空气阻尼，增加振动幅度；上、下带柔性介电摩擦层摩擦电能量收集单元实现碰撞限幅，拓展压电振动能量收集器的工作频带，同时实现摩擦电机理转换，提高器件的输出功率。
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公开(公告)号：CN108267423A
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201810050396.9
申请日：2018-01-18
Applicant: 重庆大学
IPC: G01N21/359 , G01N21/25
CPC classification number: G01N21/359 , G01N21/255
Abstract: 本发明提出一种基于扫描光栅微镜近红外光谱仪的工作电路，包括电源管理电路和光谱仪控制电路。其中光谱仪控制电路包括至少两路用于光谱信号采集的PGA和ADC通道，一路用于角度传感采集的PGA经滤波器及ADC通道，用于扫描光栅微镜驱动的DAC经滤波器及PGA通道，用于上位机通讯的USB接口电路，外部缓存及作为主控芯片的FPGA。本发明中，PGA通过FPGA的IO口接收PGA控制信号，实现了探测器输入信号增益可编程，提高了光谱仪控制电路的灵活性。通过FPGA同步时钟信号对系统中ADC的控制，实现了扫描光栅微镜角度传感信号与光谱信号的同步采集，便于上位机精确完成光谱重构。
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公开(公告)号：CN106952497A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710303109.6
申请日：2017-05-03
Applicant: 重庆大学
CPC classification number: G08G1/144 , G06K17/0022
Abstract: 本发明公开了一种基于RFID的地下车库智能定位及动态显示系统及方法，包括电子标签、阅读器、后台服务器和移动终端；电子标签放置于车辆内；阅读器安装在车库内；后台服务器内存储有车库电子地图，该车库电子地图中标识有车库内所有车位的位置信息，后台服务器对所接收的数据进行处理得到电子标签的坐标信息，并将该坐标信息加载到车库电子地图上，当车辆已停好，在车库电子地图上将对应车位标记为已占用，当车辆离开该车位时，在车库电子地图上将该车位标记为空车位；移动终端用于访问车库电子地图，在移动终端成功访问该车库电子地图时，后台服务器获取移动终端的位置信息并加载到车库电子地图上。通过本发明能够快速找到空车位和车辆。
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公开(公告)号：CN105242396A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201510805579.3
申请日：2015-11-20
Applicant: 重庆大学
CPC classification number: G02B26/106 , G02B5/18
Abstract: 本发明提出一种集成角度传感器的高衍射效率MEMS扫描光栅。它由光栅面、电磁驱动线圈、电磁传感线圈、扭转梁和支撑框架组成。所述光栅面、电磁驱动线圈、电磁传感线圈、扭转梁和支撑框架均制作在同一片偏晶向的（111）硅基底上。光栅面、电磁驱动线圈及电磁传感线圈由一对扭转梁支撑在支撑框架的内部。本发明的光栅为非对称锯齿形的闪耀光栅，大大提高了扫描光栅的衍射效率。本发明采用电磁驱动方式对MEMS扫描光栅进行驱动，可在较低的工作电压下实现光栅的大角度扫描。本发明同时集成了电磁式角度传感器，可以实现光栅扫描角度的实时测量。本发明成果可广泛应用于微型近红外光谱仪系统。
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