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公开(公告)号：CN102929106B
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201210499556.0
申请日：2012-11-29
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种用于紫外光刻机的光刻照明系统，包括：紫外激光器、一维连续变倍扩束镜组、衍射光学元件转盘机构、傅里叶变换透镜、匀光系统和控制器，所述的衍射光学元件转盘机构沿圆周均匀地设有多个衍射光学元件。所述的紫外激光器产生平行光束，沿光束传输方向依次是所述的一维连续变倍扩束镜组、转盘机构的衍射光学元件、傅里叶变换透镜和匀光系统。本发明具有系统结构简单、光学透过率高、不存在锥形镜组引入的光瞳劣化问题、能有效降低光刻机的生产成本等特点。
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公开(公告)号：CN103207530A
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201310096140.9
申请日：2013-03-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC classification number: G02B27/0081 , G02B5/001 , G02B5/1838 , G02B26/0816 , G02B27/0905 , G02B27/0911 , G02B27/0972 , G02B27/283 , G02B27/4222 , G03F7/20 , G03F7/70091 , G03F7/70108
Abstract: 一种光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法，其构成包括模式产生单元、可旋转波片、偏振分光单元、环一产生单元和环二产生单元。本发明通过选择相应的模式产生单元的衍射光学元件和适当的调整，可以产生光瞳面光强与内外直径连续可变、单环形照明模式和双环形照明多种照明模式。
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公开(公告)号：CN103149809A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310096136.2
申请日：2013-03-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种光刻机设备用离轴照明装置，其特点在于该装置包括照明单元、衍射光学元件单元、变焦准直镜组、四分之一波片、负轴锥镜、45°旋光片和正轴锥镜；所述的照明单元由准分子激光器和扩束准直镜组组成。本发明对光刻机可实现双环照明，双二极照明，双四极照明。
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公开(公告)号：CN102645853A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210124993.4
申请日：2012-04-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种用于紫外光刻机离轴照明系统的衍射型环形照明发生器及其制备方法，特点在于其构成包括表面垂直于光轴的第一衍射元件和第二衍射元件，第一衍射元件将平行光束变换成与光轴成一个产生的发散光束与光轴成夹角θ的圆环形发散光束，第二衍射元件将圆环形发散光束变换成圆环形平行光束。本发明可连续调节光瞳面的光强分布尺寸，具有结构简单和加工工艺成熟的特点，能够有效降低光刻机的生产成本。
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公开(公告)号：CN102538689A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110452946.8
申请日：2011-12-29
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种光学系统定心定位装置及其使用方法，该装置的构成包括内调焦望远镜、白光光纤干涉仪、电子学部分、计算机、调整架、导轨和光学平台，本发明装置在光学装校过程中能够同时测量光学元件的中心偏差、中心厚度和中心间隔，对光学系统进行定心定位的装置，该装置适用于卧式或具有转折光轴等复杂工作姿态同轴光学系统的装配调试，同时还可推广应用到旋转反射法光学系统的定心定位装配、光学透镜中心偏差和中心厚度的测量、光学透镜的胶合、光学透镜的定心磨边、精密角度测量、精密位置测量等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102375238A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110350587.5
申请日：2011-11-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种用于紫外光刻机照明系统产生均匀照明的微柱面镜阵列及其设计方法，所述的微柱面镜阵列，包括母线方向分别沿Y和X方向的第一微柱面镜阵列和第二微柱面镜阵列，分别用于产生Y和X方向的均匀光强分布，所述的微柱面镜阵列的表面为凸柱面透镜及其之间的凹形接缝平滑连接的周期排列结构。本发明提高了光刻机照明系统的照明均匀性，有利于降低加工和装配的成本。该设计方法适用于任何紫外光波段的微柱面镜阵列设计。
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公开(公告)号：CN103207530B
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201310096140.9
申请日：2013-03-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC classification number: G02B27/0081 , G02B5/001 , G02B5/1838 , G02B26/0816 , G02B27/0905 , G02B27/0911 , G02B27/0972 , G02B27/283 , G02B27/4222 , G03F7/20 , G03F7/70091 , G03F7/70108
Abstract: 一种光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法，其构成包括模式产生单元、可旋转波片、偏振分光单元、环一产生单元和环二产生单元。本发明通过选择相应的模式产生单元的衍射光学元件和适当的调整，可以产生光瞳面光强与内外直径连续可变、单环形照明模式和双环形照明多种照明模式。
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公开(公告)号：CN102929106A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210499556.0
申请日：2012-11-29
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种用于紫外光刻机的光刻照明系统，包括：紫外激光器、一维连续变倍扩束镜组、衍射光学元件转盘机构、傅里叶变换透镜、匀光系统和控制器，所述的衍射光学元件转盘机构沿圆周均匀地设有多个衍射光学元件。所述的紫外激光器产生平行光束，沿光束传输方向依次是所述的一维连续变倍扩束镜组、转盘机构的衍射光学元件、傅里叶变换透镜和匀光系统。本发明具有系统结构简单、光学透过率高、不存在锥形镜组引入的光瞳劣化问题、能有效降低光刻机的生产成本等特点。
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公开(公告)号：CN102375238B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201110350587.5
申请日：2011-11-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种用于紫外光刻机照明系统产生均匀照明的微柱面镜阵列及其设计方法，所述的微柱面镜阵列，包括母线方向分别沿Y和X方向的第一微柱面镜阵列和第二微柱面镜阵列，分别用于产生Y和X方向的均匀光强分布，所述的微柱面镜阵列的表面为凸柱面透镜及其之间的凹形接缝平滑连接的周期排列结构。本发明提高了光刻机照明系统的照明均匀性，有利于降低加工和装配的成本。该设计方法适用于任何紫外光波段的微柱面镜阵列设计。
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公开(公告)号：CN102538689B
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201110452946.8
申请日：2011-12-29
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种光学系统定心定位装置及其使用方法，该装置的构成包括内调焦望远镜、白光光纤干涉仪、电子学部分、计算机、调整架、导轨和光学平台，本发明装置在光学装校过程中能够同时测量光学元件的中心偏差、中心厚度和中心间隔，对光学系统进行定心定位的装置，该装置适用于卧式或具有转折光轴等复杂工作姿态同轴光学系统的装配调试，同时还可推广应用到旋转反射法光学系统的定心定位装配、光学透镜中心偏差和中心厚度的测量、光学透镜的胶合、光学透镜的定心磨边、精密角度测量、精密位置测量等。
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