公开(公告)号：CN114609705B

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN202210219944.2

申请日：2022-03-08

Applicant: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 ,  重庆大学

Inventor： 张之胜 ,  张为国 ,  史浩飞 ,  张畅达 ,  高明友

IPC: G02B3/00 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种高占空比微透镜阵列的制作方法，包括下列步骤：针对目标微透镜阵列的面形设计制作掩模板，在基片上涂布光刻胶，通过单次或多次掩模曝光获得多台阶结构，实时动态热熔，实现台阶结构流动成平滑曲面，制作出高占空比的微透镜阵列。本发明方法可以制作小口径的微透镜阵列，微透镜的口径范围为几微米到几十微米，可以制作任意排布的球面或非球面微透镜阵列，精确控制微透镜面形，微透镜阵列占空比接近百分之百。

公开(公告)号：CN114609705A

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN202210219944.2

申请日：2022-03-08

Applicant: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 ,  重庆大学

Inventor： 张之胜 ,  张为国 ,  史浩飞 ,  张畅达 ,  高明友

IPC: G02B3/00 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种高占空比微透镜阵列的制作方法，包括下列步骤：针对目标微透镜阵列的面形设计制作掩模板，在基片上涂布光刻胶，通过单次或多次掩模曝光获得多台阶结构，实时动态热熔，实现台阶结构流动成平滑曲面，制作出高占空比的微透镜阵列。本发明方法可以制作小口径的微透镜阵列，微透镜的口径范围为几微米到几十微米，可以制作任意排布的球面或非球面微透镜阵列，精确控制微透镜面形，微透镜阵列占空比接近百分之百。

公开(公告)号：CN106115609A

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：CN201610490298.8

申请日：2016-06-29

Applicant: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院

Inventor： 张东 ,  张为国 ,  张之胜 ,  王赟姣 ,  高明友 ,  夏良平 ,  史浩飞 ,  杜春雷

IPC: B81C1/00 ,  G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  G03F7/30

CPC classification number: B81C1/00 ,  B81C1/00015 ,  G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  G03F7/30

Abstract: 本发明提供一种微通孔列阵癌细胞检测芯片紫外压印制作方法，隶属微纳加工领域，该方法采用紫外压印的技术，在高分子薄膜材料上制作出微通孔列阵。该方法的思路为在透明印模的突出部分镀金属掩蔽层作为挡光膜，在紫外压印时挡光处理，使其不能固化，而其余部分固化成孔壁结构，脱模后清洗殘胶制得通孔膜层即为检测芯片。利用该芯片可过滤出正常细胞，阻挡住体积较大的癌变细胞，然后可进一步利用现有成熟病理分析手段，甄别癌细胞及其类别。该方法可批量化低成本的制作出癌细胞检测芯片，为早期癌症的检测提供一种有效手段。