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公开(公告)号：CN114326323B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202111561751.7
申请日：2021-12-20
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及光刻技术领域，特别涉及一种反射式积分照明系统中复眼匹配方法；本发明先形成PF‑FF匹配矩阵再编码成精确覆盖矩阵，再形成一个虚光阑复眼阵列，计算出视场复眼阵列与虚光阑复眼阵列的最优匹配，再结合精确覆盖矩阵计算出视场复眼阵列与光阑复眼阵列的最优匹配关系，从而可以对任意数量和形状的照明模式进行匹配，并且得到最优的照明均匀性以及最高的照明强度。
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公开(公告)号：CN114326323A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111561751.7
申请日：2021-12-20
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及光刻技术领域，特别涉及一种反射式积分照明系统中复眼匹配方法；本发明先形成PF‑FF匹配矩阵再编码成精确覆盖矩阵，再形成一个虚光阑复眼阵列，计算出视场复眼阵列与虚光阑复眼阵列的最优匹配，再结合精确覆盖矩阵计算出视场复眼阵列与光阑复眼阵列的最优匹配关系，从而可以对任意数量和形状的照明模式进行匹配，并且得到最优的照明均匀性以及最高的照明强度。
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公开(公告)号：CN113419408B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202110807081.6
申请日：2021-07-16
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及极紫外光刻物镜光学领域，具体涉及一种光学系统初始结构动态平衡的计算方法及系统，方法提出：基于提出的自动调配的权重因子方法有效的实现了像差系数与多约束参量的动态平衡，依据数学模型自动调配的权重因子，每次依据现有权重计算出对应的评估值，评估像差系数和约束参量是否满足约束条件；根据现有评估值进行迭代计算，自动调配权重因子重新计算，评估像差系数和约束参量是否满足约束条件，直至满足约束条件，输出满足约束条件的极紫外光刻物镜光学系统结构参数；本申请光学设计者可以直接获取满足约束条件的初始结构，以解决现有初始结构求解像差系数与约束参量的权重时，过于依赖光学设计者经验的问题。
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公开(公告)号：CN113419407B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202110798429.X
申请日：2021-07-15
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种复眼照明系统的匹配方法，包括配置有光阑复眼的光阑复眼基板和配置有视场复眼的视场复眼基板，包括：获取每种照明模式下可用光阑复眼的位置，获取所述可用光阑复眼与视场复眼的最优组合，以及获得所述最优组合时所述可用光阑复眼的初始角；对当所述可用光阑复眼与视场复眼为最优组合时被重复组合所述可用光阑复眼进行重新放置，并使无法放置的光阑复眼所匹配的视场复眼通过转动偏离照明光路，使其不参与重复的照明模式，进而获得所述可用光阑复眼与视场复眼的最终组合。通过本公开的优化匹配方法，可以获得可用光阑复眼与视场复眼的最佳组合，该使得入射到掩膜版上的EUV光有相对最高的能量利用率和照明均匀性。
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公开(公告)号：CN113419409A
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202110807085.4
申请日：2021-07-16
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及极紫外光刻技术领域，具体涉及一种自由曲面控制的方法及装置，方法包括：输入自定义曲面的面型，生成自由曲面；对所述自由曲面进行分析，判断所述自由曲面是否有形成凹凸面；若所述自由曲面没有凹凸面，则所述自由曲面满足制造条件，否则对所述自由曲面的二阶导数进行调控，避免所述自由曲面出现凹凸面。本发明通过对自由曲面多项式的二阶导数的符号进行控制，使得在自由曲面在设计阶段考虑设计的自由曲面元件加工检测的可行性，避免自由曲面设计过程中因元件变化剧烈，降低自由曲面的元件制造难度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113419407A
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202110798429.X
申请日：2021-07-15
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种复眼照明系统的匹配方法，包括配置有光阑复眼的光阑复眼基板和配置有视场复眼的视场复眼基板，包括：获取每种照明模式下可用光阑复眼的位置，获取所述可用光阑复眼与视场复眼的最优组合，以及获得所述最优组合时所述可用光阑复眼的初始角；对当所述可用光阑复眼与视场复眼为最优组合时被重复组合所述可用光阑复眼进行重新放置，并使无法放置的光阑复眼所匹配的视场复眼通过转动偏离照明光路，使其不参与重复的照明模式，进而获得所述可用光阑复眼与视场复眼的最终组合。通过本公开的优化匹配方法，可以获得可用光阑复眼与视场复眼的最佳组合，该使得入射到掩膜版上的EUV光有相对最高的能量利用率和照明均匀性。
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公开(公告)号：CN110703564B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201910959349.0
申请日：2019-10-10
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本申请公开了一种光学系统薄膜分析方法、设备及存储介质，该方法包括：根据未加膜的光学系统中不同面型元件上的角度分布，设计添加对应的极紫外多层膜；利用空间光线追迹对每条入射光线在极紫外多层膜中的传播过程建立等效反射点，并计算等效反射点的坐标，以及计算入射光线经等效反射点反射后形成的出射光线在膜表面上的坐标；对加膜后的光学系统逐面追迹直至出瞳面；在出瞳处计算加膜后的光学系统的成像质量并进行评估。这样将单条光线在多层膜中反射过程转化为在等效反射点处反射，完善了平均入射角概念在大入射角度失效的缺陷，不仅能将光在多层膜中复杂的物理光学过程转化为几何光学内容，而且精确用于对镀膜光学系统的分析评估和优化。
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公开(公告)号：CN110703564A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201910959349.0
申请日：2019-10-10
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本申请公开了一种光学系统薄膜分析方法、设备及存储介质，该方法包括：根据未加膜的光学系统中不同面型元件上的角度分布，设计添加对应的极紫外多层膜；利用空间光线追迹对每条入射光线在极紫外多层膜中的传播过程建立等效反射点，并计算等效反射点的坐标，以及计算入射光线经等效反射点反射后形成的出射光线在膜表面上的坐标；对加膜后的光学系统逐面追迹直至出瞳面；在出瞳处计算加膜后的光学系统的成像质量并进行评估。这样将单条光线在多层膜中反射过程转化为在等效反射点处反射，完善了平均入射角概念在大入射角度失效的缺陷，不仅能将光在多层膜中复杂的物理光学过程转化为几何光学内容，而且精确用于对镀膜光学系统的分析评估和优化。
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公开(公告)号：CN113419408A
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202110807081.6
申请日：2021-07-16
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及极紫外光刻物镜光学领域，具体涉及一种光学系统初始结构动态平衡的计算方法及系统，方法提出：基于提出的自动调配的权重因子方法有效的实现了像差系数与多约束参量的动态平衡，依据数学模型自动调配的权重因子，每次依据现有权重计算出对应的评估值，评估像差系数和约束参量是否满足约束条件；根据现有评估值进行迭代计算，自动调配权重因子重新计算，评估像差系数和约束参量是否满足约束条件，直至满足约束条件，输出满足约束条件的极紫外光刻物镜光学系统结构参数；本申请光学设计者可以直接获取满足约束条件的初始结构，以解决现有初始结构求解像差系数与约束参量的权重时，过于依赖光学设计者经验的问题。
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公开(公告)号：CN113419409B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202110807085.4
申请日：2021-07-16
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及极紫外光刻技术领域，具体涉及一种自由曲面控制的方法及装置，方法包括：输入自定义曲面的面型，生成自由曲面；对所述自由曲面进行分析，判断所述自由曲面是否有形成凹凸面；若所述自由曲面没有凹凸面，则所述自由曲面满足制造条件，否则对所述自由曲面的二阶导数进行调控，避免所述自由曲面出现凹凸面。本发明通过对自由曲面多项式的二阶导数的符号进行控制，使得在自由曲面在设计阶段考虑设计的自由曲面元件加工检测的可行性，避免自由曲面设计过程中因元件变化剧烈，降低自由曲面的元件制造难度。
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