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公开(公告)号：CN113532352B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202110696626.0
申请日：2021-06-23
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种六自由度位移平台位置检测方法，包括：根据欲检测的六自由度位移平台的几何关系以及传感器布局，计算得到位置变化引起的传感器数据变化的线性矩阵T；根据线性矩阵T，依据欧拉法，计算得到位置变化导致的传感器真实数据变化；根据上述传感器真实数据变化，利用仿真计算得到对应的传感器真实测量数据，对所述传感器真实测量数据采用线性化方法解算自由度，比较与真实输入的差值，并得到所述自由度的误差的非线性函数；采用多变量拟合法得到上述函数与其他自由度的函数关系，并得到六自由度位移平台位置检测的近似计算方法。本发明能够补偿在较大行程处位置测量由于线性化导致的误差，获得更准确的位姿测量，且实时性好。
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公开(公告)号：CN113414769B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202110799509.7
申请日：2021-07-15
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种柔性六自由度运动平台保护方法，包括：在控制器内加入保护程序，实时监测反馈信号与控制信号；保护程序如果监测到反馈信号与控制信号有异常，则停止发送控制信号并继续对反馈信号进行监测；保护程序在震荡仍然持续时输出激励信号，激励所述柔性六自由度运动平台产生位移，提前结束震荡；待震荡结束后停止发送激励信号，使所述柔性六自由度运动平台返回激励前位置继续闭环或者等待。本发明能够及时使柔性六自由度运动平台恢复到闭环状态并防止震荡状态造成的运动平台硬件损坏。
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公开(公告)号：CN113419408B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202110807081.6
申请日：2021-07-16
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及极紫外光刻物镜光学领域，具体涉及一种光学系统初始结构动态平衡的计算方法及系统，方法提出：基于提出的自动调配的权重因子方法有效的实现了像差系数与多约束参量的动态平衡，依据数学模型自动调配的权重因子，每次依据现有权重计算出对应的评估值，评估像差系数和约束参量是否满足约束条件；根据现有评估值进行迭代计算，自动调配权重因子重新计算，评估像差系数和约束参量是否满足约束条件，直至满足约束条件，输出满足约束条件的极紫外光刻物镜光学系统结构参数；本申请光学设计者可以直接获取满足约束条件的初始结构，以解决现有初始结构求解像差系数与约束参量的权重时，过于依赖光学设计者经验的问题。
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公开(公告)号：CN113391417B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202110528267.8
申请日：2021-05-14
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G02B7/00
Abstract: 本申请属于光学元件支撑领域，提供一种光学元件的支撑结构，用于套设于光学元件外围支撑定位所述光学元件，所述光学元件的支撑结构包括支撑部和连接所述光学元件支撑部的连接部，所述支撑部用于支撑放置所述光学元件，所述连接部用于连接所述光学元件，所述光学元件和所述连接部通过柔性结构连接。本申请的支撑结构能够减小光学元件由热应力引入的变形。
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公开(公告)号：CN113478335A
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202110798452.9
申请日：2021-07-15
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本申请属于光学元件加工领域，提供一种沥青抛光装置，包括主轴主体、旋转主轴、夹紧结构、气囊单元、偏心运动单元和摆动机构，所述主轴主体设置在所述旋转主轴的一端，所述夹紧结构设置在旋转主轴上，所述气囊单元设置在旋转主轴的另一端，所述偏心运动单元与所述气囊单元连接，所述摆动机构一端与夹紧结构连接，另一端与所述偏心运动单元连接。本申请的沥青抛光装置，通过夹紧结构、摆动机构、球铰机构和偏心运动模块的共同作用实现沥青盘平动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113377137A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202110527853.0
申请日：2021-05-14
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本申请属于光学元件面形热控制的技术领域，提供一种光学元件的热控制装置，包括检测单元、控制单元、热传导单元，所述检测单元用于检测光学元件的温度和变形，所述控制单元根据检测单元检测到的温度和变形信息，控制所述热传导单元进行温度控制。该温控装置本申请的光学元件的温控装置能够通过每个独立温控管温度的精确控制，实现光学元件的主动面形调整，补偿环境温度变化对光学元件面形的影响，实现光学元件超高面形精度保持。
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公开(公告)号：CN113359454A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202110659583.9
申请日：2021-06-15
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明涉及一种提高多自由度运动系统控制精度的方法，包括：通过静态解耦矩阵将多自由度运动系统转化为多个单自由度系统；对转化后的上述单自由度系统进行系统辨识，得到系统的名义模型；针对上述多个单自由度系统设计干扰观测器矩阵；设计自适应滤波器矩阵，定义误差信号；设定评价函数以及参数迭代更新算法。本发明能够解决多自由度运动系统的静态与动态耦合问题，同时提高抗干扰能力，进而提高多自由度运动系统的控制精度。
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公开(公告)号：CN113204113A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110554865.2
申请日：2021-05-20
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明公开了一种光学系统的自由曲面优化方法，包括：以光学系统结构为基础，建立同一自由曲面表达式在不同元件上的第一灵敏度矩阵，以得到灵敏度最高的元件作为自由曲面附加元件；基于光学系统中的不同自由曲面，建立不同自由曲面在自由曲面附加元件上的第二灵敏度矩阵，并确定可在后续优化中使用的优化自由曲面；根据优化自由曲面对应的第二灵敏度矩阵、光学系统的当前像质与预设目标像质的差，求解出优化自由曲面的初始系数，以对光学系统的自由曲面进行优化处理。本发明还公开了一种光学系统的自由曲面优化装置和可读存储介质。本发明实现了自由曲面位置、面型的选取及优化初始值的设置，降低优化难度，提高优化效率和像质的有益效果。
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公开(公告)号：CN110703564B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201910959349.0
申请日：2019-10-10
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本申请公开了一种光学系统薄膜分析方法、设备及存储介质，该方法包括：根据未加膜的光学系统中不同面型元件上的角度分布，设计添加对应的极紫外多层膜；利用空间光线追迹对每条入射光线在极紫外多层膜中的传播过程建立等效反射点，并计算等效反射点的坐标，以及计算入射光线经等效反射点反射后形成的出射光线在膜表面上的坐标；对加膜后的光学系统逐面追迹直至出瞳面；在出瞳处计算加膜后的光学系统的成像质量并进行评估。这样将单条光线在多层膜中反射过程转化为在等效反射点处反射，完善了平均入射角概念在大入射角度失效的缺陷，不仅能将光在多层膜中复杂的物理光学过程转化为几何光学内容，而且精确用于对镀膜光学系统的分析评估和优化。
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公开(公告)号：CN110989357A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911312450.3
申请日：2019-12-18
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明公开了一种复杂机电系统的辨识控制方法和系统，应用于六自由度调整转台，方法包括：将六自由度调整转台划分为机械部分和电气部分，获取机械部分的机械模型，并获取电气部分的类型以确定其电气部分模型结构；对机械模型进行谐响应分析仿真，获取包含若干个所述传递函数模型的传递函数模型集合；在传递函数模型集合中获取优选的传递函数模型，并以优选的传递函数模型建立机械部分的导出模型结构；以电气部分模型结构和导出模型结构得到整体模型，根据整体模型设计电机控制器的控制参数，并控制电机控制器依据控制参数控制转台的工作。本发明针对复杂机械结构，其分析结果更加准确可靠。
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