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公开(公告)号：CN119376067A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411526229.9
申请日：2024-10-30
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G02B13/00 , G02B13/22 , G01B9/02091 , G01B11/24 , G01N21/88
Abstract: 本发明涉及一种用于低相干干涉检测的消色差F‑theta远心扫描场镜，涉及扫描场镜光学设计技术领域。本发明的消色差F‑theta远心扫描场镜，包括：从入瞳位置起，沿光轴方向依次设置的前镜组和后镜组；前镜组包括沿光轴方向依次设置的：第一透镜、第二透镜、第三透镜；后镜组包括沿光轴方向依次设置的：第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜。本发明的消色差F‑theta远心扫描场镜，在色差控制与几何像差校正方面，前后镜组相对独立，综合作用使得全系统获得更好的消色差以及像差校正效果。在F‑theta畸变平衡方面，前后镜组相互配合，最大限度地实现了F‑theta畸变抵消。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118758960B
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411237522.3
申请日：2024-09-05
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种大口径光学元件研磨加工阶段面形与亚表面缺陷的线扫描式快速干涉检测装置，涉及光学干涉测量技术领域。本发明的线扫描式快速干涉检测装置包括：光源、信号传输通道、样品臂、参考臂以及光谱探测器；样品臂中在光路方向上依次包括：色散元件，振镜系统以及远心扫描场镜；被测元件设置在靠近远心扫描场镜的位置；信号传输通道中设有分束镜。本发明的检测装置在完成大口径光学元件研磨阶段高精度面形检测的同时还能够实现被测元件面形、表面/亚表面缺陷同步检测，以线扫描方式扩大了扫描视场，提高检测效率至少一倍，且只需要在样品臂增加一个色散元件，通过数据处理算法处理扫描线的并行数据，检测结果可以直观的高对比的图像展现。
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公开(公告)号：CN116736532A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310957573.2
申请日：2023-08-01
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明属于生物荧光显微成像领域，提供贝塞尔双光子显微镜照明光路非共轭像差校正方法及系统，首先通过空间调制器相位调制将照明光束从贝塞尔光束切换为高斯光束，根据高斯照明光焦点激发的荧光信号作为探测“导星”，利用波前探测器探测样品引入的光学像差，再根据傅里叶光学原理，计算空间光调制器施加轴棱锥相位时照明光束在照明物镜后瞳面电场分布，然后在该电场分布的相位中补偿探测得到的光学像差，最后根据光路的可逆性原理计算同时实现贝塞尔调制及像差校正的相位，施加给液晶空间光调制器从而在样品中获得校正了光学像差的贝塞尔光束照明，可以在像差探测器与校正器位置非共轭情况下实现光学像差的自适应校正。
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公开(公告)号：CN119376067B
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202411526229.9
申请日：2024-10-30
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G02B13/00 , G02B13/22 , G01B9/02091 , G01B11/24 , G01N21/88
Abstract: 本发明涉及一种用于低相干干涉检测的消色差F‑theta远心扫描场镜，涉及扫描场镜光学设计技术领域。本发明的消色差F‑theta远心扫描场镜，包括：从入瞳位置起，沿光轴方向依次设置的前镜组和后镜组；前镜组包括沿光轴方向依次设置的：第一透镜、第二透镜、第三透镜；后镜组包括沿光轴方向依次设置的：第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜。本发明的消色差F‑theta远心扫描场镜，在色差控制与几何像差校正方面，前后镜组相对独立，综合作用使得全系统获得更好的消色差以及像差校正效果。在F‑theta畸变平衡方面，前后镜组相互配合，最大限度地实现了F‑theta畸变抵消。
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公开(公告)号：CN118758960A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202411237522.3
申请日：2024-09-05
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种大口径光学元件研磨加工阶段面形与亚表面缺陷的线扫描式快速干涉检测装置，涉及光学干涉测量技术领域。本发明的线扫描式快速干涉检测装置包括：光源、信号传输通道、样品臂、参考臂以及光谱探测器；样品臂中在光路方向上依次包括：色散元件，振镜系统以及远心扫描场镜；被测元件设置在靠近远心扫描场镜的位置；信号传输通道中设有分束镜。本发明的检测装置在完成大口径光学元件研磨阶段高精度面形检测的同时还能够实现被测元件面形、表面/亚表面缺陷同步检测，以线扫描方式扩大了扫描视场，提高检测效率至少一倍，且只需要在样品臂增加一个色散元件，通过数据处理算法处理扫描线的并行数据，检测结果可以直观的高对比的图像展现。
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公开(公告)号：CN116736532B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310957573.2
申请日：2023-08-01
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明属于生物荧光显微成像领域，提供贝塞尔双光子显微镜照明光路非共轭像差校正方法及系统，首先通过空间调制器相位调制将照明光束从贝塞尔光束切换为高斯光束，根据高斯照明光焦点激发的荧光信号作为探测“导星”，利用波前探测器探测样品引入的光学像差，再根据傅里叶光学原理，计算空间光调制器施加轴棱锥相位时照明光束在照明物镜后瞳面电场分布，然后在该电场分布的相位中补偿探测得到的光学像差，最后根据光路的可逆性原理计算同时实现贝塞尔调制及像差校正的相位，施加给液晶空间光调制器从而在样品中获得校正了光学像差的贝塞尔光束照明，可以在像差探测器与校正器位置非共轭情况下实现光学像差的自适应校正。
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