一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法

    公开(公告)号:CN103047928A

    公开(公告)日:2013-04-17

    申请号:CN201210562736.9

    申请日:2012-12-21

    Abstract: 一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法属于干涉仪误差的评估领域,该方法包括如下步骤:测试过程中引入一定的倾斜量,多次测量结果的平均值作为参考值,取其中一次测试结果减去参考值,获得其中一次测试结果的随机测试误差,根据不同误差源的特性,对其进行分析,从而分析得到干涉测量过程中的主要误差源。本发明通过对随机误差的模态进行分析,通过比对各种误差源引起的随机误差模态之间的差异来快速获得移相干涉仪中随机误差源的种类,为干涉仪的维护和使用提供简便快捷的指导。

    光学成像系统光学波前的单焦面高精度测试方法

    公开(公告)号:CN102252763A

    公开(公告)日:2011-11-23

    申请号:CN201110095518.4

    申请日:2011-04-15

    Abstract: 光学成像系统光学波前的单焦面高精度测试方法,涉及一种光学测试技术领域,它解决现有相位恢复算法中出瞳振幅分布不均匀和快速傅里叶变换引入计算误差的问题,并且为消除图像采集过程中振动对检测精度产生的影响提供解决方案,其方法:搭建光学成像系统的检测平台;采用检测平台中的探测装置检测待测镜头的焦面位置,探测装置获得待测镜头的离焦星点图像;根据获得的离焦星点图像选取有效数据,计算光学系统的光瞳函数;对获得的光瞳函数提取相位,获得光学成像系统的光学波前。所述计算光学系统的光瞳函数采用泽尼克多项式、扩展奈波尔泽尼克多项式和广义逆矩阵计算。本发明低成本、精度高,适合于光学成像系统的生产企业、科研和检测单位使用。

    一种光学星点图像的采集方法

    公开(公告)号:CN102620909B

    公开(公告)日:2014-06-18

    申请号:CN201210080134.X

    申请日:2012-03-23

    Inventor: 邵晶 马冬梅

    Abstract: 一种光学星点图像的采集方法,涉及图像的采集方法,它解决现有在光学星点图像采集过程中图像边缘信噪比下降和模数转换位数低的问题,本发明通过在保证采集星点图像的CCD相机不会由于过饱和而损坏的情况下,采用不同亮度照明,多次采集星点图像。调节照明光强,使CCD相机上星点图像的中心区域接近CCD相机探测器的饱和值。增加照明光强,增强光学星点图像边缘区域的光强值,同时又不会因为亮斑中心区域过饱和而导致CCD相机损坏。将接近饱和星点图像的中心区域与增加光强星点图像的边缘区域拼接在一起,得到图像边缘信噪比高的星点图像。本发明具有装置简单、成本低廉的优点,适合工厂、科研单位准确探测动态范围很大的图像。

    相位复原测试过程中消除旋转非对称误差的标定方法

    公开(公告)号:CN103207022A

    公开(公告)日:2013-07-17

    申请号:CN201310086087.4

    申请日:2013-03-18

    Inventor: 马冬梅 邵晶

    Abstract: 相位复原测试过程中消除旋转非对称误差的标定方法涉及光学测试过程中系统误差的标定领域,该方法包括如下步骤:将光学放大系统和传感器放置在精密调整机构上,旋转精密调整机构360°,进行等间隔旋转测量,获得相应波前的测量结果;将波前测量的结果进行平均运算,该平均结果中不含有被测波前的旋转非对称误差信息;将每次旋转后的波前测量结果分别减去中获得平均结果,以获得该旋转状态下被测试波前的旋转非对称误差信息:将获得的每个旋转状态下被测试波前的旋转非对称误差信息进行坐标修正,将其统一到同一坐标系下进行平均,获得被测试波前中旋转非对称误差信息,抑制随机误差。本发明通过该方法消除光学放大系统引入的旋转非对称误差。

    点衍射干涉仪小孔板的支撑结构

    公开(公告)号:CN103217225A

    公开(公告)日:2013-07-24

    申请号:CN201310085979.2

    申请日:2013-03-18

    Abstract: 点衍射干涉仪小孔板的支撑结构属于微应力支撑领域,该结构具有应力小的特点,使小孔板均匀受力,从而减少小孔板的应力变形。该结构由支撑基板和小孔板组成,在支撑基板上有一个以支撑基板的圆心为圆心的圆形凹槽;小孔板的直径与凹槽的内径相同且小孔板的边缘与凹槽的内径边缘紧密贴合;所述凹槽内均匀分布光学胶,支撑结构通过光学胶与小孔板连接。本发明通过毛细现象由光学胶把小孔板和支撑基板紧密固定,使小孔板由圆心向四周发散的应力尽可能的减小,并降低小孔板的形变。

    高精度大型恒温控制系统

    公开(公告)号:CN102331798A

    公开(公告)日:2012-01-25

    申请号:CN201110235387.5

    申请日:2011-08-17

    Abstract: 高精度大型恒温控制系统,涉及恒温控制技术领域,它解决现有恒温控制系统无法满足点衍射干涉仪使用要求的问题,该系统包括恒温室、恒温控制门和恒温控制液体循环装置,所述恒温室由多块壁板组成;所述壁板内设置流通循环液体的水管,所述壁板内的水管进水口与恒温控制液体循环装置的出水管路连通;壁板内的水管出水口与恒温控制液体循环装置的进水管路连通。恒温室的内壁中循环液体温度由恒温控制液体循环装置控制。所述恒温室采用恒温控制门封闭,保证恒温环境无气流扰动。本发明能够实现大体积、高精度的恒温控制。

    一种对移相干涉仪随机误差模态的测试方法

    公开(公告)号:CN103047928B

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201210562736.9

    申请日:2012-12-21

    Abstract: 一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法属于干涉仪误差的评估领域,该方法包括如下步骤:测试过程中引入一定的倾斜量,多次测量结果的平均值作为参考值,取其中一次测试结果减去参考值,获得其中一次测试结果的随机测试误差,根据不同误差源的特性,对其进行分析,从而分析得到干涉测量过程中的主要误差源。本发明通过对随机误差的模态进行分析,通过比对各种误差源引起的随机误差模态之间的差异来快速获得移相干涉仪中随机误差源的种类,为干涉仪的维护和使用提供简便快捷的指导。

    相位复原测试过程中消除系统误差的绝对标定方法

    公开(公告)号:CN103207023A

    公开(公告)日:2013-07-17

    申请号:CN201310086106.3

    申请日:2013-03-18

    Inventor: 马冬梅 邵晶

    Abstract: 相位复原测试过程中消除系统误差的绝对标定方法,涉及光学测试过程中系统误差的标定领域,该方法通过对不同状态下的测量值进行差值分析,最终消除系统误差,获得真实的波前信息。该方法包括将光学采集系统放置在精密调整机构上,测量相应的波前信息,并将当前位置设为初始位置,再次调整精密调整机构使光学采集系统至不同的位置状态分别进行测量;将不同位置的测量结果使用泽尼克多项式拟合,分别减去初始位置的波前相位测量结果,建立方程,求解泽尼克系数,获得真实的被测波前信息。本发明通过采用绝对标定的方式,完全消除光学放大系统引入的系统误差,实现高精度检测。

    一种激光均匀面光源
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102944942A

    公开(公告)日:2013-02-27

    申请号:CN201210487838.9

    申请日:2012-11-26

    Inventor: 邵晶 马冬梅

    Abstract: 一种激光均匀面光源的装置涉及一种激光光源领域,该光源应用了相位调制器,解决了因使用电机引起的振动,影响测试效果的问题。包括激光器、偏振光、相位调制器和积分球;激光器发出激光,通过偏振片产生偏振光,偏振光进入相位调制器和积分球去除相干噪声后,得到均匀面光源。本发明利用相位调制器消除激光的相干噪声。当相位调制的调制速度足够快的话,激光相干噪声的影响就可以在积分球出口处被消除,从而获得均匀性良好的单色光源。

    一种提高点衍射干涉仪测试精度的方法

    公开(公告)号:CN102798341A

    公开(公告)日:2012-11-28

    申请号:CN201210255791.3

    申请日:2012-07-23

    Abstract: 一种提高点衍射干涉仪测试精度的方法属于点衍射干涉仪测试领域,该方法包括如下步骤:将会聚镜头和小孔板同光轴放置,平行光源通过会聚镜头会聚,经由小孔板出射,一部分光线形成测试光,另一部分光线做为参考光,测试光和参考光在相机成像镜头的出瞳处共光路;将成像镜头出瞳处的出瞳光强最大值处记为A,放置一片以A点为中心,沿径向方向透过率逐渐提高的衰减片,用以调整成像镜头出瞳光束的光强分布,使中心和边缘干涉条纹的图像强度一致。本发明具有设计结构简单、成本低廉、容易加工制造的优点,能够利用较低成本解决点衍射干涉仪边缘光强下降导致模数转换位数降低的问题,提高点衍射干涉仪的测试精度。

Patent Agency Ranking