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公开(公告)号:CN111491893A
公开(公告)日:2020-08-04
申请号:CN201880081620.9
申请日:2018-10-04
Applicant: 中央硝子株式会社
Inventor: 长友真圣 , 八尾章史 , 上岛修平 , 菊池亚纪应
IPC: C01G41/04
Abstract: 本发明提供一种使钨与含氟气体在800℃以上进行反应而制造六氟化钨的方法。本发明的方法中,与边将反应温度控制为400℃以下边由含氟气体与金属钨得到六氟化钨的现有技术相比,能够增加单位反应容器中的制造量。反应容器中,优选装备有用于将反应容器的内壁面温度保持为400℃以下的制冷剂夹套。