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公开(公告)号：CN113574020B
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202080021867.9
申请日：2020-03-19
Applicant: 中央硝子株式会社
Inventor： 大桥满也 , 滨名孝德 , 绪方贵则 , 中村隆一
IPC: C01G41/04
Abstract: 本发明的六氟化钨的制造方法包括如下工序：反应工序，使包含砷或砷化合物的钨与含氟元素的化合物气体反应，得到包含六氟化钨和三价砷化合物的混合物；和，蒸馏工序，将该混合物蒸馏纯化，将包含三价砷化合物的馏分分离去除，得到六氟化钨。
公开(公告)号：CN113597407A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202080021805.8
Inventor： 末永隆 , 北拓也 , 中村隆一
Abstract: 本发明的六氟化钨的制造方法包括如下工序：反应工序，使钨与含氟元素的化合物气体反应，得到含有六氟化钨和包含氟化氢的杂质的混合物；和，排出工序，将混合物蒸馏，在该蒸馏时，执行交替地进行积存操作和吹扫操作的排出操作至少2次以上，从而得到六氟化钨。
公开(公告)号：CN113597407B
公开(公告)日：2023-05-05
公开(公告)号：CN113574020A
公开(公告)日：2021-10-29
