公开(公告)号：CN113597407A

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN202080021805.8

申请日：2020-03-19

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 末永隆 ,  北拓也 ,  中村隆一

IPC: C01G41/04

Abstract: 本发明的六氟化钨的制造方法包括如下工序：反应工序，使钨与含氟元素的化合物气体反应，得到含有六氟化钨和包含氟化氢的杂质的混合物；和，排出工序，将混合物蒸馏，在该蒸馏时，执行交替地进行积存操作和吹扫操作的排出操作至少2次以上，从而得到六氟化钨。

公开(公告)号：CN113597407B

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202080021805.8

申请日：2020-03-19

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 末永隆 ,  北拓也 ,  中村隆一

IPC: C01G41/04

Abstract: 本发明的六氟化钨的制造方法包括如下工序：反应工序，使钨与含氟元素的化合物气体反应，得到含有六氟化钨和包含氟化氢的杂质的混合物；和，排出工序，将混合物蒸馏，在该蒸馏时，执行交替地进行积存操作和吹扫操作的排出操作至少2次以上，从而得到六氟化钨。