公开(公告)号：CN102105444B

公开(公告)日：2013-08-07

申请号：CN200980129512.5

申请日：2009-07-28

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 南明勉 ,  柏叶崇 ,  森中孝敬 ,  川本博美 ,  井上进 ,  久米孝司

IPC: C07C313/04

CPC classification number: C07C313/04 ,  Y02P20/582

Abstract: 一种全氟烷基亚磺酸盐的制造方法，使全氟烷基磺酰卤与肼反应而得到全氟烷基亚磺酸肼盐(RfSO2H·N2H4)，然后使得到的该肼盐与碱金属氢氧化物等碱反应而得到全氟烷基亚磺酸盐，进而使得到的该亚磺酸盐与碱金属氟化物等反应，使该亚磺酸盐作为晶体析出，然后向得到的该亚磺酸盐中添加碱金属卤化物等，从而得到高纯度的全氟烷基亚磺酸盐。与以往技术相比，该制造方法能够以工业规模安全且容易地制造，并且能够大幅度地减少废弃物，非常有用。

公开(公告)号：CN101970400B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN200980108659.6

申请日：2009-03-10

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 永盛将士 ,  成塚智 ,  井上进 ,  久米孝司

IPC: C07C317/18 ,  C07C381/12 ,  C08F20/26 ,  G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: C07C381/12 ,  C07C317/18 ,  C07C2603/74 ,  C08F220/28 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  C08F220/18 ,  C08F220/24 ,  C08F232/08

Abstract: 本发明提供一种具有下述通式(1)所示的含氟碳负离子结构的酸或具有含氟碳负离子结构的盐。其中，本发明可提供光产酸剂以及含有这样的光产酸剂的抗蚀材料，通过使用产生该酸的化学增幅抗蚀材料用的光产酸剂，对ArF准分子激光等为高感光度、所产生的酸(光产酸)的酸性度充分高、且具有对抗蚀溶剂高的溶解性和对树脂优异的相容性。

公开(公告)号：CN101970400A

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN200980108659.6

申请日：2009-03-10

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 永盛将士 ,  成塚智 ,  井上进 ,  久米孝司

IPC: C07C317/18 ,  C07C381/12 ,  C08F20/26 ,  G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: C07C381/12 ,  C07C317/18 ,  C07C2603/74 ,  C08F220/28 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  C08F220/18 ,  C08F220/24 ,  C08F232/08

Abstract: 本发明提供一种具有下述通式(1)所示的含氟碳负离子结构的酸或具有含氟碳负离子结构的盐。其中，本发明可提供光产酸剂以及含有这样的光产酸剂的抗蚀材料，通过使用产生该酸的化学增幅抗蚀材料用的光产酸剂，对ArF准分子激光等为高感光度、所产生的酸(光产酸)的酸性度充分高、且具有对抗蚀溶剂高的溶解性和对树脂优异的相容性。

公开(公告)号：CN102105444A

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN200980129512.5

申请日：2009-07-28

Applicant: 中央硝子株式会社

Inventor： 南明勉 ,  柏叶崇 ,  森中孝敬 ,  川本博美 ,  井上进 ,  久米孝司

IPC: C07C313/04

CPC classification number: C07C313/04 ,  Y02P20/582

Abstract: 一种全氟烷基亚磺酸盐的制造方法，使全氟烷基磺酰卤与肼反应而得到全氟烷基亚磺酸肼盐(RfSO2H·N2H4)，然后使得到的该肼盐与碱金属氢氧化物等碱反应而得到全氟烷基亚磺酸盐，进而使得到的该亚磺酸盐与碱金属氟化物等反应，使该亚磺酸盐作为晶体析出，然后向得到的该亚磺酸盐中添加碱金属卤化物等，从而得到高纯度的全氟烷基亚磺酸盐。与以往技术相比，该制造方法能够以工业规模安全且容易地制造，并且能够大幅度地减少废弃物，非常有用。